摘要 2y V^'o) lr ]C'dD 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说，光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用，众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次，优化得到的光栅的
衍射效率超过90％。此外，还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
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b4 Pa5 w 6G { Q@ VirtualLab Fusion的工作流程 *Tr9pq%m +G)a+r'0Q •构造光栅结构
/!fJ`pu! -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
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倾斜光栅的高级配置[用例]
A=wG};%_ •分析光栅衍射效率
g} pD% - 光栅级次分析器[用例]
AWi+xo| •使用参数优化优化光栅参数
<6+T&Ov6 •使用参数运行进行容差分析
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L _Zmi$ -
参数运行文档的用法[用例]
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yW&ka3j\ #7@p VirtualLab Fusion技术 XSGBC:U)l
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^bq,+1;@Q V[n,fEPBr 文件信息 k U0.:Gcc +!ZfJZls 
eJeL{`NS 软件咨询QQ：939912426
