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摘要 BH&/2tO% 7MO 可用于严格分析光栅效率。在VirtualLab Fusion中,可以设置光栅系统、执行严格的分析、并以不同的格式分析结果(例如光栅阶次汇集、单值等)。与参数运行结合使用,可以在给定的参数空间上进行扫描,以研究指定结构在不同配置下的性能。 dd\bI_ 66~e~F}z
ZI58XS+ 傅里叶模态法(FMM,也称为RCWA) NV8]#b FgOUe 建模任务 068WlF cWV _x\-!&[p
[i(Cl} v9E+(4I9_ 单次FMM仿真结果 |?x^8e<* BgJkrv7~
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6sYV7w,'@ 8?e 参数扫描(2D) Az9X#h.vf nU}~I)@V <ZigCo w 6oj4Rg+( 文件信息 W
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