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摘要 }ppVR$7]0 kt:)W])V 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 C1V# ?03eI DKh}Y
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#;d)? 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) _)Qy4[S=d -<_7\09 建模任务 ?8Et[tFg L59bu/LfL
R4V \B [_h%F,_ A 单次FMM仿真结果 ]$3+[9x' !/947Rn
sYI~dU2H G-arnu) 参数扫描(1D) [(1O" u,fA!
3@G;'|z &} ,*\Oj 参数扫描(2D) iSlFRv?a ):krJ+-/y i`+B4I8[ 1 o|T 文件信息 `K w7" _vL<h$vD
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