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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    光券
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 &`@M8-m#F  
     Bxv8RB  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 $!`L"szqD*  
    exphe+b  
     .xpmp6-  
    k|#Zy,  
    建模任务 ?~)Ak`=  
    R`Qp d3  
     R$xY8+}V  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) QGPR.<D)B  
     UB&2f>  
    某一位置的Talbot图样 C ktX0  
    _0]QS4a][c  
     #Wx=v$"  
       BE%Z\E[[m  
    某一位置的Talbot图样 8vJdf9pB*  
    WF)s*$'uz;  
     L<)Z>@fR  
    }jcIDiSu  
    不同位置的Talbot图样 9cOx@c+/  
    5bBCpNa  
     %O/d4  
    ITn;m  
    不同位置的Talbot图样 _m7c o :  
    6UI>GQ  
     6J;i,/ky  
    ;fx1!:;.  
    沿Z轴的强度 f+^c@0que  
    qvTJ>FILT  
     O#PwRud$  
    =phiD&=  
    走进VirtualLab Fusion ux&:Rw\  
    DvJB59:_}  
     \^m.dIPdO  
    ;/aB)JZ5=  
    VirtualLab Fusion的工作流程 1 mHk =J~  
    Hir(6Bt  
     构建光栅结构 e/P4mc)  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] P#F_>GB  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 1<ehV VP   
    9,KVBO  
     通过参数运行计算不同位置的强度 M1gP R  
    - 参数运行文件的使用 [用例] kdd7X bw-  
    sZEgsrJh  
    <THUsY`3P&  
    V^ Y*xZ  
    VirtualLab Fusion技术 1)gv%_  
    :@WLGK*u.  
     (L:`o jiU  
       3z$HKG  
    文件信息 `~|DoSi^d  
    -Y2&A$cM  
     3f,u}1npa*  
    >eu `!8  
    延伸阅读 hOl=W |)v  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     tnNZ`]qY  
    - 光栅级次分析器 ^^'[%ok  
    - Talbot效应的建模 sxt`0oE  
    u IF$u  
     o6:45  
    有什么问题可以添加微信~ LEA;dSf  
    j]#wrm  
     < )Alb\Z  
     
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