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摘要 ;jTN| i' >yh2Lri 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 WOf 4o M&
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BL58] P84 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) dAe')N:KPI !5?<% * 建模任务 @ur+;IK$ 6\S~P/PkE
;ovP$ vl> /5AJ.r 单次FMM仿真结果 R_xRp&5 Jpo(Wl
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