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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 i/1$uQ  
     ,m5i(WL  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 FiUwy/,ZV  
    "wTCO1  
     {7z]+h  
    #?jsC)  
    建模任务 hr6j+p:  
    ._^ne=Lx  
     :T G;W,`.V  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) V<jj'dZfW  
     D5snaGss9a  
    某一位置的Talbot图样 QOSMV#Nw%  
    X3 kFJ{  
     RO,TNS~  
       5~@-LXqL  
    某一位置的Talbot图样 5)lcgvp  
    W/>a 1  
     iC=>wrqY>  
    o /[7Vo  
    不同位置的Talbot图样 ;M4[Liw~O  
    x]x3iFD  
     /}8Au$nA  
    Sq ]gU  
    不同位置的Talbot图样 >RkaFcq  
    1J"I.  
     ~1wt=Ln>  
    }3X/"2SW^  
    沿Z轴的强度 o&Xp%}TI  
    O8A1200  
     `@],J  
    H/x0'  
    走进VirtualLab Fusion h]ae^M  
    0't)-Pj+,  
     8VMA~7^  
    *u"%hXR  
    VirtualLab Fusion的工作流程 ^]R_t@  
    ZF[W<Q  
     构建光栅结构 klT?h[I!  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] bHnKtaK4c  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] if|5v^/  
    G&{yM2:E  
     通过参数运行计算不同位置的强度 [+dCA  
    - 参数运行文件的使用 [用例] :p/=KI_  
    |ffHOef  
    ue@/o,C>  
    GEc-<`-  
    VirtualLab Fusion技术 18rV Acj  
    xz!0BG  
     ;QXg*GNAv$  
       L{%L*z9J  
    文件信息 8fP2qj0  
    6GunEYK!N8  
     #RR;?`,L}  
    =M;F&;\8  
    延伸阅读 r4SwvxhG  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     lz#.f,h  
    - 光栅级次分析器 z Fm`e:td  
    - Talbot效应的建模 mc?IM(t  
    O^8ZnN_+  
     ^t4^gcoZ4Z  
    有什么问题可以添加微信~ g@>llve{  
    :KO&j"[  
     V*\hGNV  
     
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