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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 je/!{(  
     *^%*o?M~  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 >rsqH+oL  
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    建模任务 t2HJsMX  
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     6uPcXd:8ZR  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) )!BsF'uVQ  
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    某一位置的Talbot图样 8flOq"uK^  
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    沿Z轴的强度 yXI >I  
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    走进VirtualLab Fusion ]?O2:X  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 ML;*e"$  
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     构建光栅结构 D8&`R  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] p'7*6bj1  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 5DOBs f8Jo  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 Twn4lG4~  
    - 参数运行文件的使用 [用例] .itw04Uru  
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    VirtualLab Fusion技术 8k q5ud  
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    延伸阅读  :Gm/  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     `u>4\sv  
    - 光栅级次分析器 X7k.zlH7T  
    - Talbot效应的建模 aQ :5d3m0  
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    有什么问题可以添加微信~ W9NX=gE4  
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