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摘要 OB[o2G <0 *x)Ozfe 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 TKk-;Y=N 2X:4CC%5
z4&iK)x 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) IbcZ@'RSw }FzqW*4~ 建模任务 YF+n
b.0. aM7uBx\8 5
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单次FMM仿真结果 rr#K"SP hFiIW77s2
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LH:i| I >~K
qg~ 参数扫描(2D) 1?
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