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当光栅的特征尺寸与波长相当时,具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性,以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 Qi`Lj5;\F N%!8 I tjc3;9 PeGL
Rbx34 建模任务 Ijq1ns_tx8 +c5z-X$^] k"F5'Od 光栅特性与参数的严格分析 YIo$ ~F?s\kp6 不同光栅周期下的衍射效率 #UL:#pY !a?$ I*_@WoI* &1Dq3%$c 关于光栅周期选择的考虑 "']I. bI.LE/yk _cdrz)T `oP :F[B 偏振相关的衍射特性 =4cK9ac 'EoJo9p6} WGFp<R U<J4\|1?7' LcS\#p#s] ~ *RG|4# Sc'z vlq xrDHXqH 通过参数优化进行光栅设计 89T xd9X -b+VzVJZ 固定周期的2D参数优化 _MQ) ~pA_E!3W r'xZF~}k"~ 2D参数优化–设计1 xo2PxUO ;Ak<O[ AE!DftI gV@FT|j!i 2D参数优化–设计2 ZaJg$ ^6j: lL Iko1%GJ1Z 9r.Os 制造公差分析–设计2 |Qo`K%8 9}^nozR,I qYFOHu
6lw)L 变化光栅周期的3D参数优化 .lnyn|MVb u;p.:{' pEgQ)
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21'I-j 制造公差分析 L+,p#w B M5+;h ! |O3wAxc3W !J`>;& 走进VirtualLab Fusion As0E'n85 U;QTA8|!& Vg'vL[Y .l?sYe64S VirtualLab Fusion中的工作流程 J%ng8v5ex n{sF'n</ Vb^P{F ^o&3 +s}M •构造光栅结构 &?N1-?BjM −通过使用界面来配置光栅结构 KMC]< [用例] V4I5PPz~ •分析光栅衍射效率 "(bnr0 −光栅级次分析器[用例]
UhKC:<% •使用参数运行搜索初始解决方案 0#1hkJ" −参数运行文档的使用[用例] i) v
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QOXG:?v\ VirtualLab Fusion技术 O@.C.5Ep 3
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