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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 {:m%n-  
     d|?'yX  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 ? pkg1F7  
    1O{x9a5Z?O  
     Rz_fNlA  
    aHzS>  
    建模任务 j4hiMI;  
    Y::I_6[eV  
     (g>>   
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |&hu3-(  
     4LfD{-_uW  
    某一位置的Talbot图样 zLB7'7oP  
    w?LDaSz\t  
     i& ,Wg8#R  
       2kS]:4)T  
    某一位置的Talbot图样 B]xZ 4 Y  
    ![OKmy  
     Eoo[)V#x{  
    )`sEdVxbr  
    不同位置的Talbot图样 4Sq[I  
    :@H&v%h(u  
     r- :u*  
    37S  bF,G  
    不同位置的Talbot图样 F/ODV=J-  
    S1B^FLe7X  
     !M&Qca2  
    S3G9/  
    沿Z轴的强度 P!apAr  
    >4.K>U?0FC  
     S?M'JoYy  
    E W {vF|  
    走进VirtualLab Fusion ~KW|<n4m  
    *&d>Vk."]  
     122%KS  
    w'/ Mn+  
    VirtualLab Fusion的工作流程 BXCB/:0  
    t Lz,t&h  
     构建光栅结构 X &z|im'd  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] *K<|E15 ,  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] kT jx.  
    DaN=NURDV  
     通过参数运行计算不同位置的强度 R0l5"l*@+  
    - 参数运行文件的使用 [用例] gB;5&;T:  
    q$|Wxnz  
    5-3.7CO$  
    )dv w.X  
    VirtualLab Fusion技术 '\ MYC8"  
    $y0[AB|V  
     x?aNK$A~X  
       nD8 Qeem@  
    文件信息 @Nm;lZK  
    <? Z[X{  
     ;V=Y#|o  
    p-6Y5$Y  
    延伸阅读 e;*GbXd|  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     ,m`>  
    - 光栅级次分析器 ]tjQy1M  
    - Talbot效应的建模 bvxol\7;  
    R">-h;#  
     hyHeyDO2  
    有什么问题可以添加微信~ nRE(Rb Re  
    g+X .8>=  
     u{6b>c|,X  
     
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