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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 fs&J%ku\  
     25BW/23}e  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 L~x3}o$-o  
    NoO>CjeFb  
     ^W9[PE#F  
    }oigZI(1  
    建模任务 <Q/^[  
    t1b$,jHmKl  
     *_`T*$  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) hhlQ!WV2  
     q -M&f@Il  
    某一位置的Talbot图样 Y'i0=w6G  
    nMx0+N1  
     o+;=C@,'  
       \#1!qeF  
    某一位置的Talbot图样 D@uw[;Xb5  
    T~cq=i|O  
     @g9j+DcU  
    D;Fvd:  
    不同位置的Talbot图样 gGw6c" FRQ  
    Re5m  
     KSIH1E  
    jV\M`=4IC  
    不同位置的Talbot图样 d8<Lk9H9R  
    fU@}]&  
     E"!9WF(2t5  
    1B'i7  
    沿Z轴的强度 hghtF  
    cBmo#:>'  
     bv9\Jp0c  
    Oh6;o1UI  
    走进VirtualLab Fusion )PL'^gR r  
    O}NR{B0B3&  
     S+ymdZ)xZ`  
    -))>7skc  
    VirtualLab Fusion的工作流程 IE$x2==)  
    EAF<PMb  
     构建光栅结构 j8zh^q  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] daWmF  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] M~I M;my  
    XtT;UBE  
     通过参数运行计算不同位置的强度 /4#.qq0\{c  
    - 参数运行文件的使用 [用例] KD$P\(5#  
    W2|*:<Jt  
    {-^>) iJqt  
    1]A%lud4  
    VirtualLab Fusion技术 -4,qAnuMx  
    4v3y3  
     lk \|EG  
       3 C=nC  
    文件信息 <3P?rcd,5K  
    7$x@;%xd  
     tH 5f;mY,  
    L}nj#z4g  
    延伸阅读 qz E/n   
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     PdMx6 Ab  
    - 光栅级次分析器 vMzR3@4e  
    - Talbot效应的建模 fB1JU1  
    1(w0* `  
     ;s"m* 4N  
    有什么问题可以添加微信~ X^_,`H@  
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     NxNR;wz>l  
     
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