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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ]3/_?n-"` %Uz
5Ve 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 8qi6>}A m+ww 所需工具:Grating Toolbox Basic "dN4EA&QJ rCTH 5" 相关Tutorials:G.001; G.014 {|Pg]#Wi& 建模任务 Ld?-Ik~fF> \ O#6H5F 理想平面波照射 ff3HR+%M ;vDjd2@ !9/1_Bjv erW[q A/%+AH( EG|fGkv" 镀膜倾斜光栅 6L)]nE0^ 目标平面 Up/s)8$. F^mMyK 周期:10um "yo~;[ 厚度:10um 6S2u%-] 倾斜角度:20度 4-wCk=I 42Vz6 k: 光栅的参数 CI~P3"`] AdWLab; —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 pFZ2(b& a1 I"Sh —填充因子 2—后面的介质 JTw3uM, e —膜层厚度 3—膜层材料 #go!"HL —光栅厚度 E<|p9,M '0juZ~>} 4 )U,A~! -q}c;0vL-a vp>,}nx4 %v_w"2x; 设置层数和转折点 =(-oQ<@v {r$n
$ wP <) 2 设置层数和转折点以确定膜层 =WYI|3~Cz FuKp`T-H lg(*:To3B 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 # RG/B2 7a4b,-93 f-O`Pp FQ 实现可编程光栅 ;Rz+4< (}|QSf: t.7KS: )225ee> (q@DBb4 'rX!E,59 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) NFEF{|}BM [YsN c **%/Ke[ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) $jL{l8x 2GHmA_7P xP3v65Q1 FBR]) h'Z 8l, R|$RKP mo$`a6[h< 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) }qa8o RO]Vn]qb 2}ttCm 2 双击Data Series Diagram ep<O?7@j-G K_fQFuj+ 采样结果 /hojm6MM *gJ:irah 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ~ PO)>; U|Du9_0 QQ:2987619807
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