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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 c#6g[TE@  
     {,aI0bw;  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 7~V,=WEe  
    $MT'ZM  
     Aj;F$(su  
    !7O!)WJ  
    建模任务 QQwD) WG  
    VYZkHjj)2i  
     1L=6Z2*fB4  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) KiJRq>  
     CK+GD "Z$  
    某一位置的Talbot图样 iJrF$Xw  
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     $`emP Hel  
       u(s/4Lu  
    某一位置的Talbot图样 ZE*m;  
    6DFF:wrm&  
     M=hH:[6 &  
    U Ux]  
    不同位置的Talbot图样 lo*)% fy  
    v{}i`|~J  
     D{{ ME8  
    z3  lZ3  
    不同位置的Talbot图样 }!i#1uHUH:  
    KKd S h1  
     4Em mh=A  
    y0d a8sd)  
    沿Z轴的强度 dT%$"sj5  
    =Kv*M@  
     ^0/FZ)V8  
    ?Sq?f?  
    走进VirtualLab Fusion 6_m5%c~;+r  
    }jQxwi)  
     hy"O_Le  
    <#s=78 g.3  
    VirtualLab Fusion的工作流程 * ?a-m\  
    cViEvS r  
     构建光栅结构 9U_uw Rv2  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] \G?GX  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] xm }9(EJ  
    )")_aA  
     通过参数运行计算不同位置的强度 ^ 2"r't  
    - 参数运行文件的使用 [用例] I6x  
    UN <s1  
    cY|?iEVs)  
    CfguL@tR.  
    VirtualLab Fusion技术 5U&b")3IT!  
    WB2An7i@"{  
     FC:Z9{2!  
        :1q)l  
    文件信息 )T1U!n?^x  
    [i 18$q5D  
     qn VxP&  
    %T hY6y(  
    延伸阅读 >~-8RM  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     Jhclg0q  
    - 光栅级次分析器 cnQ;6LtFTz  
    - Talbot效应的建模 +/tN d2  
    x=g=e <_  
     ]d$:R`;  
    有什么问题可以添加微信~ ]Q Y:t:-  
    CbmT aEaP  
     ?v4-<ewD  
     
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