先进光学元件微纳制造与精密检测技术

《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 L;'C5#GN  
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《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。 S\W&{+3  
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目录 Vho^a:Z9}W  
第1章 绪论 -r@/8"  
1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求 @j+X>TD  
1.1.1 先进光学元件的特点 .tt=\R  
1.1.2 先进光学元件的应用 &T[BS;  
1.1.3 先进光学元件的制造技术要求 kYU!6t1  
1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴 VQHQvFRZ)  
1.2 先进光学元件的制造技术 ?PDrj/: *  
1.2.1 光学元件的模压成形技术 mBWhC<kKs  
1.2.2 光学元件的精密切削技术 d{~Qd|<rr  
1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术 O`FuXB(t  
1.2.4 光学元件精密研抛技术 i=j4Wg,{J  
1.2.5 精密光学加工环境控制技术 <G#z;]N  
1.3 先进光学元件的检测与评价技术 73tWeZ8rvx  
1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点 }I ^e:,{  
1.3.2 光学元件的检测技术 XaR(~2  
1.3.3 光学误差的评价方法 {pM3f  
参考文献 Cswa5l`af  
egy#8U)Z  
第2章 先进光学元件加工装备技术 ff<adl-  
2.1 机床设计理论 @d_;p<\l  
2.1.1 机床设计要求 p="K4E8~H  
2.1.2 机床设计方法 WDQw)EUl&  
2.2 超精密机床关键部件及技术 4&'_~qU  
2.2.1 主轴部件 HK!Vd_&9,  
2.2.2 直线导轨部件 ?8aPd"x  
2.2.3 微位移进给部件 }*3#*y "  
2.3 超精密机床数控技术 QE%|8UFY  
2.3.1 数控技术 <n|.Z-gF\  
2.3.2 超精密加工数控系统 ~n`G>Oe3  
2.3.3 开放式数控系统 Oky9GC.a  
2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例 :R9 DJh\  
2.4 超精密磨削加工装备
i"U<=~  
2.4.1 超精密加工装备技术综述 DU.[Sp  
2.4.2 超精密磨削成形机床 E!v^j=h$u  
2.5 超精密加工工具技术 e \ rb  
2.5.1 超精密切削加工刀具技术 jj*e.t:F  
2.5.2 超精密磨削砂轮技术 h2
#S ?  
参考文献 TLiA>`r=  
`-[+(+["  
第3章 先进光学元件磨削技术 6N]V.;0_5  
3.1 超精密磨削加工发展 >"z&KZKI  
3.1.1 先进光学元件磨削技术概述 }^ G&n';J  
3.1.2 延性磨削和镜面磨削 1q(o3%   
3.2 超精密磨削过程分析 C*fSPdg?  
3.2.1 超精密磨削机理 HnmByn\j  
3.2.2 磨削过程基本参数 *) ?Fo  
3.3 超精密磨削加工关键技术 _I}rQfPJ  
3.4 砂轮修整 A1nEp0%Y  
3.4.1 杯形砂轮修整 <6) w  
3.4.2 ELID在线电解修整 g&6O*vx  
3.4.3 放电修整 *,=WaODO%  
3.4.4 激光修整 %l8nTcL_?  
3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术 :i_kA'dl&  
3.5 非球面磨削加工技术 s(
Tgv  
3.5.1 微小非球面加工技术 fG\]&LFBU  
3.5.2 大口径非球面磨削加工技术 ViG4tb  
3.5.3 自由曲面磨削加工技术 ,-[dr|.  
3.6 工艺软件设计开发 2eh j2T  
3.6.1 数控编程格式 ,0R2k `m!  
3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例 (
" +/ :  
3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例 >4}2~;  
3.7 超声振动复合磨削加工技术 \XXS;  
3.8 加工实例 VT&R1)c  
参考文献 X[ o9^<  
KU}HVM{  
第4章 先进光学元件抛光技术 h7H#sL[^  
4.1 超精密抛光加工发展 )!``P?3?  
4.2 平面光学元件抛光技术 Aa;s.:?  
4.2.1 平面抛光原理 044*@a5f  
4.2.2 平面抛光轨迹控制 +T@a/(Gl  
4.2.3 平面抛光材料去除模型 n/3gx4.g  
4.3 非球面光学元件抛光技术 GL_a`.=@  
4.3.1 非球面气囊抛光原理 \4.U.pKY  
4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制 H.ZmLB  
4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制 6!}tmdzR  
4.3.4 气囊抛光材料去除模型 kFG>Km(y}  
参考文献 6T_Mk0Sf+  
"A_WU|  
第5章 先进光学元件精密检测技术 Q(2X$7iRq  
5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术 =*YK6  
5.1.1 摆臂式轮廓检测法 $I7/FZP  
5.1.2 长行程轮廓检测法 *QF3l0&  
5.1.3 五棱镜轮廓检测法 <E|K<}W#  
5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术 S)0bu(a`Z,  
5.2.1 零位干涉检测技术 Pe !eID8  
5.2.2 非零位干涉检测技术
@:~O  
5.3 光学非球面精密检测平台 |WB<yA1  
5.3.1 小型光学非球面精密检测平台 e,}]K'!t  
5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台 {t$ vsR  
参考文献 dsP1Zq  
%8T:rS  
第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术 F%Lniv/N  
6.1 先进光学元件检测轨迹规划 o2 5kFD  
6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划 VT\o=3_  
6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划 w 1
E}F  
6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术 ]8q5k5
~  
6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术 cf|<~7  
6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术 kQ$Q}3f  
6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究 .d5|Fs~B  
6.3.1 数据处理系统总体设计 9_rNJLj8y  
6.3.2 数据预处理 Y'n TyH  
6.3.3 误差补偿及结果 <)zh2UI  
参考文献 h@72eav3+  
?'K}bmdt}.  
第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术 & CiUU  
7.1 超精密加工环境监控技术概述 ^b`}g  
7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展 hgE!)UE  
7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展 fz W%(.tc\  
7.2 超精密加工环境无线监控系统原理 ih?_ fW  
7.2.1 加工环境无线监控系统构成 Wx&AY"J  
7.2.2 加工环境无线监控对象 0*%j6*XDq9  
7.2.3 加工环境无线监控系统网络 /c`)Er6d  
7.3 加工环境无线监控系统技术体系 zVs_|x="  
7.3.1 系统硬件组成 1{%EQhNd  
7.3.2 系统软件组成 yg "u^*r&  
7.4 加工环境无线监控系统监控实例 Xu$xO(  
参考文献 SMQuJ_  
Y$EqBN  
第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制 {W}.z  
8.1 亚表面损伤概述 4T6dju  
8.1.1 表面质量与完整性的研究内容 GljxYH"]#  
8.1.2 亚表面损伤的表现形式 +|Q8P?YD_  
8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响 Xt/T0.I  
8.2 亚表面损伤的形成机理 nD.4c-hd$q  
8.2.1 亚表面裂纹的形成机理 xkOyj`IS  
8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理 vI]| W  
8.2.3 亚表面层材料组织变化机理 FpfOxF6A3  
8.3 亚表面损伤的检测与评价 A$W,#`E  
8.3.1 损伤性检测技术 .*D~ .!  
8.3.2 无损检测技术 'r4 j;Jn  
8.3.3 亚表面损伤的评价 fL"-K  
8.3.4 亚表面损伤的预测  KEsMes(*  
8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制 zb~!> QIz{  
8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术 DJrE[wI  
8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术 SMgf(N3]  
参考文献 p[&'*
"o!/  
YmHn*N}:U