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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 <I2ENo5?  
     yH43Yo#Rk  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 !J!&JQ|  
    b$Dh|-8  
     f)a0!U 44  
    wD$UShnm9-  
    建模任务 7hu7rWY`E  
    FIVC~LDd  
     x H=15JY1W  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) |6^%_kO!|  
     .L"IG=Uh#  
    某一位置的Talbot图样 S-Bx`e9'  
    ,LSiQmV5  
     gJ9"$fIPc  
       v4'kV:;&  
    某一位置的Talbot图样 ZMiOKVl  
    T*=*$%  
     vp*+C kd  
    %m[ZU<v  
    不同位置的Talbot图样 9 6#]P  
    5F ^VvzNn  
     $)8,dS  
    <Q- m &  
    不同位置的Talbot图样 Yc_(g0NK  
    +w?R4Sxjn  
     d}ycC.h4k  
    '6>*J  
    沿Z轴的强度 G-RDQ  
    NW 2`)e'  
     z,^~H  
    hh%?E\qM  
    走进VirtualLab Fusion -<5{wQE;|  
    %+Z*-iX  
     ysp`(n=  
    C&*1H`n  
    VirtualLab Fusion的工作流程 BL_0@<1X  
    q}VdPt>X/  
     构建光栅结构 >{:hadUH  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] !d!u{1Y&  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] kL0K[O  
    {N/%%O.b  
     通过参数运行计算不同位置的强度 |rZMcl/  
    - 参数运行文件的使用 [用例] 7C3YVm6g  
    6},[HpXRc4  
    Nf3UVK8LtS  
    9:VUtx#}2  
    VirtualLab Fusion技术 xb9+-{<J  
    ^IIy>  
     >-<iY4|[d  
       1TGRIe)  
    文件信息 "opMS/a"7  
    +FqE fY4j  
     Fr  
    |C<#M<  
    延伸阅读 lG94^|U  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     0*rD'?)K+  
    - 光栅级次分析器 fC*cqc~{@  
    - Talbot效应的建模 `V\?YS}  
    <EN9s  
     (4A'$O2  
    有什么问题可以添加微信~ DR:$urU$  
    zB`woI28  
     uXh:/KO  
     
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