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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ,I9][_ 7C,<iY 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) /y+;g{ `8$:F4%P 所需工具:Grating Toolbox Basic A52LH, 2tg/S=t} 相关Tutorials:G.001; G.014 ~Hp#6+ 建模任务 y\r^\ S9% p 02nd.R6 理想平面波照射 =!I8vQ> (1saof*p% P>yG/:W; /6i Tq^.% 2 E-BOIy, 镀膜倾斜光栅 Q{ |+3!!' 目标平面 tS_xa d=xI 周期:10um 2fHIk57jP 厚度:10um T6/$pJl 倾斜角度:20度 ~#IWM+I tWCv]* 光栅的参数 ~:ub L~?,6 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 gavQb3EP x`j$9XN5 —填充因子 2—后面的介质 eE#81]'6a —膜层厚度 3—膜层材料 @SF")j| —光栅厚度 1%]{0P0?[ uJ)\P "W,"qFx oJ4mxi@|# 9:}RlL+cOk OW[/%U> 设置层数和转折点 b}EYNCw_7S RpaA)R, ^Xt]wl*]+ 2 设置层数和转折点以确定膜层 I49=ozPP SoM
]2^ y$r?t0 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 FzsS~C$wH{ @4 g O\f:Pg 实现可编程光栅 VQG /g\ {8>_,z^P) $J;=Ux)$ vt(}ga >m;|I/2@ =`7)X\i@z 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) yoQ?lh ,Rr&. b/D9P~cE 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ~;O=
7 :+Z>nHe ;03*qOYc =%nqMV(y [u9S+:7" ,uqbS 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) D .oS8' /="D]K)%b8 g^<q L| 2 双击Data Series Diagram gYH:EuY, W0uM?J\O 采样结果 1+PNy d RZ,<D I 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ~:RDw<PWp o`y*yucHI QQ:2987619807
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