摘要 'TL2%T/)t 8!&nKy<Y 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
TjxA#D) [& ^RP,N~
D?^Y`G$. zN%97q_ 建模任务 Y6A;AmM8
@xS]!1-
ND5$bq Nu? =Q-k'= 6\ 1阶的参数优化 3Hw[s0[$
+TH3&H5I_A
?n.)&ZIx0 >.e+S?o 结果-容差分析 6W&_2a7*
=s;M]:
NgVR,G|1 ,X68xk.' 结果-容差分析 OUI6
ax\[
iCP~O
IxOc':/jY dFW.}"^c 在VirtualLab Fusion中查看 $e
}n GKZN}bOm\
m2xBS!fm +6l]] *H VirtualLab Fusion的工作流程 ?'eq",c#4N 2/B)O)#ls •构造光栅结构
gzf-)J -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
X`:'i?(yj -
倾斜光栅的高级配置[用例]
\K7t'20 •分析光栅衍射效率
_fn1) - 光栅级次分析器[用例]
+BL{@,zr •使用参数优化优化光栅参数
eh(<m8I •使用参数运行进行容差分析
;JT(3yK4>p -
参数运行文档的用法[用例]
7C7>y/uS irKIy
+&5'uAe booRrTS VirtualLab Fusion技术 bcH_V|5}
^:KO_{3E
=sgdkAYwP QM'X@ 文件信息 X(Qu{HhI eg<pa'Hw
pK}=*y~$ 软件咨询QQ:939912426