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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 xN
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 Uuq*;L xixdv{M<FF 建模任务 )p!.V( , T;`2t;  Kd;Iu\4hv 光栅特性与参数的严格分析 Zc|V7 +Yx B+r$_L&I 不同光栅周期下的衍射效率 .4O~a Yx3ivjX.>
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##r9 /`A 关于光栅周期选择的考虑 }|u>b!7_.
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•构造光栅结构 SZD7"m4
−通过使用界面来配置光栅结构 U8OVn(qV
[用例] 95mwDHbA
•分析光栅衍射效率 hMyN$7Z
−光栅级次分析器[用例] q}gM2Ia'vY
•使用参数运行搜索初始解决方案 nm,(Wdr
−参数运行文档的使用[用例] KGrYF
•通过参数优化找到最终设计 E<'V6T9bi KEjMxOv1 VirtualLab Fusion技术 8Om4G]*|, ($Q|9>5,
 zNM*xP gS >Z>s R0s7 文件信息 -_BX\iP{ PQ 2rNY6 Ui'*$W]v  Ze?n Q- 试用：QQ939912426 w1LZ\nA<
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