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摘要 < _pLmYI i$3#/*Y7_L 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 dc~vQDNw[X
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7S;G 建模任务 - -TH6j" Zn. S65J*u  NcwUK \ 光栅特性与参数的严格分析 2,B^OZ mw pp*MHM)x|q 不同光栅周期下的衍射效率 Yz0HB EA o](O RS$~
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^mI`P}5Y 关于光栅周期选择的考虑 Bqa_l|
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 a04S&ezj ;9=4]YZt 通过参数优化进行光栅设计 P??pWzb6HH ]>sMu]biH 固定周期的2D参数优化 z=jzr=lP {BA Z`I
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−通过使用界面来配置光栅结构 <lSo7NkR
[用例] = &U7:u
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−光栅级次分析器[用例] _j_c&
•使用参数运行搜索初始解决方案 VK4"
−参数运行文档的使用[用例] ~ BI! l
•通过参数优化找到最终设计 y=}a 55:qE {+QQ<)l^tJ VirtualLab Fusion技术 _Nbh Wv ve=1y)
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