切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1157阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    6243
    光币
    25360
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 G/&Wc2k  
     U Kf0cU  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 |%fM*F^7/  
    ]SNcL[U  
     ^qV6 khg  
    9^^:Y3j  
    建模任务 YI),yj  
    AHn Yfxv_  
     N6!$V7oT  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) Hs(U|BXU  
     bw OG|\  
    某一位置的Talbot图样 VHx:3G  
    Og(|bs!6  
     w~WW2 w  
       ]gDX~]f[  
    某一位置的Talbot图样 P#qQde/y  
     @+!u{  
     9oxn-)6JC  
    $@<cZ4  
    不同位置的Talbot图样 C7_#D O6"  
    ^MUvd  
     ;g_<i_ *x#  
    *hkNJ  
    不同位置的Talbot图样 GqD_6cdh  
    Io7o*::6iw  
     +XL|bdK  
    !Q5NV4gd+  
    沿Z轴的强度 Pe?b# G  
    BVv{:m{w  
     YF<U'EVU-  
    YCo qe,5  
    走进VirtualLab Fusion =J^FV_1rJ  
    ;7N~d TBQ  
     0Y9fK? (  
    I'%ASZ  
    VirtualLab Fusion的工作流程 \Culf'iX  
    Q ;$NDYV1  
     构建光栅结构 )H- y  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] &``nYI g/  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] ?m dGMf)  
    @Jr@ fF}  
     通过参数运行计算不同位置的强度 `8G {-_  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 3Jw}MFFV  
    c_FnJ_++f  
    v?`DP  
    YQ7tZl;:t  
    VirtualLab Fusion技术 oE'Flc.  
    Qk`LBvg1  
     Gw?$.@L'I6  
       s?_H<u  
    文件信息 z;6,,  
    d@>1m:p  
     U$ 22r b  
    )P #MUC  
    延伸阅读 &KVXU0F^z  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     ]$i~;f 8I  
    - 光栅级次分析器 _A,mY6 *  
    - Talbot效应的建模 btWvoKO*  
    C^nTLw;K  
     s!WI:E7  
    有什么问题可以添加微信~ wUcp_)aE|  
    B%/N{i*Z  
     H:.l:PJ  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表