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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ;ZuHv {= <o9i;[+H- 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) QDj%m %Xd T*@o?U 所需工具:Grating Toolbox Basic f6J]=9jU rRe^7xGe7 相关Tutorials:G.001; G.014 :LB*l5\ 建模任务 EZ>(} v6DjNyg<x 理想平面波照射 x~uDCbL O*/%zr $aEv*{$y G11KAq( fJ\?+, QxPPgn7' 镀膜倾斜光栅 |Isn<|_ 目标平面 ,d*1|oUw :~R a} 周期:10um uX!6:v] 厚度:10um Z,AY<[/C 倾斜角度:20度 qi~-<qW H!0m8LCnb 光栅的参数 1p5'.~J+Q h3.CvPYy1 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 pRh9+1EM; L|<j/bP —填充因子 2—后面的介质 Z3MhHvvgp{ —膜层厚度 3—膜层材料 QKEtV —光栅厚度 117lhx].' gnzg(Y]5w IhK
SwT Z" H; t\P &?Erkc~# i,"Xw[H*s 设置层数和转折点 |AE{rvP{@ x6JV@wA& F (kq 2 设置层数和转折点以确定膜层 |15!D ;=IJHk1& [?:MIl#! 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 SJX9oVJeZ _(?`eWo #%ld~dgz- 实现可编程光栅 l d#x'/ "y*3p0E f?^-JZ rZ+4kf6S *k#"@ ks phO- 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Fhllqh) i"n_oO w^zqYGxG) 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) YC St X)r Kyk{:UnI 6^J[SQ6P V,VL?J\ "8uNa _kRc"MaB 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) N2 3:+u<)E V;R gO} U!Zj%H1XQ0 2 双击Data Series Diagram
WY>$.e F4-rPv 采样结果 aY,Bt &R.5t/x_ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. #r"|%nOfY _3%:m||,XP QQ:2987619807
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