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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ,^ -%<  
     # r>)A  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 E}w5.1  
    e"EGqn&!  
     JUGq\b&m  
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    建模任务 Vx[Q=raS  
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     FLsJ<C~/~  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) A0.xPru1p  
     Y/mfBkh  
    某一位置的Talbot图样 -{?xl*D  
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     jfvlkE-uK  
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    某一位置的Talbot图样 vcy(!r  
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    不同位置的Talbot图样 | Cfo(]>G  
     ^LSD_R^N  
     Q[`2? j?  
    TFbF^Kd#:d  
    不同位置的Talbot图样 [m x}n+~  
    Iw$T'I+4W  
     Sxy3cv53  
    )=N.z6?  
    沿Z轴的强度 e \kR/<L  
    E>QEI;  
     YSZ[~?+  
    Xn!=/<TIVz  
    走进VirtualLab Fusion +tlbO?  
    "1P2`Ep;  
     q{yzux  
    8,CL>*A  
    VirtualLab Fusion的工作流程 k]TJL9Q  
    OWN|W,  
     构建光栅结构 jNIz:_c-~  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] i-k(/Y0  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] m1p% ,  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 1-!|_<EW1  
    - 参数运行文件的使用 [用例] [h\_yU[ P  
    wDh&S{N  
    3fop.%(  
    pAEJ=Te  
    VirtualLab Fusion技术 {#{nU NW  
    V/"41  
     b\t@vMJ  
       @[rlwwG,  
    文件信息 6~k qU4lL  
    ."q8 YaW  
     0wETv  
    O#U_mgfzJ  
    延伸阅读 mvtuV`  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     okW'}@jD  
    - 光栅级次分析器 ZQJh5.B  
    - Talbot效应的建模 |@ZyD$?  
     ~#z b  
     XoiZ"zE  
    有什么问题可以添加微信~ W?@+LQa??  
    ^A;ec h7I  
     AqrK==0N  
     
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