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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 aE_)iE|  
    {,5=U@J  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) lB\ "*K;  
    (VPT% l6  
    所需工具:Grating Toolbox Basic [xXml On!  
    !(!BW9Zt+  
    相关Tutorials:G.001; G.014 c-INVA)  
    建模任务 VD \pQ.=  
    `TkI yGr  
    理想平面波照射 RRD\V3C84  
    7eh|5e$@  
    `9Qr kkG+  
    l|-TGjsX  
    t9&z|?Vz  
    k3m|I*_\L  
    镀膜倾斜光栅 M} IRagm  
    目标平面 ];P^q`n=.  
    Ru?Ue4W^b  
    周期:10um }P$48o VY  
    厚度:10um ;8~`fK  
    倾斜角度:20度 ?lxI& h  
    %*.;3;m  
    光栅的参数 V*l0| ,9  
    S,5>g07-`  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 {Izg1 N  
    'JEZ;9}  
    —填充因子                           2—后面的介质 h^P>pI~  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 :):=KowI  
    —光栅厚度 ay2 m!s Q  
    {uO8VL5+Qx  
    F9e$2J)C  
    g1\4Jb  
    OwP9=9};  
    US)wr  
    设置层数和转折点 KQ/v](7 7  
    ( $3j  
    \n850PS  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 {KL<Hx2M  
    oKTIoTb  
    &86km FA  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 J`O4]XRY  
    h*hV  
    q*A2>0O  
    实现可编程光栅 XJ]MPiXj  
    fHf+!  
    Cc]s94  
    o})4Jt1vj  
    iQ-;0<=G  
    tGzYO/Zp  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) .jr1<LE  
    Ul[>LKFY  
    /-$`GT?l  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) <uL?7P  
    UL[4sv6\9  
    VzpPopD,QW  
    P58U8MEG  
    aQN`C {nY  
       B>o\;)l3O  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) O6OP{sb  
    hC]c =$=7  
    _dsd{&  
    2       双击Data Series Diagram c6s(f  
    (eJr-xZ/  
    采样结果 ?9!tMRb  
    c ~YD|l  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    g$dL5N7  
    /^uvY  
    QQ:2987619807
     
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