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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 FQWjL>NB  
    )PN8HJAArh  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） .eJKIck  
    /$; Z ~^P  
    所需工具：Grating Toolbox Basic }i+C)VUX   
    QV[&2&&^<<  
    相关Tutorials：G.001; G.014 2Io| ?  
    建模任务 :,8y8z$+  
    9wL2NC31Q  
    理想平面波照射 zdP?HJ=F  
    qCI&H7u@  
    UynGG@P@  
    G@s:|oe  
    +R~]5Rxd  
    r]e{~v/  
    镀膜倾斜光栅 BbB3#/g  
    目标平面 yCjc5d|tT  
    %pZT3dcK  
    周期：10um =]@Bc 7@  
    厚度：10um `q}D#0  
    倾斜角度：20度 A+/Lt>+AS  
    D4$b-?y  
    光栅的参数 48p3m) 5  
    >\JP X  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 ckX8eg!f  
    $ DN.  
    —填充因子                           2—后面的介质 /qQx~doK  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 Zl5DlRuw  
    —光栅厚度 h#zm+([B*  
    ZRhk2DA#FF  
    AG >D,6Y  
    DS8HSSD  
     Gr({30"8  
    <(E)M@2  
    设置层数和转折点 c<1$ zQY!  
    Q}&'1J  
    n^' d8Y(  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 h x^@aI  
     ZPf&4#|  
    R5sEQ| E  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 m#h`iW  
    &Hw:65O  
    -dMH>e0  
    实现可编程光栅 PCCE+wC6  
    ejg!1*H@n  
    iu{y.}?  
    T3b0"o27  
     @!$xSH  
    *r>Y]VG;S  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ['(qeS@5O  
    d Np%=gIj  
    "4XjABJ4'  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） D*L@I@ [  
    uJ"#j X  
    X>dQK4!R  
    8Ogg(uS70'  
    PR;Bxy  
       +46& Zb35  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） i@{b+5$  
    $zz4A~   
    s2sJJdN  
    2       双击Data Series Diagram W&A^.% 2l  
    @>`N%wH'  
    采样结果 kb-XEJ}L  
    8f,",NCgc  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     dnANlNMk?  
    >>=zkPy  
    QQ：2987619807
     
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