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摘要 %e%7oqR? $~u.Wq 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 NP
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 l9Pu&M?5 ,}7_[b) &V •构造光栅结构 ua#K>su r.
−通过使用界面来配置光栅结构 *8-p7,D
[用例] # "r kuDO
•分析光栅衍射效率 VkXn8J
−光栅级次分析器[用例] q$ >_WF#||
•使用参数运行搜索初始解决方案 mQ,{=C=D
−参数运行文档的使用[用例] e^frVEV
•通过参数优化找到最终设计 DQ_ 2fX~) .mt^m
VirtualLab Fusion技术 ND,`Q jmZ x5vzPh`
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