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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 XR+2|o  
    duM>( y  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 B^OhL!*tI  
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     B>'\g O\2  
    建模任务 yf$7<gwX  
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    概述 Gh< r_O~L3  
    oi!E v_h  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 BvYJ!Vj  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 [m4<j  
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     `,|7X]%b  
    @Wv*`  
    光线追迹仿真 n. T [a  
    Io:xG6yG  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 }b{N[  
    •单击go！ t4Z.b 5g  
    •获得了3D光线追迹结果。 y<gmp  
    rzex"}/ly  
     r+U-l#Q  
    :8rqTBa`  
    光线追迹仿真  R` N-^x  
    6dNo!$C^  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 Z$@Juv&>5^  
    •单击go！ `fL$t0 "  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 4A*' 0!H  
    uXp0D$a  
     +Oxl1fDf  
    A/o=a#  
    场追迹仿真 w</kGK[O  
    !W6]+  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 >Rr]e`3wG  
    •单击go！ NTn-4iJy  
    j#Y8h5r  
    5ecqJ  
     U>{z*D  
    场追迹仿真（相机探测器） t[X'OK0W%3  
    O/FQ'o1F  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 \ET7  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 F &uU ,);  
    zIlQqyOQ8  
     tewC *%3V  
    )Z]8SED  
    场追迹仿真（电磁场探测器） x&7!m  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 P ^D\znvc  
    qEywExdiu  
    Wx^L~[l  
     [rf.P'p%  
    场追迹仿真（电磁场探测器） k<AnTboa  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 h>fY'r)DAx  
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    文件信息 QupCr/Hs  
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    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     7=}`"7i~  
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