MEMS技术发展史

MEMS技术发展史 DDr\Kv)k(  
MEMS技术发展的时间轴，从从1947年制造的第一个点接触晶体管开始，到1999年的光网络交换机结束，50多年间，MEMS通过诸多创新，促进了当前MEMS技术和纳米技术的发展。 <'4Wne.z!  
下面关于MEMS历史上主要的35项里程碑，看看你知道多少? fv7VDo8vb  
1948年，贝尔实验室发明锗晶体管(William Shockley) 4fKvB@O@.  
1954年，锗和硅的压阻效应(C.S.Smith) uU 7 <8G  
1958年，第一块集成电路(IC)(J.S.Kilby 1958年/Robert Noyce 1959年) jOV6%  
1959年，"底部有很多空间"(R.Feynman) q8$t4_pF  
1959年，展示了第一个硅压力传感器(Kulite) P7-k!p"  
1967年，各向异性深硅蚀刻(H.A.Waggener等) Ve(<s  
1968年，谐振门晶体管获得专利(表面微加工工艺)(H.Nathanson等) iW6O9~  
1970年，批量蚀刻硅片用作压力传感器(批量微加工工艺) :Tpf8  
1971年，发明微处理器 4<($ZN8  
1979年，惠普微加工喷墨喷嘴 9&* 7+!  
1982年，"作为结构材料的硅"(K.Petersen) 5}G_2<G  
1982年，LIGA进程(德国KfK) @m5J%8>k  
1982年，一次性血压传感器(霍尼韦尔) <~dfp  
1983年，一体化压力传感器(霍尼韦尔) hA ){>B<;  
1983年，"Infinitesimal Machinery"，R.Feynman。 fJ/INL   
1985年，传感器或碰撞传感器(安全气囊) t5E$u(&+'B  
1985年，发现"Buckyball" &^$@LH3  
1986年，发明原子力显微镜 gg`{kN^r.a  
1986年，硅片键合(M.Shimbo) %d+Fq=<  
1988年，通过晶圆键合批量制造压力传感器(Nova传感器) 4dbX!0u1l  
1988年，旋转式静电侧驱动电机(Fan、Tai、Muller) 9YI@c_1 Q  
1991，年多晶硅铰链(Pister、Judy、Burgett、Fearing)。 TIJH}Ri  
1991年，发现碳纳米管 \uTlwS  
1992年，光栅光调制器(Solgaard、Sandejas、Bloom) US)i"l7:H*  
1992年，批量微机械加工(SCREAM工艺，康奈尔) V<9L-7X 8  
1993年，数字镜像显示器(德州仪器) |>(Vo@  
1993年，MCNC创建MUMPS代工服务 \Hp!NbnF$  
1993年，首个大批量生产的表面微加工加速度计(Analog Devices) n=-vOa%  
1994年，博世深层反应离子蚀刻工艺获得专利 fc~fjtqwvz  
1996年，Richard Smalley开发了一种生产直径均匀的碳纳米管的技术 7;p/S#P:  
1999年，光网络交换机(朗讯) !ldEy#"X  
2000年代，光学MEMS热潮 &Z~_BT  
2000年代，BioMEMS激增 2e\"?yOD  
2000年代，MEMS设备和应用的数量不断增加。 ;cVK2'  
2000年代，NEMS应用和技术发展#半导体# #芯片# #mems# rS>.!DiYr,  

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