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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ;ZuHv {=  
    <o9i;[+H-  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run QDj%m%Xd  
    T*@o?U  
    所需工具:Grating Toolbox Basic f6J]=9jU  
    rRe^7xGe7  
    相关TutorialsG.001; G.014 :LB*l5\  
    建模任务 EZ>(}  
    v6DjNyg<x  
    理想平面波照射 x~uDCbL  
    O*/%z r  
    $aEv*{$y  
    G11KAq(  
    fJ\?+,  
    QxPPgn7'  
    镀膜倾斜光栅 |Isn<|_  
    目标平面 ,d*1|oUw  
    :~R a}  
    周期:10um uX!6: v]  
    厚度:10um Z,AY<[/C  
    倾斜角度20 qi~-<qW  
    H!0m8LCnb  
    光栅的参数 1p5'.~J+Q  
    h3.CvPYy1  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 pRh9+1EM;  
    L|<j/bP  
    —填充因子                           2—后面的介质 Z3MhHvvgp{  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 QKEtV  
    —光栅厚度 117lhx].'  
    gnzg(Y]5w  
    IhK SwT  
    Z" H;t\P  
    &?Erkc~#  
    i,"Xw[H*s  
    设置层数和转折点 |AE{rvP{@  
    x6JV@wA&  
    F (kq  
    2       设置层数和转折点以确定膜层  |15!D  
    ;=IJHk1&  
    [?:MIl#!  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 SJX9oVJeZ  
    _(?`eWo  
    #%ld~dgz-  
    实现可编程光栅 ld#x'/  
    "y*3p0E  
    f?^-JZ  
    rZ+4kf6S   
    *k#"@  
    ks phO-  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Fhllqh)  
    i"n_oO  
    w^zqYGxG)  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) YCStX)r  
    Kyk{:UnI  
    6^J[SQ6P  
    V,VL?J\  
    "8uNa  
       _kRc"MaB  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) N2 3:+u<)E  
    V;RgO}  
    U!Zj%H1XQ0  
    2       双击Data Series Diagram WY>$.e  
    F4-rPv  
    采样结果 aY,Bt  
    &R.5t/x_  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    #r"|%nOfY  
    _3%:m||,XP  
    QQ:2987619807
     
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