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摘要 %~\ 4:`[q E3 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 I>Y{>S Y^3)!>
>)y$mc6 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) l0#4Fma 5Hy3\_ + 建模任务 Y?t2,cm [`9^QEj
+"Ub/[J{G1 ~#t*pOC5BR 单次FMM仿真结果 xFX&9^Uk d<v~=
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B~rU1Y) K=o:V& 参数扫描(2D) b-uZ"Kf^ 0@v2*\D# XLocg _<2RYXBC 文件信息 vG3M5G feN!_-
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