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摘要 BO]}E:C9
C.su<B? 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 )/uu~9SFd
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 V% -wZL/ Nr6[w|Tzd 建模任务 '1rHvz`B/" W<']Q_ s u
 4l) Q 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ?mM6[\DFoT
3" B $M 某一位置的Talbot图样 .] gY{_|x
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 m`3Mev .WeP]dX%:f VirtualLab Fusion的工作流程 k uEB e
9p + 构建光栅结构 zG%ZDH^82_ - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Adyv>T9 - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] P R{y84$ aC9PlKI 通过参数运行计算不同位置的强度 !X 8<;e}2 - 参数运行文件的使用 [用例] u=mJI* +|S v J  k-~HUC.A. }3rWmo8V VirtualLab Fusion技术 d7O\p(M1
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- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 tWo MUp - 光栅级次分析器 0 2_ 3 7!\ - Talbot效应的建模 x>E**a?!L ^mNPP:%iN
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