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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 BheEI;}  
     3b?OW7H  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 fr'huvc  
    ZH;y>Z  
     |:(23O  
    xf^<ec  
    建模任务 4QjWZ Wl  
    /\-2l+y>J  
     yA?ENAM  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) o1#:j?sN  
     E&];>3C  
    某一位置的Talbot图样 /J[H5uA  
    RhV:Z3f`6  
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       L*UV  
    某一位置的Talbot图样 U7]<U-.&  
    S[L#M;n  
     I NPYJ#%  
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    不同位置的Talbot图样 dDqr B-G  
    >9.5-5"   
     4#@W;'  
    )H;pGM:  
    不同位置的Talbot图样 L8bI0a]r"*  
    B|Fl ,55  
     @3 -,=x  
    43J\8WBn@  
    沿Z轴的强度 e'~-`Z9-)  
    ol$2sI=.s  
     3qAwBVWa  
    tIGVB+g{F  
    走进VirtualLab Fusion R,x>$n  
    yV J dZI  
     Q5p+W  
    kfqpI  
    VirtualLab Fusion的工作流程 atLV`U&t  
    *%T)\\H2  
     构建光栅结构 T|o`a+?  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] I!$jYY2  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] gf68iR.Gs  
    0^GbpSW{  
     通过参数运行计算不同位置的强度 :M22P`:  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ~|CJsD/  
    > $w^%I  
    0T9@,scY  
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    VirtualLab Fusion技术 %s$rP  
    /OQK/ t63  
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       vix&E`0yD  
    文件信息 5l41Q  
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     4GG1E. z}  
    uQGz;F x  
    延伸阅读 Q'Jv} 'eK_  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     le7 `uz!%  
    - 光栅级次分析器  20I4r  
    - Talbot效应的建模 `6a]|7|f  
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    有什么问题可以添加微信~ b!i`o%Vb  
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