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摘要 U
!%IC7@ BM5)SgK 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 i_nUyH%b pp2 Jy{\d
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S?p_ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) 3TN'1D ei 5!jt^i]O 建模任务 X5= Ki
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SQN{/")T C;ME"4,( 单次FMM仿真结果 ?P}) Qa xXJzE|)1h!
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[=:4^S|M VeH%E.: 参数扫描(2D) B5_QH8kt7 Np;tpq~ )=5*iWe ;a[3RqmKW 文件信息 z_). - iztgk/(+G
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