切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 《杂散光抑制与评估技术》 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) 光学设计与光学元件
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 双11活动：领红包、购物券啦！ CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命(第2季)
    发帖 回复
    返回列表
    • 1577阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    7332
    光币
    30801
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ~ hm`uP  
     K^H>~`C=  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 `C'}e  
    n\= (S9  
     YzV(nEW  
    O5-;I,)H  
    建模任务 9^zx8MRXd  
    *Nlu5(z  
     F<r4CHfh;  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) m2b`/JW  
     @HEPc95  
    某一位置的Talbot图样 Gvn: c/m;  
    !6E:5=L^  
     @^CG[:|  
       QymD-A"P  
    某一位置的Talbot图样 WQt5#m; W  
    :qnokrGzB  
     FpzP #;  
    3!Bj{;A  
    不同位置的Talbot图样 DHzkRCM  
    Wk[)+\WQ?  
     _?b;0{93u  
    xG%*PNM0q  
    不同位置的Talbot图样 mP!N<K  
    1Z:R,\+L  
     m!Af LSlwm  
    \)R-A '*U  
    沿Z轴的强度 .)`-Hkxa  
    @?/\c:cp  
     c[{UI  
    ('d{t:TsY  
    走进VirtualLab Fusion rfTe  
    wOcg4HlW  
     ]fC7%"nB  
    N D* ]gM  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ^&m?qKN8  
    \`gEu{  
     构建光栅结构 Tc_do"uU  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] <[9?Rj@  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] hVZo"XUb  
    ~04[KG  
     通过参数运行计算不同位置的强度 M.[wKGX(  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ITc `]K  
    NL-_#N$  
    5H!%0LrJg=  
    h0XH`v  
    VirtualLab Fusion技术 ' =}pxyg  
    0BFz7  
     nNs .,J)  
       zn^v!:[  
    文件信息 V4\56 0  
    >KHp-|0pv  
     to51hjV  
    , QA9k$`  
    延伸阅读 +,wWhhvlzv  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     k- vA#  
    - 光栅级次分析器 `:gYXeR  
    - Talbot效应的建模 jYk5~<\k  
    req-Q |  
     + Y;8~+  
    有什么问题可以添加微信~ QE*%HR'  
    952V@.Zp  
     dFMAh&:>  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表