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摘要 q:y_#r"_y Zw)*+> +FV 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 TH`zp]0 Nf#8V| ]$StbBP ~1NK@=7T 建模任务 lR^OS*v Zewx*Y| YSvZ7G(m> 光栅特性与参数的严格分析 fY|Bc<,V9) ^st.bzg+[ 不同光栅周期下的衍射效率 yC]xYn) R3G+tE/Y n>_EEw2/ HOn,c@.9Y 关于光栅周期选择的考虑 :%!}%fkxH g=*`6@_= =*icCng zH1pW( 偏振相关的衍射特性 &nc0stuL 3H_mR
j9th ]kN<N0;\d W-QBC-
3 aAlES< r M*r/TT ^l UV^%f an4^(SY 通过参数优化进行光栅设计 ~{#$`o= d$3;o&VUNI 固定周期的2D参数优化 >y2;sJ4]D% ~\4B 1n7 %{fa
.>6 2D参数优化–设计1 MWsjkI` `m~x*)L# GTj=R$%09 ECO4ut.d 2D参数优化–设计2 LP{{PT.&X '`-W!g[
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F{;@ 制造公差分析–设计2 &B^zu+J p19[qy~. d},IQ,Az:Z Vvth, 变化光栅周期的3D参数优化 h\oAW?^ ~wMdk9RQ ]x8_f6;D FS3MR9 制造公差分析 A`=;yD 7,i}M o -< 5< !)jw o=l}J 走进VirtualLab Fusion iqzl (9o.D WIytgM O'6zV"<P U4DQ+g(A VirtualLab Fusion中的工作流程 xbh4j!FD$ TZ`@pDi +GgJFBl 9,?\hBEu •构造光栅结构 2Xu?/yd −通过使用界面来配置光栅结构 R^}}-Dvr [用例] 6^W6As0 •分析光栅衍射效率 H-?wEMi)*u −光栅级次分析器[用例] ~R;9a"nr •使用参数运行搜索初始解决方案 ?4X8l@fR −参数运行文档的使用[用例] +N161vo7 •通过参数优化找到最终设计 c0J=gZiP $jt UQ1 VirtualLab Fusion技术 a,o>E4#c 0jS"PH?[ v&6=(k{E@R K!X>k 文件信息 }E01B_T9z '~dE0ohWb ~c
e?xr| .U8Se+; vepZod}D 更多阅览 u9WQ0. - Ultra-Sparse Dielectric Nano-Wire Grid Polarizers Qg)=4(<Hr - Rigorous Analysis of Nanopillar Metasurface Building Block Mo+mO&B - Parametric Optimization and Tolerance Analysis of Slanted Gratings FiTP-~
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