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摘要 f7~dn#<@ RI&O@?+U 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 8%#8PLB2 b;UBvwY_
['=O>YY 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Zek@xr;]
x2"1,1%H7 建模任务 <v|"eq} gHBv Q1g
$qQYxx@ RTcxZ/\"# 单次FMM仿真结果 Y:ly x-lj P\7*ql`
.cHgYHa eyD V911 参数扫描(1D) ["EXSptB w5HIR/kP
YQG<Q :@[\(: 参数扫描(2D) MF4( "kyCY9)% O D}RnKL ^[xcfTN 文件信息 &<BBPn@\ *#XZ*Ga
~DInd-<5 <#C,66k pX SShU# QQ:2987619807 UPuoIfuqI
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