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摘要 fZ[kh{|
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在传统的Talbot光刻中，在光敏层中仅使用一个图像，但是可以使用特殊的相位掩模以深度方式生成相位掩模的两个图像。在此示例中，遵循I.-H. Lee等人的工作，通过傅立叶模态法（FMM，也称为RCWA）在VirtualLab Fusion中对具有一层圆锥体的相位掩模进行了建模。探测得到不同的Talbot像，柱状图位于主像面上，孔状图位于次像面上。 Rb)|66&3&
EbCIIMbe"
 -M6L.gi)oJ wAw42{M 建模任务 T_eJ}(p @zo7.'7P
 |) 9thIQ F 结构和材料参数来自I.-H. Lee, et al., Opt. Express 23, 25866-25873 (2015) q^5yk=2fq
0Y7$ d ` 某一位置的Talbot图样 kB8
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 P^"R4T s8^~NX(xdy 某一位置的Talbot图样 #>= 8w9]
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 3 -tO; GKb %MN.O-Lc 不同位置的Talbot图样 \SOeTn+
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 3E,DipHg J@QdieW6 走进VirtualLab Fusion L? 8^a G
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 8.yC A Tr%F U i VirtualLab Fusion的工作流程 W .U+.hR }z
wX 构建光栅结构 O= aw^|oj] - 用特殊介质构造光栅结构 [用例] it)ZP H - 超颖光栅构建 – 示例讨论 [用例] )7dEi+v52 ?eV_ACpZ8 通过参数运行计算不同位置的强度 + % XnMl - 参数运行文件的使用 [用例] p>q&&;fe v5T`K=qC  paWxanSt #- {N
Ws\ VirtualLab Fusion技术 - IU4#s
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 I^G^J M! eLV.qLBUs 文件信息 Ns<?b;aK
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 B`{mdjMy hm\\'_u 延伸阅读 \0?$wIH?
- 超稀疏介质纳米线栅偏振片 2JZd w - 光栅级次分析器 qnJ50 VVW - Talbot效应的建模 |@RpWp>2 tuLH}tkNY
^I`a; 有什么问题可以添加微信~ T@ P!L  J\=a gQ
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