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摘要 4ko(bW#jL :#spL*FIx 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ^WIGd"^ dmE.yVI"O
8Jf4"; 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) ~YrO>H` B oyo
V1jO 建模任务 #j${R={ Ha20g/UN.
^y&sKO Ceak8#|4 单次FMM仿真结果 LD)P.
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