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摘要 3<N2 ehi?
2v;&`04V< 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 3x 7fa^umR
R0F [
 Sw$/Z)1K& /q,=!&f2 建模任务 ;b. m X )s4: &!
 b g_io* K 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) lj:.} +]r
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 l w?C:-m RBg2iG$ 8| VirtualLab Fusion的工作流程 * C Az_s< C8YStT 构建光栅结构 &gJ @"`r4 - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] :_2:Fh.}3~ - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Zy{hYHQ SB5qm?pT8< 通过参数运行计算不同位置的强度 odJE~\\hw - 参数运行文件的使用 [用例] Zm |il9y4m 1=E} X5  ~k?t G&MO(r}B VirtualLab Fusion技术 n <HF]
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 Qy=tkCN m7 XN6zX 延伸阅读 YnDaB px
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 # BS! J&a - 光栅级次分析器 )cZ KB0*+ - Talbot效应的建模 N"Y%* BkH +|K,\
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