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摘要 Vi8A4
7R2O[=Szq 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 FI$:R
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 lZ\8W^ }#O!GG{ 建模任务 y!77gx?- xLz=)k[''
 (hzN(Dh 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) pFd8p@m_2
5:h [%3'bB 某一位置的Talbot图样 kW g.-$pp
`@h|+`h
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KGO 某一位置的Talbot图样 HB/V4ki
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 NXY jb(4: 8vY-bm,e 不同位置的Talbot图样 A I P~A]T
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 smQ^(S^ Iry$z^ 不同位置的Talbot图样 *glZb;_
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Pd*[i7zhC n{ ;j 沿Z轴的强度 W_\zx<m
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 Wy}I"q[~So |^pev2g VirtualLab Fusion的工作流程 yGZsNd {a& XIHN6aQ{X 构建光栅结构 <>cS@V5j - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] S\ k < - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] e#(Ck{e >Jz9wo ` 通过参数运行计算不同位置的强度 'ZfgCu)St - 参数运行文件的使用 [用例] 7RAB"T;?Q 5'~_d@M  0lfK}
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