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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 Te'^O,C)y$  
     ;TSnIC)c  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 $Br^c< y  
    }SitT\%  
     ulfpop*2  
    :&yRvu  
    建模任务 Qm`f5-d  
    v ;MI*!E  
     6AUzS4O  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) :Tuy]]k  
     u-UUF  
    某一位置的Talbot图样 ?d+B]VYw  
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    某一位置的Talbot图样 vzi=[A  
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     8g>jz 8  
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    不同位置的Talbot图样 #*S/Sh?Q  
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    不同位置的Talbot图样 Jr17pu(t  
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     { w!}:8p  
    w41#? VC/  
    沿Z轴的强度 tHoFnPd\|  
    m.K"IXD  
     Rp`}"x9  
    @Jvw"=  
    走进VirtualLab Fusion @TgCI`E   
    9q* sR1  
     :@: R4Ac  
    EzNmsbtZ(  
    VirtualLab Fusion的工作流程 aF'Ik XG d  
    0RoI`>j'  
     构建光栅结构 "Wi`S;  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Gw+z8^|C&}  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] D VSYH{U4  
    (3]7[h7  
     通过参数运行计算不同位置的强度 1&jX~'  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ?-@h Nrx  
     g<,v2A  
    E/U1g4S  
    B/5C jHz  
    VirtualLab Fusion技术 P:*'x9`  
    ~S-x-cZ  
     I5x/N.  
       2A`EFk7_X  
    文件信息 PI?-gc?[  
    dDpe$N  
     6 Dg[ b  
    Nm,v E7M  
    延伸阅读 *3 9sh[*}  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     y|MW-|0=!  
    - 光栅级次分析器 ;U20g:K  
    - Talbot效应的建模 gVG :z_6  
    Opjt? ]  
     <EBp X   
    有什么问题可以添加微信~ .f jM9G#  
    }1 _gemlf  
     i(c2NPbX  
     
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