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摘要 ~3f#cEP>d} },[S 9I`p 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 Zb);08X G.B^C)guu
R>pa? tQgK 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) Mt@K01MI% fp12-Hk ~ 建模任务 ub4(mS >+,1@R
O aF+Z@s K"-N:OV 单次FMM仿真结果 ,u~\$Az6 +".&A#wU
P]dDTh~e~ @$+l ^"#-] 参数扫描(1D) FopD/D{ ~}4H=[Zu
U@Aq@d+n B#EF/\5 参数扫描(2D) r<C^hs&] PO)5L &[RC 4^;\V Kau*e8 文件信息 m{+lG* .=^h@C*
Dq2eX;c@ TvI}yaCu/x ^D vaT9s QQ:2987619807 `4;<\VYCr
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