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    [分享]锥形相位掩模的Talbot像 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-02-07
    摘要 Tg[+K+b  
     /D eU`rj  
    在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Y|Z*|c.4OK  
    ,JR7N_"I  
     {?82>q5F  
    J::dY~@  
    建模任务 NVQ IRQ.  
    z7}@8F  
     {min9  
    结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) 0h* AtZv_  
     0@z78h=h  
    某一位置的Talbot图样 qT(j%F  
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    某一位置的Talbot图样 l =#uy  
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    不同位置的Talbot图样 k#U?Xs>  
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    不同位置的Talbot图样 ">|fB&~A  
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     mI-$4st]  
    (c_E*>c)  
    沿Z轴的强度 lO[[iMHl<  
    ka655O/)&  
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    W EZ)7H  
    走进VirtualLab Fusion Que-  
    @xR=bWY  
     so1% MV  
    .z+ [3Oj_E  
    VirtualLab Fusion的工作流程 bNi\+=v<Ys  
    Y'wQ(6ok  
     构建光栅结构 a=Pl3Uo  
    - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] ngE5$}UM  
    - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] w!7Hl9BW  
    e~oI0%xl^  
     通过参数运行计算不同位置的强度 Enyx+]9  
    - 参数运行文件的使用 [用例] }9=VhC%J  
    6cDe_v|,  
    !{jDZ?z{h  
    p{gJVP#l'Z  
    VirtualLab Fusion技术 zyTeF~_  
    yal T6  
     /3{jeU.k  
       cyL"?vR*<  
    文件信息 >La!O~d  
    iLD}>=  
     Xgou7x<  
    ]y:2OP  
    延伸阅读 c"~ +Y2]tL  
    - 超稀疏介质纳米线栅偏振片     A&XI1. j6  
    - 光栅级次分析器 MF69n,(o  
    - Talbot效应的建模 {oOzXc6o  
    5 o-WA1  
     8`M) r'5  
    有什么问题可以添加微信~ R <}UT  
    XnR9/t  
     = wEU+R_#o  
     
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