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摘要 qC4-J)8 Wk gCJ'wv)6|% 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =R'v]SXj
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 ~/U0S.C V3o AZ34) 建模任务 * [5 *02( J  @,Md vR+a 光栅特性与参数的严格分析 eFio, E%^28}dN 不同光栅周期下的衍射效率 0uz"}v) <n\.S
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 q;../h]Ne SE )j}go •构造光栅结构 l ;} 7A,u
−通过使用界面来配置光栅结构 yr9A0F0
[用例] qj"syO
•分析光栅衍射效率 [RFK-E
−光栅级次分析器[用例] ,35: Srf|
•使用参数运行搜索初始解决方案 BMWe D
−参数运行文档的使用[用例] ]a!; `m$
•通过参数优化找到最终设计 dU >R<jl!$ _K}_h\e. VirtualLab Fusion技术 gQd=0"MV gV A}?t;
 `J#xyDL6? FR,#s^kF 文件信息 6a]f&={E D2%G.z |z|)r"*\4  v#%>uLl
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