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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 Z,m;eCLG]  
     xQ7-4 N,  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Q[N6#C:(4  
    RzLbPSTQ  
     )6:nJ"j#  
    _,;|,  
    建模任务 Upkw.`D`  
    r(QjVLjj`k  
     ?-IjaDC}  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) wWR9dsB.;  
     :TzHI    
    某一位置的Talbot图样 _4jRUsvjY  
    hZ@Wl6FG;  
     5%n  
       2,O;<9au<  
    某一位置的Talbot图样 S+EC!;@Xg  
    J 4EG  
     RwC1C(ZP  
    o {bwWk7v6  
    不同位置的Talbot图样 U`fxe`nVa  
    4^mpQ.]lO  
     s'/ g:aJ  
    'rw nAr  
    不同位置的Talbot图样 $pm5G} .  
    Pe_iA_  
     3G7Qo  
    r!vSYgee  
    沿Z轴的强度 RRGCO+)*  
    ,U#$Qb 12  
     wZA(><\  
    <|'C|J_!  
    走进VirtualLab Fusion oX9rpTi  
     v NJ!d  
     yF}l.>7D  
    |-c)OS3#D  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ^Fr82rJs  
    gUoTOA,  
     构建光栅结构 ]#N~r&hmQ  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Jn_;  cN  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Nn],sEs  
    "&ElKy 7j  
     通过参数运行计算不同位置的强度 jz_\B(m9%  
    - 参数运行文件的使用 [用例] `4'['x  
    i#M$i*H*A  
    H *gF>1  
    csV.AN'obq  
    VirtualLab Fusion技术 :b&O{>M]Y  
    gZ*8F|sg  
     C"I:^&sL  
       Vb`m3  
    文件信息 Gmi w(T  
    "+2Hde1  
     MXbt`]`_  
    m 4Vh R_  
    延伸阅读 h-Q3q:  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     $4\,a^  
    - 光栅级次分析器 _-^Lr /`G!  
    - Talbot效应的建模 TixXA:Mf  
    YH( 54R  
     0^Vc,\P?  
    有什么问题可以添加微信~ Azun"F_f  
    h5-<2B|  
     p-H q\DP  
     
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