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摘要 rLU'*} (hIF]>,kl 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 FmEc`N9\v
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 ';0 qj$ # "13 "`!m 建模任务 (D<(6? ]mQw,S)/"  +k.%PO0n p 光栅特性与参数的严格分析 :4:N f !v|FT.
T` 不同光栅周期下的衍射效率 5;\gJf $Az^Y0[D
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sV/l 5]b] 关于光栅周期选择的考虑 N|mJg[j@7
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 o! OMm! D-2.fjo9! 偏振相关的衍射特性 0fm*`4Q UH?
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 J@_ctGv . pPm~2]z 通过参数优化进行光栅设计 /J3ZL[o?Q p =(@3%k 固定周期的2D参数优化 {D`'0Z1" FOwnxYGVf
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 54lu2gD' U>Ld~ cw •构造光栅结构 o+w;PP)+=
−通过使用界面来配置光栅结构 !p TJ./
[用例] E`int?C!
•分析光栅衍射效率 MP Z3D9
−光栅级次分析器[用例] C+[%7vF1
•使用参数运行搜索初始解决方案 r={c,i
−参数运行文档的使用[用例] ;~fT,7qBah
•通过参数优化找到最终设计 aj8A8ma*}
$`ZzvZ'r VirtualLab Fusion技术 7SD F z} m!<i0thJ
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