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摘要 HK2`.'D
Sn0?_vH4 在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 " _H& p
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 m #8}!u& 2cy{d|c 建模任务 oL VtP !Y\hF|[z
 r>z8DX@ 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) K
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Kl+ *Sp! 某一位置的Talbot图样 0n(Q@O
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 4<LRa=XT$ 8,[ 'q~z 沿Z轴的强度 BA-n+WCWJ
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 -n Hc 52, qa%g'sB-b 走进VirtualLab Fusion 8eLNKgc
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 34P? nW( } * BY!5 VirtualLab Fusion的工作流程 nk-?$'i9q :!r_dmJ 构建光栅结构 A#8/:t1AW - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =)y=M!T2 - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] re^1fv z6Mf>q 通过参数运行计算不同位置的强度 A Ys<IMQ - 参数运行文件的使用 [用例] {8JJ$_
;x ry  OSq"q-Q 2Q Bq VirtualLab Fusion技术 )IhI~,0Nmj
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 .m +KXl P `FmI?:Cv 延伸阅读 y~W6DL}
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 mNuv>GAb - 光栅级次分析器 C t.Q)p-wn - Talbot效应的建模 SM @1< OCc FTk!M n88
}l_) d 有什么问题可以添加微信~
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