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摘要 +e<P7}ZQ B<DvH"+$ 当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 >`n0{:.1za bB3Mpaw@
l*uNi47| a1M-F3 建模任务 WqqrfzlM MHVqRYz mA(K`"Bfh 光栅特性与参数的严格分析 'P32G?1C&p l-_voOP 不同光栅周期下的衍射效率 AOWX=`J8V 'Fo*h6=
f3lFpS 0`"]mYH 关于光栅周期选择的考虑 {5-4^|! pA"x4\s
,Bp\ i Z/sB72K1 偏振相关的衍射特性 h|yv*1/| 4LtFv)i
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AnU,2[( Vi23pDZ5 通过参数优化进行光栅设计 @Rj&9/\L qW6a|s0} 固定周期的2D参数优化 *rSMD_> d,iW#,
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h{-@ •构造光栅结构 >1`FRw< −通过使用界面来配置光栅结构 A,W-=TC [用例] H?sl_3-# •分析光栅衍射效率 pL]C]HGv −光栅级次分析器[用例] ;tf1#6{ •使用参数运行搜索初始解决方案 4HVZ;,q −参数运行文档的使用[用例] 5znLpBX<N •通过参数优化找到最终设计 xH;qJRHa 4-eb& VirtualLab Fusion技术 ::g"dRS<v wp-5B= #:{
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