切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • Zemax光学设计从入门到精通 Zemax光学设计从基础到实践 Zemax光学设计实践基础(陈家璧) ZEMAX光学系统设计实战
    讯技光电:VirtualLab Fusion独家供应商 光学设计与光学元件 CODE V,LightTools,RSoft,LucidShape 计算光学带来的成像革命
    发帖 回复
    返回列表
    • 1095阅读
    • 0回复

    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

    		 上一主题 下一主题
    离线infotek
    科学家
     
    发帖
    5937
    光币
    23838
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 JB7]51WH@  
     O(VV-n7U  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 P'+*d#*S  
    >JhQ=j  
     $A ,=z  
    ScD9Ct*):C  
    建模任务 rBL)ct  
    }z[se)s  
     e)M1$  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) ]KmYPrCl0  
     S/4k fsN  
    某一位置的Talbot图样 2WoB;=  
    udB}`<Q  
     eP)RP6ON{  
       g!8-yri  
    某一位置的Talbot图样 JGtdbD?Fw  
    v{9eEk1  
     ^6=nL<L  
    \<5xf<{  
    不同位置的Talbot图样 xn-n{U"  
    mVxS[Gq  
     V\ |b#?KL  
    0wx`y$~R  
    不同位置的Talbot图样 gG}<l ':  
    pCq{F*;  
     j8lbn|.  
    uB%`Bx'OW  
    沿Z轴的强度 fE(rDQI  
    /h_BF\VBs  
     `8L7pbS%,Q  
    zEu*q7  
    走进VirtualLab Fusion NEX\+dtE~0  
    us/x.qPy2  
     8 }-"&-X  
    wL:3RZB  
    VirtualLab Fusion的工作流程 4h-y'&Z  
    =!Ok079{[  
     构建光栅结构 / JlUqC  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] :}Z+K*%o-  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] mp}ZHufG  
    */6PkNq  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Ra.<D.  
    - 参数运行文件的使用 [用例] &QvWT+]c'0  
    4PNl3N3,n  
    Zd042 %  
    g,\<fY+ 4  
    VirtualLab Fusion技术 gQ& FO~cr  
    8USF;k  
     h"j{B  
       rNdap*.  
    文件信息 8$S$*[-a  
    ^ygN/a>rr  
     {,,w5/k^  
    @va6,^)  
    延伸阅读 (C1]R41'  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     {l! [{  
    - 光栅级次分析器 s<tdn[d  
    - Talbot效应的建模 gFJd8#6t  
    m%ak]rv([  
     1jO/"d.8n  
    有什么问题可以添加微信~ q8`JRmt)H  
    *o`bBdZ  
     ^|(F|Z  
     
    回复
    举报
    分享到
    发帖 回复
    返回列表