[讨论]微晶玻璃镀膜AF，摩擦测试NG! [复制链接]

有谁有相关经验，欢迎大家讨论，同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石，测试结果都OK XRtD< jlA"  
设备试过溅射设备（新克隆/光驰）/蒸镀（光驰/新克隆/联合真空） eGL<vX  
AF克药试用很多种类，没有改善效果。 W\cjdd  
初步分析是摩擦后打底层脱落，打底材料试过P药/AL203/SIO2。 lG:kAtx4  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI |(%zb\#9  
现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠（希望大家给些清洗建议），验证不清洗比清洗后效果要好。 -SCM:j%h  
有没有谁有相关经验的，欢迎探讨! S,{tV=&m]  
Am"(+>W21  

如果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 >jg0s)RA'  
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 K.~q+IYP[  
!l@zT}i??  
而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度。

再加一槽清洗剂去除硅酸

果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 I#F!N6;  
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 n{*D_kM(H  
 {^a36i  
而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度

镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键，有没有试过氧化钛打底。

请问一下，使用什么清洗剂？

感谢回答！ fkf1m:Ckh  
以上方案试过了，附着物估计是微米级别的，离子源没有办法清理干净。