-
UID:317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2026-06-05
- 在线时间1977小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
摘要 Xa%&.&V \]#;!6ge 高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此,在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析,可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场,也可以深入研究矢量效应。 4f[M$xU&h OjlB0
27YLg c 4U
a~*58 建模任务 GlgORy=> 'j<:FUDJ ^_S-s\DW 概述 `MYK XBM ~v(M6dz~vk •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 vQTQS[R=z •接下来,我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 KYmWfM3^ C`~4q<W'
]V769B9 A"<)(M+kG 光线追迹仿真 vl{_M*w
; z'}= A •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 nK%/tdq •单击go! ];{l$-$$ •获得了3D光线追迹结果。 Or#+E2%1E Gp3nR<+
L1!hF3G 'UXj\vJ3E 光线追迹仿真 Q~Sv2 Rw
ao5l=x •然后,选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N"
Jtg@w •单击go! "G-0i KW; •结果得到点图(二维光线追迹结果)。 vz#wP v!{'23`87
Vq)gpR T.w}6?2 场追迹仿真 7k#${,k fF9oYOh| •切换到场追迹,然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;]oXEq` •单击go! HHIUl,P cH* /zNp Xm^h5jAr $6&GAJe 场追迹仿真(相机探测器) !Nxn[^[?. E_![`9i •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C`th^dqBV •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度:由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大,因此可见明显的不对称性。 K'{W9~9Lq b6WC@j`*T
2c>H(t h= }2BH_
2 场追迹仿真(电磁场探测器) K@j^gF/0B •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v1X&p\[d zmL~]!~& [;IDTo!<> |p8"9jN@}c 场追迹仿真(电磁场探测器) ;*g*DIR &t*8oNwSs •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。
uRB)g /VmCN]2AZ
/,uSCITD O2'bNR 文件信息 ll<9f) gGI#QPT`X
5fj JJ
N(M*; 更多阅读 EYJ i6# I"F
.%re -Optical System for Inspection of Micro Structured Wafer |?fW!y -Imaging of Sub Wavelength Gratings by Using Vector Beam Illumination V$Xl^# tN 0,~6TV<K (Xr_ np @ QQ:2987619807 X8,7_D$
|