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摘要 b}#ay2AR
)D q/f W 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 V|8`]QW@
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 UA}oOteG ?]L:j 建模任务 0if~qGm=! c,I|O'
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结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) B}y-zj; T
$w$4RQk3n 某一位置的Talbot图样 RGim):1e
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 Rg6e7JVu GUyc1{6 沿Z轴的强度 /# M|V6n
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 f`j RLo*L ? h$>7| 走进VirtualLab Fusion vO)nq tw
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 n2+e C9I y8KJoVP iM VirtualLab Fusion的工作流程 v?7.)2XcX c!BiGw,; 构建光栅结构 hD>O LoO - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] N*Owfr1 N - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 5"[Qs|VjA6 TY=BP! s 通过参数运行计算不同位置的强度 m*BtD-{ - 参数运行文件的使用 [用例] }>w;(R *HwTq[y  ;q&>cnLDR l\yF x VirtualLab Fusion技术 #isBE}sT{
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 }cll ? 2 L`ZH.fN 文件信息 > @ulvHL
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 x cz1( R =J,aB p 延伸阅读 mB$r>G/'
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 0j1I - 光栅级次分析器 j+n1k^jC - Talbot效应的建模 %cD7}o:u ti'a ^(
X.,1SYG[ 有什么问题可以添加微信~ \)ac,i@fy  \HDRr*KO
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