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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 { 576+:*
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 6Q?BwD+> !,I7 ?O 建模任务 ^*HVP* CZF^Wxk  |{zHM2 3gD 光栅特性与参数的严格分析 3/SfUfWo '9f6ZAnYpQ 不同光栅周期下的衍射效率 X >3iYDe N `J:^,H
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−通过使用界面来配置光栅结构 (Fbm9(q$d
[用例] D7gX,e
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−光栅级次分析器[用例] 1p Ymtr
•使用参数运行搜索初始解决方案 L.I}-n
−参数运行文档的使用[用例] B BApL{
•通过参数优化找到最终设计 $v?! 6: R:pBbA7E VirtualLab Fusion技术 110>p ul z\x2[Pf
 ^t/'dfF Mo/2,DiI5 文件信息 &2<&X( ) 1 o (DEL xE  c4qp3B_w 试用：QQ939912426 R&x7 Iq:=D
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