MEMS技术发展史

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MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 CR8r|+(8  
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? =A&*SE o5  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) yp/V8C  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) 1#X=&N  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) EvardUB)  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) 
z o))x(  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) `0WA!(W  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) e.Q K%  
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) {3p7`h
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1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) {{)[Ap)  
1971年，发明微处理器 XTXo xZ#w  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 z&J ow/  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) F p=Q$J|  
1982年，LIGA进程(德国KfK) IqJ=\  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) 3 BhA.o  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) 6!D  
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 /Rcd}rO  
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) la{:RlW  
1985年，发现"Buckyball" -3%)nV  
1986年，发明原子力显微镜 F^
bQ-  
1986年，硅片键合(M.Shimbo)
G#n)|p  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) 9^*YYK}%  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) )KhVUFS1  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 j I@$h_n  
1991年，发现碳纳米管 NHVx!Kc  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) z ex.0OT;  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) zZ0V6T}
  
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) l7y`$8Co  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 Y52xrIvl\  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) 2_~XjwKE  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利  KGwL09)  
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 bh6wI%8H  
1999年，光网络交换机(朗讯) , p=8tf#  
2000年代，光学MEMS热潮 dC|#l?P  
2000年代，BioMEMS激增 P\0%nyOG(%  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 tZ24}~d
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2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# 6i=wAkn_J  

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