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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。
aE_)iE| {,5=U@J 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) lB\"*K; (VPT% l6 所需工具:Grating Toolbox Basic [xXml On! !(!BW9Zt+ 相关Tutorials:G.001; G.014 c-INVA) 建模任务 VD\pQ.= `TkIyGr 理想平面波照射 RRD\V3C84 7eh|5e$@ `9QrkkG+ l|-TGjsX t9&z|?Vz k3m|I*_\L 镀膜倾斜光栅 M} IRagm 目标平面 ];P^q`n=. Ru?Ue4W^b 周期:10um }P$48o VY 厚度:10um ;8~`fK 倾斜角度:20度 ?lxI&
h %*.;3;m 光栅的参数 V*l0|,9 S,5>g07-` —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 {Izg1N 'JEZ;9} —填充因子 2—后面的介质 h^P>pI~ —膜层厚度 3—膜层材料 :):=KowI —光栅厚度 ay2
m!s Q {uO8VL5+Qx F9e$2J)C g 1\4Jb OwP9=9}; US)wr 设置层数和转折点 KQ/v](77 (
$3j \n850PS 2 设置层数和转折点以确定膜层 {KL<Hx2M oKTIoTb &86kmFA 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 J`O4]XRY h*hV q*A2>0O 实现可编程光栅 XJ]MPiXj fHf+! Cc]s94 o})4Jt1vj iQ-;0< |