切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1156阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 y2V9!  
     TB] %?L:  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 -OpI,qyS  
    h<.G^c)  
     40pGu  
    M}4%LjD  
    建模任务 j380=? 7  
    Y[gj2vNe4g  
     \5^#5_<  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) %t0Fx  
     'kc_OvVA  
    某一位置的Talbot图样 l=5(5\  
    :X[(ymWNE  
     ze Qgg|;  
       c/ wzV  
    某一位置的Talbot图样 ]GYO`,  
    &I.UEF2,  
     Nt#zr]Fz  
    PY: l  
    不同位置的Talbot图样 cgsM]2ZYs  
    n.C.th >Y1  
     wKhuUZj{  
    OiX>^_iDt  
    不同位置的Talbot图样 $}<+~JpGfP  
    DO(-)i zC  
     3%m2$\  
    s+>""yi  
    沿Z轴的强度 L)VEA8}  
    9|T%q2O  
     i TY4X:x  
    38! $9)  
    走进VirtualLab Fusion {*H&NI  
    T#^   
     s)"C~w^  
    %'j)~  
    VirtualLab Fusion的工作流程 o)'T#uK  
    K1Nhz'^=D  
     构建光栅结构 i]*W t8~!  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] JxI}#iA  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] & |u  
    J_R54Y~vu  
     通过参数运行计算不同位置的强度 r00waw>C\  
    - 参数运行文件的使用 [用例] y]9 3z!#Z  
    [AQ6ads)  
    s S8Z5k;  
    e0"R7a  
    VirtualLab Fusion技术 bC?uy o"  
    -;'8#"{`^  
     _*6nTSL  
       h@FDP#H  
    文件信息 =?T\zLN=  
     vrdlI^  
     .&.j?kb  
    ?hvPPEJf  
    延伸阅读 KDgJ~T  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     r]?ZXe$;  
    - 光栅级次分析器 =:[Jz1M5  
    - Talbot效应的建模 npg.*I/>  
    0 V*Di2  
     ?8. $A2(Xw  
    有什么问题可以添加微信~ n>jb<uz  
    ,Cj1S7GFR  
     d/Xbk%`p  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表