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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 vH9/}w2  
     O\-cLI<h2  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 X2/ `EN\  
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    建模任务 5JBenTt  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) K3M<%  
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    某一位置的Talbot图样 p3qlVE  
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    不同位置的Talbot图样 k:nr!Y<  
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    沿Z轴的强度 j *Ta?'*  
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    走进VirtualLab Fusion hHm &u^xY  
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    VirtualLab Fusion的工作流程 <!v^Df  
    .9#4qoM'  
     构建光栅结构 ;O}%_ef@  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ?Lbw o<E  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] 5wmH3g#0  
    Z2_eTC u  
     通过参数运行计算不同位置的强度 . p^='Kz?  
    - 参数运行文件的使用 [用例] ;EP7q[  
    !h4S`2oZ/  
    @F]6[  
    ;cH|9m:Y  
    VirtualLab Fusion技术 y)X;g:w  
     ?}e8g  
     B;r U  
       r :{2}nE  
    文件信息 e#(0af8A  
    EDcR:Dw3  
     cKEf- &~  
    MUh )  
    延伸阅读 0?qXDO&~  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     ,A[40SZA  
    - 光栅级次分析器 *]nha1!S  
    - Talbot效应的建模 *6s B$E_y  
    qAUqlSP5  
     @Ck6s  
    有什么问题可以添加微信~ s3HwBA  
    iA3d[%tBb  
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