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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 `<. 7?  
    nI((ki}v  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 yL^M~lws  
    3uB=L 7.  
    7R% PVgS4x  
     x0N-[//YV  
    建模任务 y$+!%y*  
    9u-M! $  
    eP-R""uPw  
    概述 xF\}.OfWG  
    p0%6@_FT~  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 A,-[/Z K/  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 fJ|Bu("N  
    V{/)RZ/  
     M9ter&  
    _ d(Ks9  
    光线追迹仿真 FcJ.)U  
    M4L~bK   
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 .~V".tZV[  
    •单击go！ Rz])wBv e  
    •获得了3D光线追迹结果。 g(z#h$@S  
    ;'Z,[a  
     [5}cU{M  
    MfZ}xu  
    光线追迹仿真 -Lz1#Sk]A  
    * 7zN  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 wUZ(Tin  
    •单击go！ GT1 X  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 _mI:Lr#dT  
    iYmzk?U  
     {U+9,6.`  
    ?()E5 4y  
    场追迹仿真 wKeSPs{x  
    qU /Wg  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 (pRy1DH~  
    •单击go！ 0N} wD-  
    " N`V*0h  
    o+6^|RP  
     [4+a 1/^  
    场追迹仿真（相机探测器） JXI+k.fi  
    h\: tUEg#J  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 dKN3ZCw*gF  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 gP_d >p:b  
    w$<fSe7  
     aF4V|?+  
    e5:l6`  
    场追迹仿真（电磁场探测器） !MG>z\:  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 m%[2x#  
    #/ gme  
    Vms7 Jay  
     _,-M8=dL%*  
    场追迹仿真（电磁场探测器） UU:QK{{E  
     KH6n3\=  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 yU&g|MV_  
    QeOt; {_|  
     *F4G qX3  
    OB? 79l  
    文件信息 $BO}D  
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     .tHv4.ob  
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    更多阅读 ju2X*  
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    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer oT5rX ,8  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     5IF~]5s  
    %;\2QI`R  
     Sr#fyr  
    QQ：2987619807 YaE['a  
     
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