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当光栅的特征尺寸与波长相当时，具有偏振相关的光学特性。这使得难以针对任意偏振设计出具有高衍射效率的光栅。根据文献中的概念[T. Clausnitzer, et al., Proc. SPIE 5252, 174-182 (2003)], 我们将展示如何严格分析光栅的偏振相关特性，以及如何使用参数优化设计具有高衍射效率的偏振无关光栅。 =ai2z2z
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 bL1m' ^r C:i|-t e •构造光栅结构 ;:]\KJm}?
−通过使用界面来配置光栅结构 Y#HI;Y^RP
[用例] HB iBv-=,
•分析光栅衍射效率 a#[-*ou`
−光栅级次分析器[用例] 5iM[sg[y9
•使用参数运行搜索初始解决方案 V.=lGhi
−参数运行文档的使用[用例] #;Tz[0
•通过参数优化找到最终设计 |"]PCb)! ;Vu5p#,O<M VirtualLab Fusion技术 FTf<c 0 ,
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