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摘要 -Hl\j (D7
?#');` 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 \J#I}-a&j
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 >B|ofwm* ,58kjTM 建模任务 *R1d4|/G y 0W`E/1t
 4kN : =g 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) SV$A Ss
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 _@}MGWlAPt Ib<5u VirtualLab Fusion的工作流程 h3vm< R ; #6#BSZ E 构建光栅结构 Qc)RrqYNGF - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] }@t'r K[ - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] F'T=
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N*c?Er@8U 通过参数运行计算不同位置的强度 {mq$W - 参数运行文件的使用 [用例] A+Pm "| EKI+Dq,  ps4W wk( Y_ TL4 VirtualLab Fusion技术 XzTH,7 [n
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 t.i9!'Y ] ^#6%*(D 延伸阅读 T W;;OS[
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q2o$s9}B 有什么问题可以添加微信~ oKqFZ,m[  h,RUL
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