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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 #^+DL]*l  
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    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 zbJT&@z  
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    建模任务 g+X}c/" .  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)  }-~l!  
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    某一位置的Talbot图样 >:lnt /N3  
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    不同位置的Talbot图样 J=/5}u_gw  
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    沿Z轴的强度 4[N^>qt =  
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    走进VirtualLab Fusion AlJ} >u  
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     Sfdu`MQR  
    R LD`O9#j  
    VirtualLab Fusion的工作流程 }V\N16f  
    }l=xiAF  
     构建光栅结构 g:EVhuK  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] <I;2{*QI2  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] -IV]U*4  
    7B?c{  
     通过参数运行计算不同位置的强度 %iw3oh&Fkm  
    - 参数运行文件的使用 [用例] $q 2D+_  
    iTaWup  
    *z7dl5xJ  
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    VirtualLab Fusion技术 RD.V'`n"  
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    文件信息 - |gmQG  
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    延伸阅读 )rixMl &[  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     .aflsUD  
    - 光栅级次分析器 &ot/nQQ  
    - Talbot效应的建模 LCQE_}Mh  
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    有什么问题可以添加微信~ :Lz\yARpk  
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