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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 TVVL1wZ  
     94bmK V_  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 B"rV-,n{  
    G gmv(!  
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    建模任务 &2-dZK  
    7x8/Vz@\  
     _U}pdzX?  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Fj? Q4_  
     E^kB|; Ki  
    某一位置的Talbot图样 $10"lM[  
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    某一位置的Talbot图样 \.c   
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    Pf`HF|NI  
    不同位置的Talbot图样 d{^9` J'  
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    不同位置的Talbot图样 1?:/8l%V  
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     cXM4+pa=%  
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    沿Z轴的强度 wrw4Uxq  
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    走进VirtualLab Fusion 9FB k|g"U)  
    TmI~P+5w  
     $tKz|H)  
    (jj=CLe  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ~z;G$jd  
    jz CA2N%  
     构建光栅结构 }<m'Nkz<X  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] x-0O3IIE  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] %UGXgYDz  
    ?K5S{qG'O  
     通过参数运行计算不同位置的强度 D^]g`V*N  
    - 参数运行文件的使用 [用例] p'SclH[   
    9j'(T:Zs  
    Sv&_LZ-"P  
    ScN'|Ia.-  
    VirtualLab Fusion技术 [wp(s2=  
    o$PY0~#  
     #)A.yK`u  
       eI20)t`j  
    文件信息 *@;Pns]L-  
    KK-}&N8  
     .J?cV;:`  
    &E& _Z6#  
    延伸阅读 _]oNbcbt(  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     Mk-zeq<2z  
    - 光栅级次分析器 3MqyHOOv  
    - Talbot效应的建模 o8uak*"{  
    5?] Dn k.o  
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    有什么问题可以添加微信~ Veeuw  
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