|
|
当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 xI=[=;L
5ge Z6]|
 YF");itH i V%tn{fc 建模任务 C"}]PW ;S> ml  =dC5q{ 光栅特性与参数的严格分析 +QrbW .=b)Ae c 不同光栅周期下的衍射效率 1lUY27MF ?6^KY+ 5`C
 NE$=R" <Gv
ErMA$UkJ 关于光栅周期选择的考虑 c;7ekj
Ps MCs|*
 {,m W7 Z"<tEOs/En 偏振相关的衍射特性 Oz,/ y3_ UD r@
 78+PG(Q_M
U@?Ro enn
 HQ8;d9cGir
xqzd X L}
 m m<rdo(` ;,]Wtmu)7 通过参数优化进行光栅设计 PT`gAUCw #$>m` r 固定周期的2D参数优化 Qjh @oWT Z4Qq#iHZR
 ZgI1Byf 2D参数优化–设计1 b jJ2 12 J
M>g\ Y
 -i?- Xj#% 6ax|EMw 2D参数优化–设计2 /v:+
vh*mS
Q<pL5[00fD
 2V#(1Hc! o;@T6-VH 制造公差分析–设计2 :>g*!hpb
f?A*g$v
 "h}miVArS c`& <"Us 变化光栅周期的3D参数优化 * <_8]C0>
ebS>_jD
 &De&ZypU oUBn:Ir@ 制造公差分析 e[7n`ka
'
+H~})PeQ
 LN?W~^gsR /uzU]3KF~ 走进VirtualLab Fusion Wf= D'6w
!1}A\S
 /u 8m|S< Rx 4
;X VirtualLab Fusion中的工作流程 FHS6Mk26
\Z^YaKj&
 /r Hd9^Y /-l 7GswF •构造光栅结构 0ZXG{Gp9S
−通过使用界面来配置光栅结构 ]QS? fs Z
[用例] / t083
•分析光栅衍射效率 - U g
−光栅级次分析器[用例] @4D$Xl
•使用参数运行搜索初始解决方案 O &?i8XsB
−参数运行文档的使用[用例] qq Sf17sW
•通过参数优化找到最终设计 !;^sIoRPV N (W ;(7 VirtualLab Fusion技术 X99:/3MXB' Bp`?inKBOd
 m]$!wp . j}dk.#h 文件信息 ?j{LE- ( dhW)< .R` {.~_{!  / ,z4tf 试用：QQ939912426 ^E8XPK]-~
`2y2Bk
|
