[讨论]微晶玻璃镀膜AF，摩擦测试NG! [复制链接]

有谁有相关经验，欢迎大家讨论，同锅镀膜COT/AGC/GG5/GG6/GG7/蓝宝石，测试结果都OK \m=?xb8 f  
设备试过溅射设备（新克隆/光驰）/蒸镀（光驰/新克隆/联合真空） ?:|-Dq,  
AF克药试用很多种类，没有改善效果。 BYY RoE[P  
初步分析是摩擦后打底层脱落，打底材料试过P药/AL203/SIO2。 cEe?*\G  
玻璃成分分析主要SI/AL/O/NA/KA/CR/LI kD) $2I?  
现怀疑是清洗导致表面附着--硅酸锂和硅酸钠（希望大家给些清洗建议），验证不清洗比清洗后效果要好。 2Bk$
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有没有谁有相关经验的，欢迎探讨!
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如果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 X%bFN  
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 YpUp@/"  
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而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度。

再加一槽清洗剂去除硅酸

感谢回答！ _SZ5P>GIU  
以上方案试过了，附着物估计是微米级别的，离子源没有办法清理干净。

请问一下，使用什么清洗剂？

镀膜后超洗使用的洗剂PH值很关键，有没有试过氧化钛打底。

果是基底问题的话，你蒸镀前用离子源（AR)使劲轰个十五分钟。 FE5Q?*Ea  
这种情况下离子源基本上可以把基板打薄2nm，怎么都不会有问题了。 Aq#/2t  
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而且离子源轰击还有个好处，可以增加基板表面的粗糙度