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摘要 SS
O$.rp $2Ox;+ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 DyG3|5s1R Uk-^n~y
zrU0YHmt 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 1;SW%\M w48T? 建模任务 ;%]Q%7 Pp:(PoH
<|Bh;; Q0,]Q ]_ 单次FMM仿真结果 R8Lp8!F' xv 's52x
]0xbvJ8oK 2y#4rl1Utx 参数扫描(1D) ;Y
j_@= U{h5uezD
sBu=@8R]y #; E,>0 参数扫描(2D) C$aiOK-]+ N|z-s L/<^uO1 B y6: 文件信息 %&4sHDP +G?4Wc1
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