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摘要 k%JwS_F ?!8M
I,c/ 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 rsA K0R+ n|3ENN
:X/j%m* 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) }<A\> pT.iQ J| 建模任务 BPe5c :z E_7N^htv
(B]rINY| quVTqhg" 单次FMM仿真结果 A2g+m KR%DpQ&{'
(wnkdI{ M-"%4^8_ 参数扫描(1D) "{j4?3f) 9UZKL@KC
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QDmSy*& 参数扫描(2D) Hh4$Qr;R +A3@{2 h /@G[5E tJ i#bg% 文件信息 %sbDH STL&ZO
6/Q'o5>NL: ;1A4p`) r|:i: ii QQ:2987619807 E~3wdOZv1
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