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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 j#hFx+S  
     kaq H.e(  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ihS;q6ln  
    ;EDc1:  
     ..'k+0u^  
    ge %ytrst  
    建模任务 5)bf$?d   
    >MwjUq  
     >+ZBQ]~  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 46OYOa  
     9%T~^V%T7  
    某一位置的Talbot图样 l];w,(u{  
    N8S !&*m  
     <pyLWmO  
       845a%A$  
    某一位置的Talbot图样 QhR.8iS  
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     o}O"  
    <+o*"z\mI  
    不同位置的Talbot图样 YW9r'{(D(I  
    S{wR Z|8U  
     ;r'y/ Y'?  
    dp;;20z  
    不同位置的Talbot图样 }81eef4$S  
    HGIPz{/5U  
     ])Rs.Y{Q5  
    @/jLN  
    沿Z轴的强度 742 sqHx  
    ;r<(n3"F  
     EC#4"bU`'2  
    /q[5-96c  
    走进VirtualLab Fusion  KT'Ebb]  
    i;Y3pF0%P  
     B6qM0QW  
    ^K[WFiN}  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Y%$@ZYW  
    I!LSD i3  
     构建光栅结构 ^jY/w>UdH  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] rFn%e  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] p=13tQS<  
    5@c/,6l  
     通过参数运行计算不同位置的强度 }7Lo}}  
    - 参数运行文件的使用 [用例] B:5NIa  
    4sJM!9eb[  
    B"; >zF  
    <;eXbO>Q  
    VirtualLab Fusion技术 1=o|[7  
    xbUL./uj  
     GTYCNi66  
       '2LK(uaU  
    文件信息 ahJ -T@  
    4DLp +6zP  
      x&^>|'H  
    oY NIJXln  
    延伸阅读 X1wlOE  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     1VXyn\  
    - 光栅级次分析器 %5[,U)X"  
    - Talbot效应的建模 AhozrroV  
    NCu:E{([  
     3$ 'eDa[  
    有什么问题可以添加微信~ 8VWkUsOoI  
    J~jxmh  
     &Hl*Eg f  
     
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