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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 wssRA?9<  
     oulVg];  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 4[r0G+  
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    建模任务 N)|yu1S  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) kx{{_w  
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    某一位置的Talbot图样 6I4\q.^qw  
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    某一位置的Talbot图样 h8S.x)  
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    沿Z轴的强度 qp }Cqi  
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    走进VirtualLab Fusion "@@u3`#  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 m|n%$$S&  
    ]EBxl=C}D  
     构建光栅结构 )JLdO*H  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] Y@vTaE^w3  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] "Mn6U-  
    SiRaFj4s"  
     通过参数运行计算不同位置的强度 5E;qM|Ns  
    - 参数运行文件的使用 [用例] - t'jNR'  
    =_2jK0+}l  
    )e+>w=t  
    Tod&&T'UW  
    VirtualLab Fusion技术 h$>-.-  
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     T{.pM4Hd  
       f!uwzHA`?  
    文件信息 W)2p@j59A  
    :Zbg9`d*  
     )._;~z!  
    OmpND{w  
    延伸阅读 .m,_N@,  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     =JEv,ZGT3  
    - 光栅级次分析器 >}8j+t&T  
    - Talbot效应的建模 rdP[<Y9  
    -`kW&I0  
     9@(PWz=`?  
    有什么问题可以添加微信~ wedbx00o  
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