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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 )}_}D +2  
     N\?__WlBK7  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 2Ib 1D  
    6Tm7|2R  
     d+0= a]  
    ;.R) uCd{=  
    建模任务 mW,b#'hy  
    +-5YmN'  
     + kF%>F]  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) <KoOJMx(  
     M@*Y&(~  
    某一位置的Talbot图样 GI:!,9  
    Y%r>=Jvu6  
     pRjrMS  
       qamq9F$V  
    某一位置的Talbot图样 cBZJ  
    cveQ6 -`K  
     1jPh0?BY  
    ? 5OK4cR  
    不同位置的Talbot图样 Ahr  
    uy<b5.!-  
     TDy$Mv=y  
    _[wG-W/9R  
    不同位置的Talbot图样 {/48n83n  
    @zLyG#kHY  
     )?6%d  
    ~HKzqGQy >  
    沿Z轴的强度 I"KosSs  
    s<3M_mt  
     O+=}x]q*y  
    7(| f@Y~*  
    走进VirtualLab Fusion \ *g3j  
    J 5xZL v  
     rA8{Q.L  
    IaO&f<^#o  
    VirtualLab Fusion的工作流程 s |o(~2j  
    >>8{N)c5E  
     构建光栅结构 WfTl\Dxw  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] g{K \  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]  &!wtH  
    Jq8v69fyQ  
     通过参数运行计算不同位置的强度 k_gl$`A  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 0eK>QZ_  
    M<Dvhy[  
    mDuS-2G=D  
    Wq}W )E  
    VirtualLab Fusion技术 Pw6%,?lQ  
    p$*P@qm  
     vRDs~'f  
       W?[ C au-  
    文件信息 DH4IF i>  
    J?hs\nA  
     Zv8_<>e  
    {*<%6?  
    延伸阅读 8u1?\SYnb  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     <@0S]jy  
    - 光栅级次分析器 f=7[GZoDn  
    - Talbot效应的建模 7=qvu&{  
    2|NQ5OA0  
     2NB $(4/  
    有什么问题可以添加微信~ BE54L+$p  
    OgHqF,0MN  
     g*w}m>O  
     
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