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摘要 NqWHR~& 08f~vw" 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 <,GHy/u\
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 TM}F9!*je -{wuF0f 建模任务 H>r-|* n sV6A& Aw  }.'%gJrS 光栅特性与参数的严格分析 1Q%.-vs @v'D9 ? 不同光栅周期下的衍射效率 rEf\|x=st: EH:1Z*|Z{\
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VirtualLab Fusion中的工作流程 P i!r}m
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 . b`P! b DS1'Ce •构造光栅结构 Z{4aGp*
−通过使用界面来配置光栅结构 n E0~Y2
[用例] Mgs| * u-5
•分析光栅衍射效率 (I
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−光栅级次分析器[用例] 1GE%5
•使用参数运行搜索初始解决方案 W+
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−参数运行文档的使用[用例] h;p% EZ
•通过参数优化找到最终设计 w
a<C*o y O;C3q VirtualLab Fusion技术 -xu.=n@, nvK7*-
 y6Epi|8 CPN N!%- 文件信息 _L'cyH.cn >X,Ag Kbdf SF$  <GgtP55
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