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摘要 43M.Hj] I #O"<0
*r 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 g H'hA'
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 Xv!Gg6v6 BXdk0 VirtualLab Fusion中的工作流程 P<&bAsje
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 ?C fQwY#N zC)JOykI% •构造光栅结构 >&+V[s rfD
−通过使用界面来配置光栅结构 l @GJcCufE
[用例] W3UxFs]$
•分析光栅衍射效率 3)W_^6>bM
−光栅级次分析器[用例]
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•使用参数运行搜索初始解决方案 !~?/D
−参数运行文档的使用[用例] C=&n1 /
•通过参数优化找到最终设计 qQ )1 +^ Wu{_QuAB VirtualLab Fusion技术 $ dI
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