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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 b<. +WkO
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 ocgbBE p-KuCobz] 建模任务 R#\8jv v }.b[a z\T  s^KxAw_IV 光栅特性与参数的严格分析 B4|% E$1+ ^ACp_RM 不同光栅周期下的衍射效率 BTd'bD~EA .=@M> TZM
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−通过使用界面来配置光栅结构 $3[cBX.=
[用例] DdQf %W8u
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−光栅级次分析器[用例] dH/t|.%
•使用参数运行搜索初始解决方案 \Zh)oUH d
−参数运行文档的使用[用例] kIfb!
•通过参数优化找到最终设计 QhG-1P3# _5K_YhT VirtualLab Fusion技术 8x9kF]= nM; G;
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