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摘要 v{(^1cX ePr&!Tz# 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 /LvRP yj@ pk^K:Xs}
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g>>E 建模任务 =-8bsV/l X.Rb-@ }\%Fi/6Z{ 光栅特性与参数的严格分析 ~Lm$i6E< F@mQQ 不同光栅周期下的衍射效率 rf>0H^r g'H$R~ag
>+JqA7K pm_`>3 关于光栅周期选择的考虑 HkO7R
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cd(GvX' S 5/R_5 偏振相关的衍射特性 ]L9s%]o cki81bOT
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_a6[{_Pc \6R,Nq 通过参数优化进行光栅设计 9QDFEYG BI3@|,._N 固定周期的2D参数优化 ;_rF;9z9 0`X]o'RxS
[H6hyG~ 2D参数优化–设计1 v6>_ j
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*Zt#U# KG|n VirtualLab Fusion中的工作流程 ]x(e&fyHB ,*7 (%k^`
L.S;J[a; PH+S};Uxv •构造光栅结构 $ZugBh[b −通过使用界面来配置光栅结构 0w&27wW [用例] auK?](U •分析光栅衍射效率 l'/R&`-n −光栅级次分析器[用例] kBD>-5Sn_T •使用参数运行搜索初始解决方案 =;2%a( −参数运行文档的使用[用例] apg=-^L' •通过参数优化找到最终设计 <vONmE a -jb0o/: VirtualLab Fusion技术 mLP.t%?#
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h*w%jdQ6 U%q7Ai7 文件信息 pe] A5\4c C71qPb|$R !cO]< |