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摘要 d?JVB G9jtL$}E< 在传统的Talbot光刻中,在光敏层中仅使用一个图像,但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中,遵循I.-H. Lee等人的工作,通过傅立叶模态法(FMM,也称为RCWA)在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像,柱状图位于主像面上,孔状图位于次像面上。 >*&[bW'}? w$_ooQ(_;Q
MWB?V?qPSC H)Yv_gT 建模任务 d{Z b.F2m(e2
iPao54Z 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |"arVde ]GJskBm 某一位置的Talbot图样 nZ]d[ D*b>
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-H{{ `y4+OXZ^ 某一位置的Talbot图样 JP#m}W `#~@f!';
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