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摘要
~MOab e :Y AxL J 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 3O W) %
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 f8m%T%]f r-ld qj 建模任务 ?2#v`Z=L; AxXFzMW  c2,1d ` 光栅特性与参数的严格分析 vw'`t6 :tv:46+s= 不同光栅周期下的衍射效率 \; b)qB -]uN16\ F
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 }]pq&v! `;7^@ k •构造光栅结构 :X>%6Xj?RV
−通过使用界面来配置光栅结构 v 535LwFW
[用例] ~jab/cR
•分析光栅衍射效率 <RmI)g>'_^
−光栅级次分析器[用例] `~Eo;'( +^
•使用参数运行搜索初始解决方案 vUGEzC M
−参数运行文档的使用[用例] 3~"G(UP
•通过参数优化找到最终设计 r5qp[Ss3F aOq>Ra{T VirtualLab Fusion技术 +OFq=M esH>NH_
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