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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 v!Z9T  
    (i8 t^  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 8vK&d>  
    PQ>JoRs  
    2X_ef  
     T!bu}KO  
    建模任务 X[<9+Q-&  
    LNkyV*TI  
    ,e2va7}3  
    概述 CCV~nf  
    intf%T5#  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 ^ dqEOW  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 v &n &i?  
    oWmla*nCKL  
     z{\.3G  
    4KCxhJq  
    光线追迹仿真 q]x@q  
    zu#o<6E{  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 *rLs!/[Z_  
    •单击go！ pC6_ jIZ  
    •获得了3D光线追迹结果。 $$a"A(Y  
    }8HLyK,4  
     e 3K  
    .FUE F)  
    光线追迹仿真 4"sP= C  
    U{EW +>  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 *M:Bhw  
    •单击go！ ;QYK {3R?  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 cO:x{~  
    jJ|;Nwm<[  
     4rm/+Zes  
    iwbjjQPr  
    场追迹仿真 c,@6MeKHq  
    :R)IaJ6)  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 H< j+-u4b  
    •单击go！ \1Zf Sc  
    a|.u;  
    F r~xN!  
     o#i {/# oF  
    场追迹仿真（相机探测器） 5j]%@]M$Z  
    {8' 5  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 fOVRtSls  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 iQKfx#kt  
    nB.p}k  
     U&6f}=v C  
    cQ`,:t#[  
    场追迹仿真（电磁场探测器） 6XP>p$-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 F}X_I  
    J ?&9ofj&  
    =F9-,"EAI  
     {T.VB~C  
    场追迹仿真（电磁场探测器） L-XTIL$$  
     <6@Db$-  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 6 Qmtb2  
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