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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 3'@&c?F ye  
     OROqT~6G  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 8vJdf9pB*  
    WF)s*$'uz;  
     dzxI QlP  
    }jcIDiSu  
    建模任务 9cOx@c+/  
    5bBCpNa  
     a4u^f5)@  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) IHVMHOq}'  
     1"$R 3@s;  
    某一位置的Talbot图样 T?e9eYwS  
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     YOKR//|3  
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    某一位置的Talbot图样 3k{c$x}  
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     h60\ Y 8  
    >p |yf. G  
    不同位置的Talbot图样 j]HE>  
    Zsk?QS FE  
     u#VweXyU  
    2+&R" #I  
    不同位置的Talbot图样 54wM8'+  
    )"-fHW+fy  
     z'e1"Y.  
    fMzYFM'i  
    沿Z轴的强度 c 85O_J  
    9C>ynH  
     )(.%QSA\C  
    :o<N!*pT  
    走进VirtualLab Fusion NlMQHma  
    776 nWw)  
     Fu mn9  
    ' XEK&Yi1  
    VirtualLab Fusion的工作流程 /evaTQPz  
    Es~DHX  
     构建光栅结构 2| $k`I,  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] {N Y]L==H  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] _&K\D p&@  
    ?.~]mvOR  
     通过参数运行计算不同位置的强度 oX#9RW/ >I  
    - 参数运行文件的使用 [用例] -D;lS 6  
    7Qt2gf  
    GP Ix@k  
    f{f_g8f[  
    VirtualLab Fusion技术 +=Yk-nJ  
    (}6wAfGo  
     i@Vs4E[b  
       s7vPI   
    文件信息 u8xk]:%  
    98jD"*W5  
     ( -xR7A  
    \N4d_ fPj  
    延伸阅读 M,ppCHy/$  
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    - Talbot效应的建模  JUmw$u  
    xa' nJ"f;  
     H 'D#s;SlR  
    有什么问题可以添加微信~ `~0P[>|+  
    otoBb^Mz  
     Jm%mm SYK  
     
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