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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 P~H?[ ;  
     0S%xm'|N  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 %\|9_=9Wn  
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    建模任务 k"z ~>  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015)  `u 't  
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    某一位置的Talbot图样 `Pcbc\"*y  
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    沿Z轴的强度 Xv&&U@7  
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    走进VirtualLab Fusion I,lX;~xb  
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    +v.<Fw2k#  
    VirtualLab Fusion的工作流程 h]>QGX[kC  
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     构建光栅结构 {O=PVW2S  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] =] +owl2  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] v:1DNR4  
    Ym8 V)  
     通过参数运行计算不同位置的强度 0Xw$l3@N^  
    - 参数运行文件的使用 [用例] z%E ok  
    (Qcd !!   
    4aGVIQ  
    &Yklf?EZ>Q  
    VirtualLab Fusion技术 )Ggv_mc h  
    Vm*E^ v  
     o}p^q:T*  
       ) w1`<7L  
    文件信息 E Xxv  
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     }1#prQ0F  
    bk=ee7E7>  
    延伸阅读 U!\~LKfA  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     rk-GQ#SKU  
    - 光栅级次分析器 rQD^O4j R  
    - Talbot效应的建模 PWBcK_4i%  
    `x]`<kS;  
     ^?8/9 o  
    有什么问题可以添加微信~ 3OB=D{$V  
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