切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1119阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6080
    光币
    24553
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 Nr4Fp`b8  
     +|?a7qM  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 $W._FAAJ#  
    `&;#A*C0  
     q/U-WQ<+  
    +\dVC,,=^g  
    建模任务 lp*5;Ls'q  
    Owp]>e  
     DpHubqWz  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ^Ks1[xc*`  
     A-x^JC=  
    某一位置的Talbot图样 at>_EiS  
    ;Q ZG<  
     r*HSi.'21  
       ,~L*N*ML  
    某一位置的Talbot图样 /fQcrd7h  
    ~|u;z,\  
     wXNng(M7  
    a$W O} g?  
    不同位置的Talbot图样 o*T?f)_[p  
    Q}#4Qz~n  
     Ust +g4  
    AB=%yM7V*  
    不同位置的Talbot图样 COi15( G2  
    F'~r?D  
     kn#?+Q  
    ?MDo. z3  
    沿Z轴的强度 d /jx8(0  
    TF%n1H-sF  
     a- *sm~u  
    -O} )Y>=}  
    走进VirtualLab Fusion |\bNFnn(  
    hu-]SGb6  
     \t{iyUxY  
    #jbC@A9Pe  
    VirtualLab Fusion的工作流程 '[r:pwE  
    5?3v;B6  
     构建光栅结构 S 1k*"><  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] |@d(2f8  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] \]Y<d  
    :M6|V_Yp  
     通过参数运行计算不同位置的强度 mI2Gs) SO  
    - 参数运行文件的使用 [用例] r6j[C"@  
    OL1xxzo  
    /5%'q~  
    8y<mHJ[B  
    VirtualLab Fusion技术 xK8m\=#  
    [,&g46x22  
     %X\J%Fj  
       H28-;>'`  
    文件信息 yO-2.2h  
    \*PE#RB#6  
     \;%D;3Au  
    wz+mFf  
    延伸阅读 Sw$&E  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     :Gz$(!j1.'  
    - 光栅级次分析器 5hqXMs  
    - Talbot效应的建模 DKo6lP`  
    !B[ Y?b:  
     :~s"]*y  
    有什么问题可以添加微信~ j %MY6"  
    oCwep^P(v  
     $_%  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表