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摘要 O>F.Wf5g yExyx?j. 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /sC[5G%
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 }]GK@nn7 |2&mvjk@H 建模任务 z`:^e1vG
_ktSTzH0  _C8LK.M#j 光栅特性与参数的严格分析 yh n
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 TJa%zi h 'C Lf] •构造光栅结构 TQfY%GKg(
−通过使用界面来配置光栅结构 Ho9*y3]
[用例] "lMWSCas
•分析光栅衍射效率
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−光栅级次分析器[用例] HM
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•使用参数运行搜索初始解决方案 @7 2G*u\Wz
−参数运行文档的使用[用例] FpYoCyD}
•通过参数优化找到最终设计 -O6o^Dk Y*Rqgpu
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VirtualLab Fusion技术 a#@ opUn- [#V! XdQ,
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