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[讨论]微晶玻璃镀膜AF，摩擦测试NG! [复制链接]

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离线chenenlin

助理工程师

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只看楼主倒序阅读楼主发表于: 2021-03-15

此帖悬赏结束
最佳答案：15 光币，最佳答案获得者：ouyuu

关键词：玻璃镀膜

有谁有相关经验，欢迎大家讨论，同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石，测试结果都OK
设备试过溅射设备（新克隆/光驰）/蒸镀（光驰/新克隆/联合真空）
AF克药试用很多种类，没有改善效果。
初步分析是摩擦后打底层脱落，打底材料试过P药/AL203/SIO2。
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI
现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠（希望大家给些清洗建议），验证不清洗比清洗后效果要好。
有没有谁有相关经验的，欢迎探讨!

本帖提到的人: @ouyuu

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离线ouyuu

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只看该作者 1楼发表于: 2021-03-19

最佳答案奖励：+15 光币

如果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。

而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度。

离线tony肖

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只看该作者 2楼发表于: 2021-06-22

热心助人奖励：+1 光币

再加一槽清洗剂去除硅酸

离线chenenlin

助理工程师

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只看该作者 3楼发表于: 2021-03-20

感谢回答！
以上方案试过了，附着物估计是微米级别的，离子源没有办法清理干净。

离线chenenlin

助理工程师

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只看该作者 4楼发表于: 2021-06-25

请问一下，使用什么清洗剂？

离线伤城vs雾都

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只看该作者 5楼发表于: 2021-06-28

镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键，有没有试过氧化钛打底。

离线聂光辉

发帖: 171

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只看该作者 6楼发表于: 2022-03-05

果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。

而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度