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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 OXKV6r6f  
     gxUa -R  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 m`$Q/SyvG  
    n`w]?bL  
     4e|N^h*!  
    /joY? T  
    建模任务 LxWd_B  
    [MbbL  
     ="vg/@.>i  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) gzKMGL?%?  
     Bv jsl  
    某一位置的Talbot图样 *[b>]GXd49  
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    某一位置的Talbot图样 .Oc j|A6  
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    不同位置的Talbot图样 @K*W3&TO  
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    不同位置的Talbot图样 yVGf[ ~X  
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    沿Z轴的强度 i_r708ep6  
    mPQT%%MF  
     =6=:OId  
    yk5K8D[tV  
    走进VirtualLab Fusion $X/'BCb  
    + %K~  
     XSK<hr0m  
    * ]bB7  
    VirtualLab Fusion的工作流程 &?1^/]'"r  
    > cWE@P  
     构建光栅结构 BV7P_!vt  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] , .;0xyc  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例]  s7:H  
    .o C! ~'  
     通过参数运行计算不同位置的强度 %+|sbRBb  
    - 参数运行文件的使用 [用例] :KXI@)M  
    Y[R>?w  
    ]W2#8:i  
    z^&$6c_  
    VirtualLab Fusion技术 {~Jk(c~I  
    CP%^)LX *  
     &^HVuYa.0  
       f$-n %7  
    文件信息 Lq;iR  
    vbtZ5Gm  
     _TsN%)m  
    oZ tCx  
    延伸阅读 r`EjD}2d  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     n@;B_Bt7  
    - 光栅级次分析器 U{[YCs fk  
    - Talbot效应的建模 h:?qd  
    !P^Mo> "  
     #rBfp|b]1  
    有什么问题可以添加微信~ Ab j7  
    a L+>XN  
     Mb\(52`)Q  
     
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