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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 B2 Tp;)  
     CO0Nq/@  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 <2diO=  
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    建模任务 MJ8z"SKnV  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Ts|&_|  
     r?\hZ*|M  
    某一位置的Talbot图样 fi:Z*-  
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    某一位置的Talbot图样 :I+%v  
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    不同位置的Talbot图样 v\c.xtjI5x  
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    不同位置的Talbot图样 Av _1cvR:  
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    沿Z轴的强度 !HY+6!hk  
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    有什么问题可以添加微信~ ey_3ah3x  
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