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    [分享]分析高数值孔径物镜的聚焦特性 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-03-19
    摘要 Xa%&.&V  
    \]#;!6ge  
    高数值孔径的物镜广泛用于光刻、显微等方面。 因此，在仿真聚焦时考虑光的矢量性质是至关重要的。VirtualLab可以支持此类透镜的光线和场追迹分析。通过场追迹分析，可以清楚地显示出由于矢量效应引起的非对称焦点。相机探测器和电磁场探测器可以方便地研究聚焦区域的场，也可以深入研究矢量效应。 4f[M$xU&h  
    Oj lB 0  
    27 YLg c  
     4U a~*58  
    建模任务 GlgORy=>  
    'j<:FUDJ  
    ^_S-s\DW  
    概述 `MYKXBM  
    ~v(M6dz~vk  
    •案例系统已预先设置了高数值孔径物镜。 vQTQS[R=z  
    •接下来，我们演示如何按照VirtualLab中建议的工作流程在示例系统上执行仿真。 KYmWfM3^  
    C`~4q<W'  
     ]V769B9  
    A"<)(M+kG  
    光线追迹仿真 vl{_M*w ;  
    z'} =A  
    •首先选择“光线追迹系统分析器”作为模拟引擎。 nK%/tdq  
    •单击go！ ];{l$-$$  
    •获得了3D光线追迹结果。 Or#+E2%1E  
    Gp3nR<+  
     L1!hF3G  
    'UXj\vJ3E  
    光线追迹仿真 Q~Sv2  
    Rw ao5l=x  
    •然后，选择“光线追迹”作为模拟引擎。 N" Jtg@w  
    •单击go！ "G-0iKW;  
    •结果得到点图（二维光线追迹结果）。 vz #wP  
    v!{'23`87  
      Vq)gpR  
    T.w}6? 2  
    场追迹仿真 7k#${,k  
    fF9oYOh|  
    •切换到场追迹，然后选择“第二代场追迹”作为模拟引擎。 ;]oXEq`  
    •单击go！ HHIUl,P  
    cH*/zNp  
    Xm^h5jAr  
     $6&GAJe  
    场追迹仿真（相机探测器） !Nxn[^[?.  
    E_![`9i  
    •上图仅显示Ex和Ey场分量积分的强度。 C`th^dqBV  
    •下图显示Ex、Ey和Ez分量积分的强度：由于在高数值孔径情况下Ez分量相对较大，因此可见明显的不对称性。 K'{W9~9Lq  
    b6WC @j`*T  
     2c>H(t h=  
    }2BH_  2  
    场追迹仿真（电磁场探测器） K@j^gF/0B  
    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 v1X&p\[d  
    zmL~]! ~&  
    [;IDTo!<>  
     |p8"9jN@}c  
    场追迹仿真（电磁场探测器） ;*g*DIR  
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    •使用电磁场探测器可获得所有电磁场分量。 uRB)g  
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