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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 Y;eoT J  
     L;lk.~V4T  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ]x_F{&6U8  
    O2lIlCL  
     Wc\+x1:8  
    #R<G,"N5  
    建模任务 XWXr0>!,?  
    z7k$0&  
     %qi%$  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) S(tEw Xy  
     ckWkZ 78\  
    某一位置的Talbot图样 #g{Mne  
    aaT5u14%  
     }^9paU  
       73)Ll"(  
    某一位置的Talbot图样 %"+4 D,'l  
    &?r*p0MQC  
     1daL y  
    Km"&mT $  
    不同位置的Talbot图样 *m&%vj.Kc  
    63C(Tp"  
     0 Az/fzJlz  
    gmDR{loX  
    不同位置的Talbot图样 j.B>v\b_3  
    8t=3  
     O{u[+g  
    i7s\CY  
    沿Z轴的强度 T]uKH29.%  
    s>r ^r%uK  
     H0+:XF\M  
     Oq}ip  
    走进VirtualLab Fusion 6Hl < ,(vn  
    Z/c_kf[  
     `V@z&n0P6  
    Wp`C:H  
    VirtualLab Fusion的工作流程 #h{Nz/h+  
    xG w?'\  
     构建光栅结构 OGGSS&5t w  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] V]m^7^m3  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] E|{m"RUOy  
    5QOZ%9E&M  
     通过参数运行计算不同位置的强度 k,lqT>C  
    - 参数运行文件的使用 [用例] AA2ui%  
    }7Jp :.qk  
    RAwk7F3qn  
    #fN/LO  
    VirtualLab Fusion技术 XECikld>  
    K-6p'|  
     zWtj|%ts  
       /`}6rXnw9  
    文件信息 t2U$m'(A&  
    =E1tgrW  
     p7$3`t 6u  
    *W%'Di  
    延伸阅读 b*`fLrqV.  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     !?6.!2  
    - 光栅级次分析器 W8VO)3nmD  
    - Talbot效应的建模 $bFgsy*N2  
    ,6RQvw  
     V_lGj  
    有什么问题可以添加微信~ U1jSUkqb  
    Kk`<f d  
     A]#_"fayo  
     
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