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摘要 $+JS&k/'m cH'
iA. 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 }jH7iyjD
2. G=8:l
 (jjTK'0[ qgIb/6;xQ 建模任务 F{06 _T Snp| !e  KmG 光栅特性与参数的严格分析 Od+6 -J < 8,o50`B 不同光栅周期下的衍射效率 z>sbr<doa 8Jf.ECQT
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<q*oV 关于光栅周期选择的考虑 De7T s
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 _X@v/s Ay 2NB L}x •构造光栅结构 q^6 +!&"
−通过使用界面来配置光栅结构 V!)O6?l
[用例] j0@[Br %7
•分析光栅衍射效率 42]pYm(jk3
−光栅级次分析器[用例] DY[$"8Kxcp
•使用参数运行搜索初始解决方案 qCv20#!"|
−参数运行文档的使用[用例] RT%pDym\
•通过参数优化找到最终设计 2h?uNW(0Q *L!!]Q2c VirtualLab Fusion技术 ayAo^q !UFfsNiXZ
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