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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 C YKGf1;If  
     x:lf=D lA  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 &r!>2$B\  
    )!72^rl  
     Xrn~ ]P7  
    h1)\.F4G  
    建模任务 OXV@LYP@  
    XX6)(  
     OAOmd 4  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) t}l<#X5  
     SX;IUvVE5  
    某一位置的Talbot图样 Ooy96M~_G  
    $dw;Kj'\  
     -v@^6bQVp  
       j,jUg}b  
    某一位置的Talbot图样 n//a;m  
    C( ;7*]  
     ^KR(p!%  
    xGL"N1  
    不同位置的Talbot图样 kk#d-! $[  
    <{kj}nxz  
     b1!%xdy_T  
    !/j|\_O  
    不同位置的Talbot图样 ZVU)@[s  
    k{62UaL.  
     ?GZs5CnS  
    $hh=-#J8  
    沿Z轴的强度 2&#iHv  
    g'E^@1{  
     2Y{9Df  
    uESHTX/[  
    走进VirtualLab Fusion Y7HWf  
    ly+7klQ;.  
     AWcP OU  
    IRB;Q(Z   
    VirtualLab Fusion的工作流程 :Fl:bRH+  
    nr;/:[F  
     构建光栅结构 S)?B  I  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 4V5*6O9(u  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] q9^r2OO  
    3kg+*]tLx  
     通过参数运行计算不同位置的强度 1|CO>)*D  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;d:7\  
    #a| 5A:g%  
    QH:i)v*  
    |kD?^Nx  
    VirtualLab Fusion技术 (?(ahtT4T  
    :+n7oOV  
     EIAT*l:NW  
       \)hmg  
    文件信息 O"GzeEY7  
    WJWhx4Hk  
     +H_Z!T.@  
    h/ic-iH(>  
    延伸阅读 IU/*YI%W  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     +8"H%#~  
    - 光栅级次分析器 {S c1!2q  
    - Talbot效应的建模 Sw~<W%! ?  
    Q_S fFsY  
     6O?O6Ub  
    有什么问题可以添加微信~ JdnZY.{S0  
    qabM@+m[  
     $: -Ptm@  
     
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