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摘要 `t/@ L:
[7ek;d;'t 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 >"m@qkh
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 'IqK M A$$R_3ne 建模任务 _tWfb}6;Zb 9 Le/'o vq
 hc31+TL 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) LmT[N@>"
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 ?H86Wbz fG[3%e VirtualLab Fusion的工作流程 [C~)&2wh> &s}@7htE 构建光栅结构 g cK" - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ?U9d3] W - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ff5
Lwf{{ g,GbaaXH 通过参数运行计算不同位置的强度 l!2Z`D_MD - 参数运行文件的使用 [用例] 6/WK((Fd Pk?%PB ?Z  SYW= L g: 3'x/a1 VirtualLab Fusion技术 1&dsQ, VDl
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