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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 ~b Rd)1  
     M ?*Tf&  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 s"i~6})K<$  
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    建模任务 Ea4_Qmn  
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     x` 2| }AP(  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) OEnDsIhq  
     SauH>  
    某一位置的Talbot图样 dCeX}Z  
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    某一位置的Talbot图样 D L{R|3{N  
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    不同位置的Talbot图样 7)^:8I(  
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     Q`A6(y/s?  
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    不同位置的Talbot图样  W8]V  
    , ECLqs%  
     y\'P3ihK  
    G 4qy*.  
    沿Z轴的强度 f8'MP9Lv  
    v$Uhm</|19  
     O4L#jBa+  
    DI1(`y  
    走进VirtualLab Fusion pzhl*ss"6  
    ;Lo&}U3F,!  
     BAV>o|-K  
    U>P|X=)  
    VirtualLab Fusion的工作流程 !^y y0`k6  
     9S1)U$  
     构建光栅结构 DG[%Nhle  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] l?8)6z#Zl  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] vfwA$7N  
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     通过参数运行计算不同位置的强度 e;VIL 2|  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Wto ;bd  
    Puh$%;x  
    *hdC?m. _  
    i ev>9j  
    VirtualLab Fusion技术 B4ZIURciGz  
    (qBvoLkF9N  
     r-IT(DzkD  
       Quzo8 u  
    文件信息 u6Je@e_!  
    fD4ICO@  
     !kL> ,O>/  
    + G;LX'B  
    延伸阅读 `/nM[  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     /nZ;v4  
    - 光栅级次分析器 @Uo6>-W F  
    - Talbot效应的建模 "i&"* ~  
    %Dig)<yx  
     feX^~gM  
    有什么问题可以添加微信~ +4qU>  
    Q_p[k KH  
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