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摘要 V.4j?\#% d!d
3r W;A 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 Dux`BKl
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 Q\oUZnD$=
db LX}> 建模任务 k`t'P6
bU j@ "`!uPz  =.%ZF]Oe+# 概述 cC[n~OV -r2cK{Hhp& •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 D6vn3*,& •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 79V5{2Y*U WNx^Rg"
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 ArEpH"}@ !vB%Q$!x 光线追迹仿真 /;0>*ft4 gv,T<A?Z2 •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 4Rm3'Ch •单击go！ t2:c@) •获得了3D光线追迹结果。 W
wE)XE A)#sh)
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 w(U/(C7R +wSm6 *j7= 光线追迹仿真 VB#31T#q? hK"=~\, •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 @}Ixr{t •单击go！ ^ZlV1G;/W@ •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 v;Dcq zJ:r0Bt
 85fDuJ9$Z" #R8l"]fxr? 场追迹仿真 ^;3rdBprm Tc(R- Wi •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 vw]n qS~N •单击go！ D5>~'N3b <f6PULm  tb{{oxa,k
_pGv iGR 场追迹仿真（相机探测器） O}-7 V5 I3Lsj} 69 •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 h %s •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 T/;hIX:R <`3( i\-X
 qlJOb}$ I [J`G`s! 场追迹仿真（电磁场探测器） Zsogx}i - •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 B|=maz:_ 5r<(Z0  +I n"OR%
2S6EDXc 场追迹仿真（电磁场探测器） :\J bWj_j
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