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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Gxr\a2Z&r%  
    dT| XcVKg  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） PD#,KqL:  
    17hoX4T  
    所需工具：Grating Toolbox Basic NcA `E_3  
    Emlj,c<?j  
    相关Tutorials：G.001; G.014 %=**cvVy  
    建模任务 o78u>Oy  
    Q)75?mn  
    理想平面波照射 \Vc[/Qp7Bb  
    c5]Xqq,  
    ?Y"%BS+pt  
     "'4  
    #GM^:rF  
    w8lrpbLh  
    镀膜倾斜光栅 U]hqRL  
    目标平面 r]9-~1T  
    'LgRdtO6  
    周期：10um ^h?fr`  
    厚度：10um  : (UK'i  
    倾斜角度：20度 e=;A3S  
    xG!~TQ  
    光栅的参数 [f+wP|NKL  
    M CC4'  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 *\ii +f-  
    CPB{eQeDuv  
    —填充因子                           2—后面的介质 F ~A $7  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 8eqTA8$?  
    —光栅厚度 A f'&, 1=q  
    h)Y] L#R  
    _E '?U  
    ns~]a:1yh  
     ; Z:[LJd  
    3IYFvq~  
    设置层数和转折点 ~ z^?+MgZ2  
    zPnb_[YF  
    qU26i"GHp  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 4t*%(  
    L<FXtBJ  
    l~Jd>9DwY  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 BX/3{5Y>{  
    dN5{W0_  
    h$5[04.Q  
    实现可编程光栅 IiE6i43  
    W.3b]zcV  
    B*tYp  
    EE 9w^.3a  
     cWW?@ _  
    )<5k+O~  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） I>?oVY6M@u  
    fkI 5~Y|  
    _X#Rv2a  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Q`F1t  
    ,HP }}K+S  
    ^ ]9K>}  
    pU_3Z3CeE  
    ?NwrdcQ  
       A8f.h5~9  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (MLcA\LJ  
    g8O6 b  
    y#Dh)~|k  
    2       双击Data Series Diagram "t^v;?4  
    t7byOMC  
    采样结果 WEwa<%Ss  
    J>(X0@eWz  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     }AS?q?4?  
    #@FA=p[%  
    QQ：2987619807
     
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