摘要 j % MY6" /&?ei*z 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
n2aUj(Zs= DvN_}h^nX
[:,|g;=Y} K[SzE{5=P 建模任务 /3+E-|4s
[L7S`Z
(*26aMp I9TNUZq(' 1阶的参数优化 ~+\A4BW
5m;pHgkb
X:FyNUa m:EYOe,w 结果-容差分析 zBrIhL]95
zv1,DnkqF
+=`w WOYZ 结果-容差分析 }zo-%#
Jx3a7CpX
yl<=_Q 'o_ RC{k2" 在VirtualLab Fusion中查看 ^wIP`dn Q1h v2*/U
HDo=W qG 54JI/!a VirtualLab Fusion的工作流程 Q<osYO{l }k1[Fc| •构造光栅结构
7|m{hSc -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
9 Up>e -
倾斜光栅的高级配置[用例]
6{Bvl[mhI •分析光栅衍射效率
]~WIGl"g - 光栅级次分析器[用例]
,!~U5~ •使用参数优化优化光栅参数
e?aSM •使用参数运行进行容差分析
y9:o];/ -
参数运行文档的用法[用例]
jaTCRn3|< a0FU[*q
lKirc2 a
8jG')zg VirtualLab Fusion技术 !OH'pC5
IetV ]Ff6
'bef3P9` t/"9LMKs? 文件信息 zHj_q%A 4_eFc$^
v2#qs*sW8 软件咨询QQ:939912426