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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 *!i,?vn  
     4`$5 _} j!  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 i},d[  
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    建模任务 xna7kA  
    Ndo}Tk!  
     u IAZo;  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) UE\%e9<l  
     7qpzk7X?pR  
    某一位置的Talbot图样 15o9CaQw4"  
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    沿Z轴的强度 W/b"a?wE{  
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    走进VirtualLab Fusion ;gZwQ6)i  
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     <E D8"~_  
    `6 |i&w:b  
    VirtualLab Fusion的工作流程 qlz( W  
    *!._Ais,\  
     构建光栅结构 |Dl*w/n  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] pYYqGv^oa  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] Ly#h|)  
    qzuQq94k  
     通过参数运行计算不同位置的强度 JoZqLy!@  
    - 参数运行文件的使用 [用例] K<$wz/\  
    vF5wA-3&t  
    43vGgGW  
    + AE&GU  
    VirtualLab Fusion技术 k! J4Z ${k  
    vGx?m@  
     7P3 <o!YA  
       O"_erH\nk  
    文件信息 [W^6u7~  
    b &\3ps  
     nz,Mqol  
    dzjBUD  
    延伸阅读 :FX'[7;p  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     *u|lmALs  
    - 光栅级次分析器 \iFMU#  
    - Talbot效应的建模 LK'S)Jk  
    ?z\q Mu  
     w Mlf3Uz  
    有什么问题可以添加微信~ \Dvl%:8   
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