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摘要 M`A bH19
m&b!\"0 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 0G;RMR ':5
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 o"K{^ L~u v='7 .A 建模任务 Ci=c"JdB {U7j
 IB(5 &u. 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) m &c8@-T
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 jvCk+n[ .pr- ^ VirtualLab Fusion的工作流程 ?RA^Y N*9 ~ g~z"!K 构建光栅结构 2Cj?k.Zk - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] b :Wl B[5 - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 00n6v;X )9l5gZX'I 通过参数运行计算不同位置的强度 m dtq-v - 参数运行文件的使用 [用例] r[J gCj+$& [#$z.BoEo  ie= tM'fb b _z;^y~ VirtualLab Fusion技术 YSs9BF:a
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