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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 {%{GZ  
     b U NYTF{  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 jhv1 D' >6  
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    建模任务 5H+k_U  
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    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) AvZ) 1(  
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    某一位置的Talbot图样 2(Uz9!<V  
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    某一位置的Talbot图样 *K'ej4"u  
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    不同位置的Talbot图样 `Xdxg\|  
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    不同位置的Talbot图样 Z4ioXl  
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    沿Z轴的强度 #J724`  
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    走进VirtualLab Fusion g)qnjeSs]  
    Wx$q:$h@q  
     zI_GdQNfN  
    x ;,xd  
    VirtualLab Fusion的工作流程 2, V+?'^j  
    < iI6@X>  
     构建光栅结构 lk1Gs{(qhH  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] 'h>5&=r  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] cuaNAJ  
    NjN?RB/5  
     通过参数运行计算不同位置的强度 8`2<g0V2  
    - 参数运行文件的使用 [用例] Y{vwOs  
    Q4Fq=kTE  
     ;c Co+(  
    DnsP7k.8T  
    VirtualLab Fusion技术 8KwC wv  
    "C.7;Rvkp>  
     UXPegK!  
       [ []SkLZHg  
    文件信息 ?7MwTi8{F  
    ?4[Oh/]R  
     a`b zFu{  
    $KWYe{#  
    延伸阅读 Qy5Os?9"  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     h^+C)6(58n  
    - 光栅级次分析器 Ocwp]Mut&  
    - Talbot效应的建模 b>= Wq  
    Ldhk^/+  
     2FIR]@MQd  
    有什么问题可以添加微信~ E<Dh_K  
    *UBP]w  
     3 t88AN=4  
     
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