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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 8LiRZ"  
     fT 8"1f|w  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ~ae68&L6  
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    建模任务 yqB{QFXO  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ;rk}\M$+  
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    某一位置的Talbot图样 D./e|i?  
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    不同位置的Talbot图样 bZ%[ON5OY  
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    沿Z轴的强度 s$`evX7D  
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    走进VirtualLab Fusion ty/jTo}  
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    qr6WSBc  
    VirtualLab Fusion的工作流程 l*%?C*  
    +5^*c^C  
     构建光栅结构 [[TB.'k  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Sgr<z d'b  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] #<se0CJB  
    7b Gzun&  
     通过参数运行计算不同位置的强度 (<1DPpy95O  
    - 参数运行文件的使用 [用例] tF`>.=  
    if_e$,dh~>  
    /\Q{i#v  
    S,Oy}Nv  
    VirtualLab Fusion技术 62Jn8DwAT  
    IO,kP`Wcx  
     to,=Q8 )0  
       y(N-1  
    文件信息 o@ ;w!'  
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    延伸阅读 $\a;?>WA"  
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    - 光栅级次分析器 l:faI&o.@  
    - Talbot效应的建模 ")Bf^DV  
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    有什么问题可以添加微信~ K$(U>D|  
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