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摘要
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s0*@zn>h 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 _q=ua;I&
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G& l" +q&3Zx 建模任务 `PS>"-AY2 xj;V
 ?z0N- A2C2 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) tzrvIVD
]oxi~TwY^ 某一位置的Talbot图样 2VaKt4+`
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 M.\V/OX OTzuOP 8 走进VirtualLab Fusion vp(ow]Q
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O u'+A \IZY\WU}2 VirtualLab Fusion的工作流程 d
r$E:kr .zv BV_I 构建光栅结构 AK(x;4 - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] }/2 M?W0 - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] uR6 `@F ~3Y4_b5E 通过参数运行计算不同位置的强度 {A'_5 X9 - 参数运行文件的使用 [用例] u6SQq-)d Vrs?VA`v$  g
cb6*@u! 0 +F--E4 VirtualLab Fusion技术 U=PTn(2
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 !RSJb @MO/LvD 文件信息 zPN:)
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 )3k?{1: es<8"CcP 延伸阅读 y/+ IPR
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 :0Z\-7iK - 光栅级次分析器 < n/ 2 - Talbot效应的建模 < /2 aQn Ub/ZzAwq
et?FX K"y 有什么问题可以添加微信~ 3S"
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