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摘要 {\vVzy,t7 6{{<+
o 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 3 yw$<lm oaZdvu@y
UCXRF 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) r{B28'f[ WNZYs 建模任务 hs5>Gx vaJl}^T
l p(D@FT BY&{fWUo 单次FMM仿真结果 ][b|^V GXIzAB(
~o/k?l h@Jg9AM 参数扫描(1D) :b*7TJ\grN 6)p8BUft
Hq+QsplG LR{bNV[i 参数扫描(2D) hv?T}E ya{`gjIlW I 44]W & j
RcE241 文件信息
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