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摘要 5]'iSrp QKHm OVh] 光栅的衍射效率分析是光栅的典型建模任务。效率可由瑞利系数计算得到,对于光栅的每个衍射阶次都给出了这两个量。VirtualLab Fusion可通过全矢量的傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA)来计算效率和瑞利系数。借助光栅阶次分析器,可以以各种方式显示不同阶次的效率和瑞利系数。 Mc@p~5!M zxwpS
)OjbmU!7 6p1TI1( 光栅详细说明 Do2y7,jv Az0Yt31=
?:H9xJ_^ 5HOhk"
•为了演示一维光栅的光栅分析器,我们使用带HR涂层的正弦光栅。 (y(V,kXwa8 •可以在堆栈中指定光栅参数,并且在光栅组件的编辑对话框中访问该参数。 0}P&G^%" Zvr(c|Q 光栅阶次分析器设置 S:^Q(w7
pRt )B`# •定义光栅结构后,可以配置光栅阶次分析器。 tK8\Ib J •可以指定各种输出选项。 +Pa!pj/< z •可以在光学设置视图中双击它的元件打开分析器的编辑对话框。 45ct*w ;B1}so1]
I94;1(Cs% 6EPC$*Xp! 常规设置 yChC&kX
Z+ k Mwt&6wS
urtcSq&H' S6]D;c8GE •在“常规”选项卡中,可以选择是否分析透射率和/或反射率。 < u^41 •另外,可以指定是否要评估透射、吸收和反射的总和,以及是否要显示极坐标图。 ^z)lEO ;#f%vs>Y7i 单个阶次设置 egP3q5~ jp[QA\
j-A
S {w XP{ nf9& •在“单个阶次”选项卡中,可以选择是否记录单个阶次的信息。 z{ymVd0# •如果想使用VirtualLab Fusion的参数运行或参数优化来分析和优化特定阶次的光栅,则此选项非常有用。 4tq>Lx^5U b_wb!_ 单个阶次设置 tQ|b?3 KP:O]520 CTPn'P=\C n,AN&BZ
sPd5f2' 6j`
waK 探测器标签页中的输出 _@"Y3Lqi !gT6So
tQwbIX-7/ ~zRW*pd •如果在光学设置中处理了光栅阶次分析器,则单阶次输出值将记录到检测器结果选项卡中。 qqkZbsN •这些值在参数运行和参数优化中也可用。 V8,$<1Fi;- R[_7ab]A 极坐标图中的输出 Gg-<3z ^2=Jv.2{| +vYm: m{V@Om •光栅阶次分析器的极坐标图输出绘制了反射阶和透射阶的效率与x-z平面中角度的关系。 71)HxC[6vA •它还提供了一个表格,显示了阶次的所有角度和效率。 "bw4{pa+ 071wo7 极坐标图设置 "%}PVO! k+s<;{
@${!C\([1 "CZ`hx1|^ •可以使用鼠标滚轮、属性窗口和功能区来放大极坐标图。 b!`:|!7r' •可以通过右键单击图表来配置显示哪些阶次。 'z!I#Y!Y lGcHfW)Y 阶次汇集输出 Kvk;D ]$ 4vy!'r@ ]-ZD;kOr •“光栅阶次汇集”对象用于在不同坐标上可视化计算出的光栅效率或瑞利系数。 Qs,LK(1 •用户可以通过属性浏览器设置各种选项来配置应显示的数据 ~&KfJ L8ZCGW\Rr 阶次汇集设置 {AcKBib lhxhAe
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