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摘要 k}C4:?AT ;3X Ok+ 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 k$GtzjN
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2 建模任务 iJ`zWpj+{Q $, B;\PX  0g9y4 z{H 光栅特性与参数的严格分析 0BH-kr k"|Fu 不同光栅周期下的衍射效率 9/_~YY=/h v
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OF2 W UcQ 关于光栅周期选择的考虑 9h/Hy aN
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 W#E(?M[r _RU L$Ds •构造光栅结构 ijUu{PG`X
−通过使用界面来配置光栅结构 >{9V XSc
[用例] D.Cn`O}
•分析光栅衍射效率 5Zd oem
−光栅级次分析器[用例] Qn P?j&
•使用参数运行搜索初始解决方案 l($ 8H AJ
−参数运行文档的使用[用例] j S[#R_
•通过参数优化找到最终设计 <QO1Yg7} \*'@F+ VirtualLab Fusion技术 NbTaI{r d7mn(= &
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