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摘要 zd?uMq;w \bv JZ_ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 9 N9Q#o$!. :[bpMP<bz;
.MW/XnCYs4 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) `a]feAl Tu-I".d+ 建模任务 884 -\M"h f(.t0{Etq
1'SpJL1u~ h#]LXs 单次FMM仿真结果 1-?TjR !-s 6B
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