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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 &XF@Dvv  
     0\DlzIO  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 YX,xC-37y  
    8v12<ktR`  
     032PR;]  
    k>W}9^ cK  
    建模任务 $>6Kn`UX  
    FS^ie|8{D-  
     KpF/g[m  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 5y8ajae:  
     ^>/] Qi  
    某一位置的Talbot图样 p/4}SU  
    O@7={)6qc  
     rpn&.#KS  
       7a5G,C#QQ  
    某一位置的Talbot图样 &l;wb.%ijW  
    ~H\1dCW  
     f J$>VN  
    mJFFst,  
    不同位置的Talbot图样 G W~ZmK  
    bQBYzvd  
     |*te69RX  
    3^2P7$W=   
    不同位置的Talbot图样 Ew$-,KC[  
    LPK[^  
     r6 :c<p[c  
    A>Y!d9]ti  
    沿Z轴的强度 DFN  
    .~jn N  
     6,j&u7  
    { cMf_qQ  
    走进VirtualLab Fusion =!P  
    ZB5u\NpcW  
     0OF]|hH  
    eczS(KoL4  
    VirtualLab Fusion的工作流程 W;y ,Xs  
    MB3 0.V/\  
     构建光栅结构 y_A7CG"^  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] {q^?Rw  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] )uxXG `,h  
    kO'_g1f<[  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ; +%|!~  
    - 参数运行文件的使用 [用例] "Qfw)!#  
    ; w+<yW}EL  
    ~h@<14c{X  
    3X]\p}]z  
    VirtualLab Fusion技术 ^ e4y:#Nu  
    q A?j-H  
     ^_o9%)RL(  
       @ 9q/jv`  
    文件信息 BzyzOtBp3L  
    #`Gh8n#  
     O({vHqN>  
    x39n7+j4  
    延伸阅读 Yh 9fIRR  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     I15g G.)  
    - 光栅级次分析器 _?J:Z*z?  
    - Talbot效应的建模 8j%hxAV$  
    *oP&'$P  
     Tt*n.HA  
    有什么问题可以添加微信~ 9_5tA'Q  
    1h0cId8d  
     N,Ys}qP  
     
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