切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 光学系统设计：理论、仿真与系统检测 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1265阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6511
    光币
    26700
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 d?JVB  
     G9jtL$}E<  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 >*&[bW'}?  
    w$_ooQ(_;Q  
     MWB?V?qPSC  
    H)Yv_gT  
    建模任务 d{  Z  
    b.F2m(e2  
     iPao54Z  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |"arVde  
     ] GJskBm  
    某一位置的Talbot图样 nZ]d[  
    D*b> l_  
      -H{{  
       `y4+OXZ^  
    某一位置的Talbot图样 JP#m} W  
    `#~@f!';  
     r~X6qC  
    4&tY5m>  
    不同位置的Talbot图样 ~{J.br`  
    r(RJ&\ !  
     Q"KH!Bu%P  
    4JucNGv  
    不同位置的Talbot图样 FBe 1f1 sm  
    s`TfNwDvU  
     7kO 1d{u6b  
    H&I 0\upd  
    沿Z轴的强度 rz4S"4  
    7l?-2I'c  
     W /IyF){  
    "p<f#s}  
    走进VirtualLab Fusion {oO!v}]  
    C0e< _6p=  
     ],#9L   
    p0b&CrALx  
    VirtualLab Fusion的工作流程 FG?B:Zl%T  
    a XwFQ,  
     构建光栅结构 qRNGe8  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] V /|@   
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] zg]9~i8  
    oo`mVRVf  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ).LJY<A  
    - 参数运行文件的使用 [用例] RP6QS)|  
    )x]/b=m  
    h|wy vYKZ  
    =*t)@bn  
    VirtualLab Fusion技术 Dp>/lkk.  
    Xod#$'M>  
     vAX %i(4  
       o;}o"-s  
    文件信息 a93Aj  
    &}6=V+J;  
     zvE]4}VL?  
    8g$pfHt|e  
    延伸阅读 s3oK[:/  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     i9$ -lk  
    - 光栅级次分析器 pX"f "  
    - Talbot效应的建模 21W>}I"0?  
    /:l>yKI+~  
     (tys7og$'  
    有什么问题可以添加微信~ %G>*Pez %  
    %<P&"[F]v@  
     2wikk]Z  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表