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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ,/Q`gRBh"  
     Q)\[wYMt  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 P|ftEF  
    Y$_^f*sFn  
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    建模任务 bnN&E?{hF1  
    *Ag3qnY  
     }(oWXwFb&W  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) P!gY&>EU  
     h6?o)Q>N  
    某一位置的Talbot图样 jOZ>^5}  
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     SNf~%B?`L  
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    某一位置的Talbot图样 iLNO}EUL  
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    不同位置的Talbot图样 OS1f}<  
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    T8^l}Y B  
    不同位置的Talbot图样 [E/. r{S  
    ?v`24p3PC  
     +BE_t(%p"  
    1GPBqF  
    沿Z轴的强度 3 K q /V_  
    2b Fr8FUt-  
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    走进VirtualLab Fusion ?)Je%H  
    +pQ3bX  
     {XV 'C @B  
    "~KTLf  
    VirtualLab Fusion的工作流程 *;Cpz[N  
    =E-o@#BS  
     构建光栅结构 :ciD!Ly  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i~)EU F  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 1$^r@rP  
    Bn.5ivF3  
     通过参数运行计算不同位置的强度 nWh f  
    - 参数运行文件的使用 [用例] >CwI(vXn  
    ;wTc_i  
    o_5[}d  
    '&$zgK9T?  
    VirtualLab Fusion技术 #o,FVYYj  
    Ul3xeu  
     gSf >+|  
       74&{GCL  
    文件信息 wc\`2(  
    tY:,9eh7B  
      Sr_hD5!  
    L(9AcP  
    延伸阅读 :Ys ;)W+R  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     J*m7 d4^  
    - 光栅级次分析器 JB=L{P J  
    - Talbot效应的建模 DyA1zwp}  
    irP*:QM  
     `b%^_@Fb  
    有什么问题可以添加微信~ N8=-=]0G  
    'I:_}q  
     Hs{x Z:  
     
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