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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 nDB 2>J  
     Du:p!nO  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 OP`Jc$| 6  
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    建模任务 t-*|Hfp*^  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ITIj=!F*  
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    某一位置的Talbot图样 [~c'|E8Q  
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    某一位置的Talbot图样 ]]=fA 4(  
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    不同位置的Talbot图样 51G=RYay9  
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    q@!'R{fu  
    不同位置的Talbot图样 Z%5nVsm:G  
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     G/z\^Q  
    X')Zm+  
    沿Z轴的强度 S1^nC tSF  
    -*%!q$:  
     Fu4EEi  
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    走进VirtualLab Fusion ~z K@pFeH  
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    l{6` k<J(  
    VirtualLab Fusion的工作流程 UiR,^/8ED  
    ,<$YVXe/  
     构建光栅结构 wD6!#t k  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] nx-1*  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] uKbHFF  
    :'y{dbKp"  
     通过参数运行计算不同位置的强度 cK[R1 ReH  
    - 参数运行文件的使用 [用例] +[whh  
    B6ed,($&  
    #7]o6  
    lmhbF  
    VirtualLab Fusion技术 U=F-] lD  
    BbrT f"`  
     mQJ4;BJw  
       #9$V 08  
    文件信息 QB/7/PW{H\  
    $N;"}G z  
     $ZI~8rI~  
    2cCWQ"_,  
    延伸阅读 ,u}<Ws8N  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     .pM &jni Y  
    - 光栅级次分析器 ua`6M  
    - Talbot效应的建模 -BA"3 S  
    [,O`MU  
     (0E U3w?]  
    有什么问题可以添加微信~ # 0GGc.  
    j:3EpD@GS  
     2{t)DUs  
     
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