MEMS技术发展史

MEMS技术发展史 X+}1  
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 mfo1+owT  
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? .wu xoq  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) 5v}8org  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) ^8Q62  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) ;)e2@'Agl  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) .0rh y2  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) Upd3-2kr&J  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) h!ZV8yMc  
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) d'$T4yA  
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) xA$ns
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1971年，发明微处理器 /)(#{i*  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 Jesjtcy<*  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) rT5Ycm@  
1982年，LIGA进程(德国KfK) ~UjGSO)z}  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) 
e\JojaV  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔)  {=QiZWu  
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 q**G(}K  
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) )>-ibf`#?  
1985年，发现"Buckyball" W.0L:3<"  
1986年，发明原子力显微镜 :WL'cJ9a  
1986年，硅片键合(M.Shimbo) "D=P8X&vs  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) fUQ6Z,9  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) `zXO_@C  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 EEZ
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1991年，发现碳纳米管 ,|plWIl~  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom)
)!:Lzi  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) I=9!Rs(QF  
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) g[7#w,o  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 16i"Yg!*  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) mAW,?h  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 H0SQ"?  
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 }HYjA4o\A  
1999年，光网络交换机(朗讯) %v7[[U{T  
2000年代，光学MEMS热潮 tl'9IGlc  
2000年代，BioMEMS激增 /E5 5Pec  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 CL}{mEr}  
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# X>. NFB  

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