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摘要 F_>OpT ;Fw{p{7< 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 W Z'UVUi8 m2wGg/F5
A")F7F31c lu~<pfg 光栅详细说明 5>z`==N) G 3))3]
-'SpSy'_ Ql`N)! •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 X>}-UHKV+ •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 CK4C:`YG NP
}b 光栅阶次分析器设置 Zy!^HS$ } a#RX$d& •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 @smjXeFo •可以指定各种输出选项。 U^aMh- •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 /2 V qg_M9xJ
p6)Jzh_/ 05o +VF;z 常规设置 62L,/?`B$ Rr>nka)U
BO5\rRa0 7$"{& |