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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 n3$u9!|P (i1p6 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） imB/P M ,R=$ qi| 所需工具：Grating Toolbox Basic E%a&6W hDc2T 相关Tutorials：G.001; G.014 ";DozPU 建模任务 cg9*+] rc *w}r:04F 理想平面波照射 &>G8DvfJ9 i`?yi-R& B m<tCN-4  XD80]@\za .:e#!~Ki d<E2=WVB6 镀膜倾斜光栅 )19#g1rn5 目标平面 ~yA^6[a = 8G3.bi'q 周期：10um 9#kk5 )J 厚度：10um PfGiJ]:V-u 倾斜角度：20度 EYi {~ Mhc5<~? 光栅的参数 }9FWtXAU^1 x'SIHV4M@Q —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 I.`D BI#-f !(3 [z> —填充因子 2—后面的介质 Dj 6^|R$z& —膜层厚度 3—膜层材料 w{N8Y ~O —光栅厚度 9fO E . L=P8; Gj) nP|ah~
q  1[- `*Ph
735l&(3A\ 2EO9IxIf 设置层数和转折点 R[TaP 7n "W_E!FP]r xn)F(P 0kv  2 设置层数和转折点以确定膜层 4w]<1V ZT`"
{ #L *z_`$Y 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 #Yy5@A}`o /q/^B> ] rA @|nL{ 实现可编程光栅 qoW$Iw*q)B ;Rm';IW$
UQW v)  A5[kYD,_
>y!O_@>z i .7$~} 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ^;?w<9Y  XjYM p3 Ki%)LQAg 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !~ j9Oc^ >xH? `I7;f cBHUa}: y{XNB}E  r]k ks_!Z f/Z-dM\e 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） {n S(B  uVX n/B -W: @3\{ 2 双击Data Series Diagram b>d]= u e$mVA}>Ybp 采样结果 x_l8&RIB*  h645;sb0
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. ol`q7i. Upm#:i|"
QQ：2987619807
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