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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 w12}Rn8  
     \2 >?6zs  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 cIb4-TeV  
    @VK6JjIq  
     + xp*]a  
    h55>{)(E  
    建模任务 'E-FO_N  
    \ I:.<2i  
     ezn` _x_?  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 7Cy<mS  
     .$0Pr%0pWI  
    某一位置的Talbot图样 OKAkl  
    Q'K$L9q  
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    某一位置的Talbot图样 :Q7mV%%  
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     |')-VhLLK  
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    不同位置的Talbot图样 opD-vDa h  
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    不同位置的Talbot图样 e_rzA  
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     7&+Ys  
    Js{= i>D  
    沿Z轴的强度 mCdgKr|n  
    au$"B/  
     Q9slfQ  
    P^i.La,  
    走进VirtualLab Fusion Uu'dv#4Iw  
    |=5/Rax^  
     CT*,<l-D  
    9Cvn6{  
    VirtualLab Fusion的工作流程 g_z/{1$  
    ;`UecLb#  
     构建光栅结构 rMp9jG@3   
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 8\Hr5FqB(  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] RH[+1z8  
    2"&)W dm  
     通过参数运行计算不同位置的强度 f*fE};  
    - 参数运行文件的使用 [用例] X3B{8qx_>  
    Fn+ ?u  
    !w2gGy:I>  
    ZnfNQl[  
    VirtualLab Fusion技术 euQ.ArF  
    RiR:69xwR*  
     *e/K:k  
       qZ X/@Yxz  
    文件信息 s| -FH X  
    9 wh2f7k  
     ^Z}Ob= .G  
    , Z ~;U  
    延伸阅读 _Qd,VE 8u  
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    - Talbot效应的建模 Zj VWxQ  
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     {{!Y]\2S  
    有什么问题可以添加微信~ L?RF;jf  
    SEd5)0X^  
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