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摘要 ebK/cPa8 @M-i$
q[4 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 &*}`uJt
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 r6S-G{o R?MRRq 建模任务 _uwM%M ; Yef=HS zo  }% Mj`Bh 光栅特性与参数的严格分析 tIn
dve NbgK # ; 不同光栅周期下的衍射效率 P'%#B& LZo N3dS%F,_
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Wi7!J[ B 关于光栅周期选择的考虑 ZeM~13[
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r& 偏振相关的衍射特性 `o/G0~T) `W>cA64 o
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 ASGV3 r ( 7Z%EXDm4/c 通过参数优化进行光栅设计 DBTeV-G9~R %G6Q+LMwm 固定周期的2D参数优化 > -8r|};+ pHKcKqB*13
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 2/ o_,k <TN+-)H6 变化光栅周期的3D参数优化 FYBW3y+AF&
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PE GN1Q \8)o 制造公差分析 RnV#[bM{
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 C>NLZM T 8kdJ;%^N VirtualLab Fusion中的工作流程 \u4`6EYF ?
aU\R!Y$/"
 #'y4UN 5,_DM
•构造光栅结构 R6m6bsZ`
−通过使用界面来配置光栅结构 R) ep1X^
[用例] Wf!u?nH.5
•分析光栅衍射效率 S7B\m v
−光栅级次分析器[用例] $ G<!+^T
•使用参数运行搜索初始解决方案 `8 Ann~Z|k
−参数运行文档的使用[用例] tD^$}u6
•通过参数优化找到最终设计 \+Nn>wW. K cu*Z VirtualLab Fusion技术 )U|0vr 8: U{,:-R
 ]]F e:> q<XleC 文件信息 =w;~1i% .k %\f<N1~* T)#e=WcP]  SX)o0 v+
mXwDB)O{) 更多阅览 [,y Yr
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