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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 @21u I{  
     epYj+T  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 \Qp}|n1JY  
    03] r*\  
     (w}r7`n  
    R'r|E_  
    建模任务 a0)vvo=bz  
    j}"]s/= 6  
     [(!Q-8  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) "wF*O"WQo  
     PQQgDtiH  
    某一位置的Talbot图样 {.cB>L  
    [KD}U-(Wg  
     ?3n=m%W,J*  
       Fz{o-4  
    某一位置的Talbot图样 ;g6 nHek  
    Hc>([?P%t  
     E=A/4p6\$  
    l(.7t'  
    不同位置的Talbot图样 Mi<*6j0  
    Q-:Ah:/  
     X3 <SP  
    20n%o&kG]8  
    不同位置的Talbot图样 MG;4M>H  
    3HXh6( e  
     Qb@BV&^y&  
    l DgzM3  
    沿Z轴的强度 ;.L!%$0i#  
    NT'Ie]|  
     < JGYr 4V  
    >h|UCJ1 `  
    走进VirtualLab Fusion UnJi& ~O  
    u|(aS^H=q  
     >>/nuWdpO  
    %L.lkRs  
    VirtualLab Fusion的工作流程 H 3W_}f  
    6ch@Be5*  
     构建光栅结构 W=q?tD~V  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] #d3[uF]OmW  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] )kFme=;  
    gGF$M `  
     通过参数运行计算不同位置的强度 *sIi$1vHu  
    - 参数运行文件的使用 [用例] v\J!yz  
    7$;c6_se  
    >6n@\n  
    Kv(Y }  
    VirtualLab Fusion技术 ^w.k^U=B  
    \xy:6gd:  
     n\~"Wim<b  
       Z`e$~n(Bh  
    文件信息 E>o&GYc  
    L2:oZ&:u`J  
     ,"4X&>_f  
    [R roHXdk+  
    延伸阅读 0:~gW#lD  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     1Al=v  
    - 光栅级次分析器 jJiCF,m  
    - Talbot效应的建模 vbW\~xf  
    D7 8) 4>X  
     (\5<GCW-  
    有什么问题可以添加微信~ cuJ / Vc  
    2n<qAl$t  
     ZYpD8u6U  
     
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