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摘要 |=9=a@l]P 1P+Te,I 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 EzDQoN7Em
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 ^-i<TJ K<Qy1y~[ 建模任务 | & ]04 8f0Ytfhw  oDEvhN T 光栅特性与参数的严格分析 d;9F2,k$w gr
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 w/`I2uYu N<\U$\i •构造光栅结构 T!T6M6?
−通过使用界面来配置光栅结构 A\jX #gg
[用例] \v'\
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•分析光栅衍射效率 Dh L]\
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−光栅级次分析器[用例] Hkt vUJ(Ii
•使用参数运行搜索初始解决方案 3',|HA /x
−参数运行文档的使用[用例] jJ N. (
•通过参数优化找到最终设计 ) Dz bJ} ?>_[hZ VirtualLab Fusion技术 O<1qU
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