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摘要 Q>yO,H|
u$Wv*;TT% 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 |I2~@RfpO:
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 *K'#$`2 PN"=P2e/ 6 建模任务 :m[HUh 9$WA<1PK+
 9zD,z+ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 5M?
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 T( CTU/a-, A,;[9J2\& 走进VirtualLab Fusion @ [<B:Tqo
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+wE>h>?; 3Lm7{s?=Z- VirtualLab Fusion的工作流程 V5!mV_EoR@ (L,>P`CR6 构建光栅结构 a\xf\$Ym - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] yaK4% k - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] {S"! c. t $u. 通过参数运行计算不同位置的强度 `##^@N<P - 参数运行文件的使用 [用例] uX8G<7O^ )E}eK-Yu  ,h },jkY4 roNs~]6 VirtualLab Fusion技术 @ 5 V3I ^
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 7xfN}iHG ?Vc/mO2X 文件信息 J8@7
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 tWI %P&b a9p6[qOcd 延伸阅读 3|vZ `}
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 WjF#YW\ - 光栅级次分析器 tREC)+*\ - Talbot效应的建模 r~; TId} # 9@ 8)ZHf
?dQ#%06mn 有什么问题可以添加微信~ |K'7BK_^J  g acE?bW'
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