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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 "u .)X3  
     {d&X/tT  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Tz+HIUIxF  
    Q$/V)0  
     4Z<]4:o  
    2V#c[%vI  
    建模任务 u^j8 XOT  
    '-$))AdD  
     OL,/-;z6  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 6M O|s1zk  
     D!l [3  
    某一位置的Talbot图样 JUe K"|fA  
    jh<TdvF2$  
     U-wq- GT  
       vB&F_"/X2  
    某一位置的Talbot图样 lQ=&jkw  
    mf Wz@=0  
     HPu/. oE  
    z v L>(R  
    不同位置的Talbot图样  =F",D=  
    l044c,AW(  
     RT8_@8  
    z 'vdC  
    不同位置的Talbot图样 Ba"^K d`  
    `'A(`. CL  
     q\ \8b{~  
    GFASF,+  
    沿Z轴的强度 =8$(i[;6w  
    7 K;'7  
     L@gQ L  
    D[>XwL  
    走进VirtualLab Fusion J_y<0zF**  
    Cg]3(3   
     *_2O*{V  
    c5T~0'n  
    VirtualLab Fusion的工作流程 <wd4^Vr!2  
    rzYobOKd#  
     构建光栅结构 FOlA* U4U  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Allt]P>  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] }(f.uN_v  
    rE bx%u7Q  
     通过参数运行计算不同位置的强度 onWYT}c{  
    - 参数运行文件的使用 [用例] LP0;n\  
    M[`w{A  
    BCa90  
    xy-$v   
    VirtualLab Fusion技术 wM2)KM}$  
    Xj})?{FP  
     d @^o/w8  
       <manv8*6  
    文件信息 ~q'w),bE"Q  
    -Z/6;2Q  
     BW;=i.  
    w>9H"Q[  
    延伸阅读 P&-D0T_  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     U:pLnNp`  
    - 光栅级次分析器 Lv,ji_  
    - Talbot效应的建模 @y;tk$e  
    Y|x6g(b  
     'EH  
    有什么问题可以添加微信~ "x=@ ,*Bk  
    3 4A&LBwC  
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