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摘要 USML~]G
z LX+5|u 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 [pOg' !|wzf+V
rx~[Zs+* qB6dFl\ ( 建模任务 HaNboYW_K YhKZ|@ y&T&1o 光栅特性与参数的严格分析 gz#4{iT~ US&B!Q:v 不同光栅周期下的衍射效率 =ZYThfAEw ,lN5,zI=S
CX/(o] ;I6s-moq_ 关于光栅周期选择的考虑 {i{xo2<1" "`tXA
=5]n\"/ |!z2oO 偏振相关的衍射特性 Qu*1g(el!o K\!#4>yd
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3 pWM~(#>- }U5Y=RYo 通过参数优化进行光栅设计 5a`%)K U5ZX78>a 固定周期的2D参数优化
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r> 2D参数优化–设计1 7v~j=Z> lP<I|O=z
3 x*z\VJ XJ\hd,R 2D参数优化–设计2 W.}].7}h H?rg5TI0
C0)Z6 +a)E|(cN 制造公差分析–设计2 %IZ)3x3l
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%CH6lY=lI /Bv#) -5 制造公差分析 v"6 \=@ H'g?llh1J
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Buc_9Kzw<+ o+?@5zw-& VirtualLab Fusion中的工作流程 mf$j03tu je%M AgW`
H[&@}v,L d"<F!?8 •构造光栅结构 @|A| −通过使用界面来配置光栅结构 *o?i:LE] [用例] 1=GI&f2I •分析光栅衍射效率 !p.^ITM3S −光栅级次分析器[用例] ~9M!)\~ •使用参数运行搜索初始解决方案 {[#(w75R{ −参数运行文档的使用[用例] #6> 6S;Ib •通过参数优化找到最终设计 yXfMzG 6SEltm( VirtualLab Fusion技术 ?[1SiJT "ED8z|]j
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