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摘要 kq X=3Zo
yH( 'Vl 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 @Ommd{0M
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 z~2{`pET J2}poNmm 建模任务 e^lX|L>o NzAh3k
 \^6 [^\@[ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) /"J 6``MV
6 ):1U 某一位置的Talbot图样 eL~xS: VT
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 |\dv$` _T fV4rV y8 沿Z轴的强度 .v(GVkE}
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;=z o-8 2*Qi4%s# VirtualLab Fusion的工作流程 5IUdA? 7 SS#V 构建光栅结构 6YU,> KP - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ]7}!3 m - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] UhqTn$=fb sJx_X8 通过参数运行计算不同位置的强度 -&D=4,# - 参数运行文件的使用 [用例] (1|wM+)" ;U>nj],uv  V\m"Hl>VIU /i8OyRpSyk VirtualLab Fusion技术 zoi0 Z
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j7ZxA* 延伸阅读 HSysME1X:/
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 }|
MX=:@* - 光栅级次分析器 Z@1kx3Wx$ - Talbot效应的建模 UB5H8&Rf! -_n Qn
f$QkzWvr 有什么问题可以添加微信~ 4ams~  _!1LV[x!s
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