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摘要 ;"dX]": C-M_:kQ[U 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 \Vc[/Qp7Bb *g5bdQ:Av~
0E.N3iU 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) oR#W@OK@is 0O3O^
0 建模任务 gt{kjrTv& s`yzeo
qu B[S)2} 7F<{ Qn 单次FMM仿真结果 $dfc@Fn^x !y_FbJ8KC
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z%<_<} 参数扫描(1D) }`=7%b`-? L0w6K0J4
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&;m 0%%1:W- 参数扫描(2D) w/@ZPBRo] [>ghs_?dZ "ESc^28 0zW*JJxV 文件信息 Q4XlYgIV2A TV`1&ta
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