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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 -"S94<Y  
     x#&_/oqAk  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 wdf;LM  
    fVgN8b|&'  
     YlUh|sK7m  
    F-b]>3r  
    建模任务 nS h~ mP  
    9_d# F'#F  
     _68vSYr  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ra6\+M~}e  
     jUKMDl H  
    某一位置的Talbot图样 z;P#  
    &]LpGl  
     x7<NaMK\  
       !hM`Oe`S  
    某一位置的Talbot图样 h~]e~u V  
    N8df1>mW  
     4eB oR%2o  
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    不同位置的Talbot图样 %7 yQ0'P  
    g 8uq6U  
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    不同位置的Talbot图样 ~]RfOpq^w  
    `p9N| V  
     n{<}<SVY  
    ZO/Jf Jn~  
    沿Z轴的强度 <9 ^7r J  
    4)OOj14-V  
     xM!9$v  
    ME0u|_dPjz  
    走进VirtualLab Fusion mjg@c|rTG  
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     7gV9m9#  
    *xpn-hCp<  
    VirtualLab Fusion的工作流程 2Sa{=x N)  
    ?D2a"a$^  
     构建光栅结构 ,j`48S@  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i.7_i78\"  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] t3?I4HQ  
    # $k1w@  
     通过参数运行计算不同位置的强度 GVA%iE.  
    - 参数运行文件的使用 [用例] sRZ<c  
    U ^GVz%\  
    Q|{b8K  
    wT- <#+L\  
    VirtualLab Fusion技术 @v@F%JCZ  
    "P@ SR`v#  
     =O"]e/CfO  
       lEwQj[ k  
    文件信息 [^ r8P:Ad  
    [t3 Kgjt  
     "ldd&><  
    HyWR&0J  
    延伸阅读 #k)z5vZ$h  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     /;Hqv`X7  
    - 光栅级次分析器 KMkD6g  
    - Talbot效应的建模 QN$s %&O  
    e21J9e6z   
     /bo=,%wJ[  
    有什么问题可以添加微信~ F1_,V?  
    ;Wy03}K4J  
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