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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 HcQ{ok9u  
    `t ZvIy*  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run GXRK+RHuBi  
    bEy j8=P;  
    所需工具:Grating Toolbox Basic R4QXX7h!  
    {n%F^ky+7  
    相关TutorialsG.001; G.014 Q} f=Ye(&}  
    建模任务 d%4!d_I<  
    a*S4rq@  
    理想平面波照射 O-bC+vB]M  
    D,1S-<  
    cD2}EqZ 9  
    Y@^M U->+  
    3Xf}vdgdM$  
    MWsBZJRr  
    镀膜倾斜光栅 vVZ@/D6w  
    目标平面 pt|u?T_+  
    xk.\IrB_  
    周期:10um 1c+[S]7rY  
    厚度:10um t~ Q {\!  
    倾斜角度20 A'6>"=ziP  
    ^^)D!I"cA,  
    光栅的参数 S1;#5 8  
    OZLU>LU  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 i v&:X3iB  
    U{n 0Z  
    —填充因子                           2—后面的介质 -5d8j<,  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 2Wq)y1R<T  
    —光栅厚度 &kRkOjuk  
    x@Z?DS$)  
    i4v7x;m_p  
    SgFyv<6>:  
    t#}/VnSQ  
    K )1K ]  
    设置层数和转折点 (PE"_80Z  
    , S}[48$  
    p@NE^aMn  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 x>;! `}x  
    |z Gwt Z  
    avykg(  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 W<u63P  
    2|kx:^D p  
    .P9ALJP(b  
    实现可编程光栅 HpuHJ#l  
    /)MzF6  
    XQ%*U=)s  
    *" >e k k  
    VLA9&.*@  
    W(1p0|WQ:  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) e ,k,L  
    ,57g_z]V  
    IdUMoLL?  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 6*/0 yGij  
    [&j!g  
    g(>;Z@Y  
    j$n[; \]n  
    FG38)/  
       \NDSpT<Z  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) uK="#1z cC  
    /4<eI 3Z  
    smF#'"{  
    2       双击Data Series Diagram "+[:\  
    `BmAu[(e&  
    采样结果 ="P 3TP  
    NELQo#kjZ  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    8h78Zb&[  
    w t? 8-_  
    QQ:2987619807
     
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