MEMS技术发展史

MEMS技术发展史 .9|uQEL  
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 Hwm?#6\5  
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? &*&?0ov^"  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) "Jy
~PcJZ1  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) lM#A3/=K  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) E4D (,s  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) {6d b{ ay_  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) =ZsGT  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) [rreFSy#@  
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) y_}SK6{  
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) M8@_Uj  
1971年，发明微处理器 bO<0qM~  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 m_!U}!  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) 0m+8P$)C%  
1982年，LIGA进程(德国KfK) `BnP[jF  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) n+D#k 8{  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) y1BgK>R  
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 2D([Z-<i  
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) ~]8p_;\  
1985年，发现"Buckyball" Sd:.KRTu.  
1986年，发明原子力显微镜 !Zbesp KZ  
1986年，硅片键合(M.Shimbo) d `j?7Z  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) ^GYq#q9Q  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) TRKgBK$,  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 '5};M)w  
1991年，发现碳纳米管 idJh^YD  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) T 4|jz<iK]  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) }.:d#]g8  
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) i~&c|  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 ^p_u.P  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) 'H FKBp  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 (:Cc3  
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 FBsn;,3<W  
1999年，光网络交换机(朗讯) Zj-BuE&@f  
2000年代，光学MEMS热潮 c6b0*!D"}  
2000年代，BioMEMS激增 cD{8|B*  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 5a(<%Q <"  
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# ]

@SU4  

图片:v2-bebfc5756d81e826f9e7b7acabf362b7_r.jpg

K!b8= K`