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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 $y?k[Y-~  
     vwr74A.g0  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 P=5NKg  
    Ce'pis   
     pU!o7>p  
    !4rPv\   
    建模任务 e2C<PGUUB  
    do-c1;M  
     F#{gfh  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) e0;  
     hGf-q?7  
    某一位置的Talbot图样 <g9"Cr`  
    9Z6C8J v  
     R1-k3;v^  
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    某一位置的Talbot图样 I@l>w._.  
    p[2GkP  
     >x[`;O4  
    Q!M)xNl/  
    不同位置的Talbot图样 ^I]{7$6^  
    0 3~Ikll  
     ^\:2}4Uj_  
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    不同位置的Talbot图样 1zktU.SZ  
    M)cGz$Q|  
     :ZxLJK9x1  
    eu'1H@vX(  
    沿Z轴的强度 ]Fb0Az  
    T[Pa/j{  
     M@p"y q  
    L<(VG{)Z  
    走进VirtualLab Fusion +dkS/b  
    yZJ*dadAr  
     (3*UPZv  
    nE y]`  
    VirtualLab Fusion的工作流程 Y~n` ~(  
    s%;<O:x8o  
     构建光栅结构 8 3.E0@$  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] :k46S<RE  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] A 2x;fgi  
    -cNx1et  
     通过参数运行计算不同位置的强度 zL s^,x  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Fu8 7fVi/\  
    a%hGZCI  
    hbuZaxo<  
    S=gW(c2'  
    VirtualLab Fusion技术 FQf #*  
    Uq X1E  
     SZVV40w  
       <?$kI>Ot  
    文件信息 lv:U%+A  
    Q2C)tVK+  
     NMjnL&P`  
    8.I9}_  
    延伸阅读 'o\;x"YJ  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     Z|^MGyn  
    - 光栅级次分析器 2H&{1f\Bf  
    - Talbot效应的建模 i=QqB0  
    L2U x9_S  
     Xyv8LB  
    有什么问题可以添加微信~ @)sc6 *lnW  
    Bt>}LLBS2  
     I^fP k  
     
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