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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 %QKRl 5RM-  
     hV>@qOl '  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 tx{tIw^2;  
    PbN"+qM  
     ky98Bz%  
    1$a dX  
    建模任务 {qkd63 X  
    {uuvgFC  
     w-(^w9_e  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) I\peO/w  
     XG_Iq ,  
    某一位置的Talbot图样 Afq?Ps+  
    bLpGrGJs  
     =*?2+ ;  
       @C fxPA  
    某一位置的Talbot图样 b(McH*_8e  
    J>Uzd, /  
     ewb/ Z[4  
    h2C1'+Q{9  
    不同位置的Talbot图样 +: oD?h  
    V`z2F'vT  
     'L0{Ed+9  
    $S0eERg a  
    不同位置的Talbot图样 (G:K?o)  
    >{]mN5  
     %aeQL;# V  
    RU^lR8;  
    沿Z轴的强度 63?fn~0\  
    wf8GH}2A  
     dQ4K^u  
    K?o}B  
    走进VirtualLab Fusion );.q:"  
    H21\6 GY  
     +T@a/(Gl  
    `y!6(xI  
    VirtualLab Fusion的工作流程 GL_a`.=@  
    Eb<iR)e H=  
     构建光栅结构 Sh_=dzM  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Gv,0{DVX<  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] S6sw)  
    U-#t&yjh#  
     通过参数运行计算不同位置的强度 =*YK6  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 3 T3p[q4  
    %q@eCN  
    Eqg(U0k0  
    <4W"ne28  
    VirtualLab Fusion技术 g& *pk5V>  
    nJ|8#U7  
     q(Y<cJ?X  
       rZy38Wo  
    文件信息 n NI V(  
    OKp(A  
     b-{\manH  
    'wAO Y  
    延伸阅读  S< <xlW  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     gnoV>ON0  
    - 光栅级次分析器 pQxaT$  
    - Talbot效应的建模 byv(:xk|'e  
    7"r7F#D=G  
     dyjzF`H  
    有什么问题可以添加微信~ 8Us5Oi  
    N1KYV&'o  
     cK>5!2b  
     
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