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摘要 ~`5[Li:eP wQM( |@zE} 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ssmJ?sl
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 mXu";?2 ~8'HX*B]z 建模任务 bNoZ{ 7 "o@R}_4]q  #nKGU"$+ 光栅特性与参数的严格分析 *48LQ zc {@s6ly]. 不同光栅周期下的衍射效率 k1LbWR1%wB CljEC1S#
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!_?HSDAj"n 关于光栅周期选择的考虑
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 PG'I7)Bv 0b2; 通过参数优化进行光栅设计 /|<0,oz oJ " j:15m5 固定周期的2D参数优化 \d w ["k /!y3ZzL
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 0y#TGM|0D j<i: rk| VirtualLab Fusion中的工作流程 f& Meiu+
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 h,'m*@Eg ~Q 1%DV. •构造光栅结构 Go KMi[b
−通过使用界面来配置光栅结构 6z+*H7Qz
[用例] 1Q9 e S&
•分析光栅衍射效率 ] b@:?DX8
−光栅级次分析器[用例] %M N>b[z
•使用参数运行搜索初始解决方案 bC]GL$ph9*
−参数运行文档的使用[用例] qd?k#Gw&
•通过参数优化找到最终设计 m g4: N a~[]Ye@H VirtualLab Fusion技术 l@%7]
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