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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 Weoj|0|t  
     > Vb@[  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ^[:9fs  
    EER`?Sa(  
     M s9E@E  
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    建模任务 #eP LOR&q  
    Kz8:UG(  
     xk~IN%\  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Eq% @"-m o  
     %bXx!x8(  
    某一位置的Talbot图样 n7aU<`U  
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    某一位置的Talbot图样 #PvB/3  
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    不同位置的Talbot图样 t,)N('m}=  
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     p4>$z& _  
    9ch#}/7B  
    沿Z轴的强度 fBtm%f  
    - "*r  
     NIr@R7MKd  
    Z!xVgM{  
    走进VirtualLab Fusion .ujT!{>v/  
    [36,eK  
     tqPx$s  
    b<I9 MR  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Rr(* aC2P  
    /T^ JS  
     构建光栅结构 r5&I? 0   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] kyh_9K1  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Ax3W2s  
    Sx gYjIa-  
     通过参数运行计算不同位置的强度 3Rg}+[b  
    - 参数运行文件的使用 [用例] tHD  
    '+'CbWgY  
    3XiO@jzre  
    $v.C0 x  
    VirtualLab Fusion技术 1xNVdI   
    BIaDY<j90  
     %,@vWmn  
       O/%< }3Sq  
    文件信息 XB hb`AG  
    T@wcHg  
     Y/TlE?  
    OkAK  
    延伸阅读 6TWWl U^e  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     AEmNHO@%q  
    - 光栅级次分析器 }y%`)lz~;  
    - Talbot效应的建模 wyx(FinIH  
    L(;WxHL  
     1:C:?ZC#c  
    有什么问题可以添加微信~ Yw3oJf&  
    vP%tk s+.  
     P=N$qz$U  
     
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