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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ihh4pD27g  
     ms($9Lv/  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ZKQ hbNT  
    ] sz3]"2  
     kt[:@Nda9  
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    建模任务 J$4wL F3  
    JG C=(;  
     1:NrP'W^  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) !3mA 0-!+  
     tt%MoQ)   
    某一位置的Talbot图样 (>mI'!4d  
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    某一位置的Talbot图样 "dR |[a<#g  
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    不同位置的Talbot图样 d=,%= @  
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    不同位置的Talbot图样 k>dsw:  
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     \MxoZ  
    Qn ^bVhG+  
    沿Z轴的强度 < Dx]b*H  
    kOvDl!^  
     :16P.z1L  
    %{3 aW>yx  
    走进VirtualLab Fusion mh<=[J,%p  
    Rwr 2gMt7  
     f84:hXo6  
    axHK_1N{  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ^Qu iH'  
    | ohL]7b<  
     构建光栅结构 =%zLh<3v  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] @&D?e:|!U  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] "<}&GcJbz  
    e]=!"nJ+  
     通过参数运行计算不同位置的强度 [D5t{[i  
    - 参数运行文件的使用 [用例] |QV!-LK  
    ~gz^Cdh  
    #W.vX?-'0  
    Qb8KPpd  
    VirtualLab Fusion技术 `mye}L2I  
    Cf B.ZT  
     a[lY S{  
       `%3 /   
    文件信息 m/NdJMoN=  
    yr#5k`&\_  
     IV lf=k  
    lTU$0CG  
    延伸阅读 = 8gHS[  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     /6O??6g  
    - 光栅级次分析器 yL;M"L  
    - Talbot效应的建模 z} '!eCl  
    dD<fn9t  
     Ll MpS<2NO  
    有什么问题可以添加微信~ +n}$pM|NKU  
    "RVcA",  
     %gnM( pxl  
     
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