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摘要 /BKe+]dS* I~eSZ?$s# 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 `rY2up#% {C*\O)Gep
DsD zkwJE 1,y&d}GW 光栅详细说明 0O!cN_l| yTM{|D]$(
l":c 8Q`WB0E<| •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 ]J1S#Q5' •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 |V[9}E:
h %6j)=IOts 光栅阶次分析器设置 !,$i6gm 6Q|k7*,B •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 3ucP(Ex@tg •可以指定各种输出选项。 6w3R'\9 •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 ~K_Uq*dCE D8K-K]W@
dHnR_. z|R,& |