MEMS技术发展史

MEMS技术发展史 J[UL f7:  
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 F]W'spF,  
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? ~\K+)(\SNp  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) $.(>Sj
1  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) )vsiX}3  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) g!7/iKj:  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) pCA(>(  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) (@O F Wc"p  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) 9p(s FQ [  
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) Rcf_31 L  
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) fk P@e3  
1971年，发明微处理器 4D[W;4/p  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 +J$[RxQ#  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) E'$r#k:o  
1982年，LIGA进程(德国KfK) -<}_K,Ky`  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) d>NElug  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) Y-n*K'  
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 K|Std)6  
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) GfY!~J  
1985年，发现"Buckyball" m$A|Sx&sG$  
1986年，发明原子力显微镜 @g""*T1:$  
1986年，硅片键合(M.Shimbo) Ol"p^sqwj  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) 8;.WX  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller)
TH)gW  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 R{@WlkG}  
1991年，发现碳纳米管 kwK<?\D  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) iO3@2J  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) .BlGV2@^#  
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) i+jSXn"_  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 BG~h9.c  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) kwZ8q-0  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 2M= gpy  
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 ,;H)CUe1"  
1999年，光网络交换机(朗讯) lW?}jzuo  
2000年代，光学MEMS热潮 sBq @W4  
2000年代，BioMEMS激增 $PstThM  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 W:b8m Xx  
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# c5<M=
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