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摘要 of[|b{Ze4~ zM8/s96h 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 bb
O;AiHD sxC{\iLY%
F"@'(b #r:Kg&W2FO 光栅详细说明 *NwKD:o *\~kjZ 3
+}G>M=t:: *{;A\sL •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 6q
xUT •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 EbwZZSds1 g6a3MJV` 光栅阶次分析器设置 u
UVV>An a,0o{*(u$ •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 7"CH\*% •可以指定各种输出选项。 ["#A -S •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 q2j}64o_S ss*2TE7
6 peM4X 4K?H-Jco 常规设置 g!kRa.`u1 4iPua"8
)S;Xy`vO G/RheH
G •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 <2@<r
t{ •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 KxTYc o}^vREO 单个阶次设置 \%4+mgiD C;:1CK
~3-YxCn% aab4c^Ms= •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 Kp=3\) & •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 U-]PWt?C{ YDzF( ']o: 单个阶次设置 F0ivL` HI?~t|[y %Pvb>U(Xs U+}9X^
]#7Y@Yo :c/=fWM% 探测器标签页中的输出 vM3|Ti>a' Ynh4oWUp
wM&x8 < Sdu@!<?B •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 W2.1xNWO •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 )
ImIPSL PM?Ri^55<L 极坐标图中的输出 {R8P $
;eEtdoy bg3jo1J xg5@;p •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 %Ja{IWz9L •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 |(w#NE5 EV,NJ3V 极坐标图设置 F-\8f(\ z^HlDwsbm
!J?=nSu Qc<O; # •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 G@I_6cE •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 ?}Ptb&Vk( 8JO\%DFJ 阶次汇集输出 )xy{[ K|M( y?4=u,{C wU3ica&[ •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 ~S{\wL53 •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 .;v'oR1x5 )PNH| h 阶次汇集设置 =xWW+w!r SSM>
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"uERa(i 7XC}C+
^aM/BS\ 0YRYCO$ 阶次汇集设置 r|BKp,u9 :<3;7R'5
(S 3kP5:F E1Aa2 •在属性浏览器的视图选项卡中,用户可以设置其他视图参数。 Jj!tRZT •对于自定义视图,最重要的是颜色设置。 < |