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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Tb/TP3N  
    EY}:aur  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 U84W(X  
    %u -x9  
    jmok]-pC  
     FR&`R  
    建模任务 !3ggQG!e  
    d:H'[l.F%  
    L * n K> +  
    概述 ]I*c:(qwu  
    my=f}%k=  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 6_LeP9s )  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 iCt.rr~;V  
    k4TWfl^}9  
     5E:$\z;  
    pl[J!d.c  
    光线追迹仿真 IgT`on3Y  
    k$EVr([  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 s0kp(t!fiu  
    •单击go！ lW bu`y  
    •获得了3D光线追迹结果。 WzMYRKZ  
    2|1fb-AR  
     9 _d2u#  
    iyskADS  
    光线追迹仿真 EeIDlm0o  
    !<bwg  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 _GOSqu!3Y  
    •单击go！ dWqn7+:  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 D}-.<  
    9g92eKS  
     1^ iBS  
    ^5mc$~1`  
    场追迹仿真 8;PkuJR_]  
    B.z$0=b  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 +)]YvZ6%[,  
    •单击go！ 0lw>mxN  
    gk]QR.  
    rg/{5f  
     NnZW@ln"|  
    场追迹仿真（相机探测器） U"oNJ8&%|  
    |<%!9Z  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 3v* ~CQy9  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 'CLZ7 pV  
    AeJ ;g  
     MB plhVK8  
    <@<rU:o=V  
    场追迹仿真（电磁场探测器） f60w%  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 lQA5HzC\  
    `-NK:;^  
    {.Tx70kn  
     :yay:3qv  
    场追迹仿真（电磁场探测器） N2r zHK  
     UA[`{rf  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 5*0zI\  
    ~lj~]j  
     4=PjS<Lu8  
     Et>#&Nw8  
    文件信息 sXKkZ+2q  
    <,d550GSm  
     a6p0_-MF  
    Ts iJK  
    更多阅读 UK`A:N2[  
    J0G@]H  
    -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer  7WJ \nK  
    -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination     [K{{P|(q  
    @SQsEq+A?\  
     5=>1>HYM  
    QQ：2987619807 XN<SKW(H3  
     
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