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摘要 ip4:px- g83!il\ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 +d6/*}ht
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`?PZvGi 6>)]7(B<d 建模任务 wh:O"&qk
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o, kDJ5x8Q# 光栅特性与参数的严格分析 h[%`'(
3ryIXC\v 不同光栅周期下的衍射效率 v9Oyboh(y KP7bU9odJ
lDNB0Ad *plsZ*Q8 关于光栅周期选择的考虑 lNQ t 6TxZ^&=
Qw.""MLmN8 ?'p`Qv 偏振相关的衍射特性 OC9_EP\" &"fMiK3
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=L9sb! 2D参数优化–设计1 ' eO4h^ 0]{h,W3]@[
7am ._K tt,MO)8VD 2D参数优化–设计2 IP$^)t[ ~;,]/'O
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RS#)uC5/% M5HKRLt 制造公差分析 ouK&H|' ||cG/I&,
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X3#|9 s<H0ka@ •构造光栅结构 )?joF) −通过使用界面来配置光栅结构 >5#`j+8=q [用例] kYl$V= •分析光栅衍射效率
pMYEL −光栅级次分析器[用例] EE#4,d`J •使用参数运行搜索初始解决方案 -RVwPY −参数运行文档的使用[用例] +|).dm •通过参数优化找到最终设计 {N[IjY [Pi8gj* VirtualLab Fusion技术 1]aM)}, bv5,Yk
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