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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 JfzfxfM TNlS2b1
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t%qowt •构造光栅结构 0f"la=6 −通过使用界面来配置光栅结构 CFG(4IMx [用例] Fr1OzS^&( •分析光栅衍射效率 I1W~;2cK −光栅级次分析器[用例] r-5xo.J' •使用参数运行搜索初始解决方案 }PzHtA,V −参数运行文档的使用[用例] 3j w4#GW •通过参数优化找到最终设计 ]%[. > mR `,Y/!(:; VirtualLab Fusion技术 F*=}}H/ 92Rm{n
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