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摘要 I@\OaUGr+ FZ8b7nJ)4m 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 pKi& [ T6ENtp iX3HtIBj' RoAlf+&Qb 光栅详细说明 sUE?v9 =_0UD{"_0 ]r_;dY a -\#0]F:- •为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 /r_~:3F •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 <id}<H TwgrRtj' 光栅阶次分析器设置 z5TuGYb< <oz!H[! •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 VE8;sGaJ •可以指定各种输出选项。 o6//IOZ •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 "1,pHR-+R Qyy.IPTP J:skJ.Wx @gG<le6 常规设置 "*})3['n I"KN"v^ \}]!)}G Uk\Id~xLV •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 B 2ec@]uD` •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 Ag@; 9Vf1Xz 单个阶次设置 h>Hb`G< U)3DQ6T99 ":_vK}5 xpOg8u5 •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 i E CrI3s •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 O eL}EVs8= Onwp-!!.
单个阶次设置 Y/7 $1k XQS9,Hl 6"}?.E$ 7k8 pZ \G-KplKS y{N-+10z 探测器标签页中的输出 k?'B*L_Mzv ."FuwKSJCo P+$:(I >KJ+-QuO& •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 yiO.z •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 ){UcS/GI= RSo& |