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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 UUy|/z%  
     k/W$)b:Of`  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 pC0l}hnUg  
    dI<s)!  
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    [)|P-x-<  
    建模任务 @2-Eky  
    b(dIl)Y4 :  
     }wrZP}zM>  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |l(rR06#.]  
     w `6qT3v  
    某一位置的Talbot图样 [>+(zlK"  
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     MK 7S*N1  
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    某一位置的Talbot图样 .w^M?}dx  
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     `6`NuZ*6g  
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    不同位置的Talbot图样 Yw<K!'C  
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    不同位置的Talbot图样 S P)$K=  
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    沿Z轴的强度 $A)i}M;uK  
    oqHI`Tu  
     @47MJzC  
    o0^'x Vv  
    走进VirtualLab Fusion 'x BBQP  
    ;|e{J$  
     (Y\aV+9[  
    IF%^H K@  
    VirtualLab Fusion的工作流程 4UmTA_& Io  
    &=5  
     构建光栅结构 Zso&.IATng  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 4A.ZMH  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 8;/`uB:zV  
    " & 'Jw  
     通过参数运行计算不同位置的强度 W+V#z8K  
    - 参数运行文件的使用 [用例] IZY q  
    Q3,`'[ F  
    aN{C86wx  
    h.FC:ym"  
    VirtualLab Fusion技术 *`[dC,+`.  
    .j:[R.  
     cZT;VmC  
       @kC>+4s!  
    文件信息 -Czq[n=0(  
    Lzu;"#pw  
     H[?~u+  
    1C(6.7l  
    延伸阅读 VQV7W  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     F;Ms6 "K  
    - 光栅级次分析器 -~ytk=  
    - Talbot效应的建模 -q\5)nY  
    QPjmIO  
     xcr=AhqM  
    有什么问题可以添加微信~ +c#:;&Gs  
    oomB/"Z  
     eW#U<x%P  
     
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