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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Y}
cr E/ %6E:SI 4 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） T4h&ly5
f 2 sK\.yS 所需工具：Grating Toolbox Basic cS RmC n7pjj 相关Tutorials：G.001; G.014 dyVfDF 建模任务 HleMzykF M"5S 理想平面波照射 `ZGKM>q` nHl{'|~ S^_F 0</U,  vQmqYyOc2 {!xDJnF; i yP0;$ 镀膜倾斜光栅 `!y/$7p
目标平面 &VT O9d #]z_pp: 周期：10um /7igPNhx 厚度：10um {ZKXT 8' 倾斜角度：20度 Le*gdoW . tC\(H=ecP 光栅的参数 MS;^@>|wj ;TulRx]EA —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 SHRn $< oa6&?4K?F —填充因子 2—后面的介质 [ ps 5 —膜层厚度 3—膜层材料 g) nT]+& —光栅厚度 j.+ }Z | k:#u%Z b)7v-1N  tg C)vZ&a
2X6L'!= mT,#"k8 设置层数和转折点 <ToRPx&E 9](RZ6A+o Dr5AJ`y9A  2 设置层数和转折点以确定膜层 > *soc!# Y zo:NE0 0 3u[5T|D' 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 a([8r- zP 1!Afq}| Kon|TeC>d 实现可编程光栅 g9gi7.'0 %PC8}++ 8dwKJ3*.  Sh\Jm*5
h6 Cqc}P :H>0/^Mg0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） dgT(] H  :*MR$Jf , FR/X/8 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） #3_
@aq* 6UM1>xq9A ei(S&u< q_Z6s5O  $ EexNz F$jfPy-f 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） HNd? '  ] E^)d|_ 3,1HD _ 2 双击Data Series Diagram t"P:}ps{? Rw)=<XV)6 采样结果 {\gpXVrn_  X=V2^zrt
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.
F8|m i`f- ;*cCaB0 u
QQ：2987619807
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