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摘要 =8BMCedH| B; f\H,/59 当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 ge*(w{|x
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J+oK:t zt8 建模任务 m]t`;lr< $RA8U:Q!1e  nl v 8HC 光栅特性与参数的严格分析 D*!p8J8Ku {s^vAD<~x3 不同光栅周期下的衍射效率 [ k)xn3[ VKUoVOFvPR
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I9JiH,+ 关于光栅周期选择的考虑 K/)*P4C-
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 _RzwE$+9 wUnz D) VirtualLab Fusion中的工作流程 f:/[
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 ".n,R"EF O26' | w@$ •构造光栅结构 j3<|X
−通过使用界面来配置光栅结构 cc LTA
[用例] Zd2B4~V
•分析光栅衍射效率 0?]Y^:
−光栅级次分析器[用例] qs 96($
•使用参数运行搜索初始解决方案 HnDz4eD
−参数运行文档的使用[用例] =dVPx<l5
•通过参数优化找到最终设计 %Tc P[< v# . %eF
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