摘要 }vx,i99W? ]3, 对于如背光、
光学连接器和近眼显示等许多应用来说,光如何高效地耦合到波导
结构中是一个重要问题。对于这些应用,众所周知倾斜
光栅可以高效率地耦合单色光。这个例子展示了使用严格的傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)对倾斜光栅进行
优化。对于预定义方向的级次,优化得到的光栅的
衍射效率超过90%。此外,还研究了斜率偏差和光栅圆角的影响。
NIQ}+xpC AB,(%JT/2{
ub9[!}r't N~IAm:G}[ 建模任务 ,Nhv#U<$
&v1E)/q{Z
DbB<8$ HWB\}jcA6u 1阶的参数优化 -AD`(b7q
*y7Yf7
S^|`*%pq )m8Gbkj< 结果-容差分析 IBeorDIZ
x7^VU5w#
LEtGrA/%@b ~xc/Dsb$ 结果-容差分析 R[m{"2|,Lc
"M/) LXn:0
2Og5e n{L^W5B 在VirtualLab Fusion中查看 $M0l
(htR \?Z7|
L'`Au/%S} i M
MKA0JM VirtualLab Fusion的工作流程 @6+_0^ V4}jv7>A •构造光栅结构
vL[IVBG^ -
使用特殊介质配置光栅结构[用例]
_[(EsIqc(F -
倾斜光栅的高级配置[用例]
%g5#q64 •分析光栅衍射效率
M=95E$6 - 光栅级次分析器[用例]
z^T;d^OJc •使用参数优化优化光栅参数
lDKyD`WKnZ •使用参数运行进行容差分析
5[B)U">] -
参数运行文档的用法[用例]
D4y!l~_,%M B=%%3V)2
[bX^_ Y <&+jl($" VirtualLab Fusion技术 B<-("P(q
SB('Nqih
f_LXp$n !t~tIJ>6 文件信息 4
$Kzh us1$
yX{7<\x
软件咨询QQ:939912426