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摘要 ^B& Z TL7-uH 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 FZA8@J|Q4 )hQNIt3o_
&,&+/Sr11 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ]hvB-R16f I/WnF"yP 建模任务 +d6E)~qKL u'K<-U8H
K?T)9 GN1cnM>` 单次FMM仿真结果 \\)-[4uC Vn/6D[}Tu
XY4s }UGPEf\ 参数扫描(1D) i]$d3J3 u khI#:[
o3WkbMJWM ;v0sM*x%V 参数扫描(2D) e('c9 Y aYj3a;EmU Z@ws,f^e ao-C9|2>NU 文件信息 #Y18z5vo 6:EO
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