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摘要 G~wF nl% cBYfXI0` 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 h{}mBQl TwvAj#j
451'>qS {%.Lk'#9 光栅详细说明 K'1~^)* ]~>K\i
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/u`3VOn •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 >p])it[q&$ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 fd8!KO Nt:8ogk/ 光栅阶次分析器设置 .mL#6P!d3^ K"<*a"1I •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 4'Xgk8) •可以指定各种输出选项。 8BXqZVm. •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 2 ?|gnbE: V&Mf:@y
gV U1Y6. V%CUMH =U 常规设置 Ybg-"w oc{EuW{Ag
DF1<JdO+ OQ4c#V? •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 0nW F •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Ep ~wWQh XD-^w_ 单个阶次设置 Y7U&Q:5' 7ODaX.t->
9.M{M06; *s)}Bj •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 RbQ < |