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摘要 Uq^#r iq PHZ0P7 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 ;DFSzbF` #h`
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r]:(Vk]|F 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) &,{fw@#)_ ;$.J3! 建模任务 (nf~x H[,i{dD
$4h 5rC g0 ~A'!2 单次FMM仿真结果 F \KjEl0 4T|b
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