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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 O%o#CBf0 o9wg<LP 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) . F#mT h (6+6]`c$ 所需工具:Grating Toolbox Basic RMC|(Q< _$ixE~w-! 相关Tutorials:G.001; G.014 P+}qaup 建模任务 2+=|!+f #C+Gk4"w 理想平面波照射 #]lUJ
&M}e A ws#>l< $:u,6|QsS= 7v,>sX =_":Z!_ }#'KME4 镀膜倾斜光栅 tEN]0` 目标平面 sTG+c E {+xUAmd 周期:10um $elrX-(vL 厚度:10um HAO/r`7* 倾斜角度:20度 ,dVCbAS@ "[[fQpe4@ 光栅的参数 +=k?Dp[ C9=f=sGL —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 e<9nt [ m/eGnv;! —填充因子 2—后面的介质 !5B9:p~-
—膜层厚度 3—膜层材料 i[\[xfk —光栅厚度 Z$ftG7;P0 =\XAD+ U~H'c
p 21o_9=[^ G0Wd"AV+ >`{i[60r 设置层数和转折点 Tb y+Pd; 5ef&Ih.3 0H>Fyl2_ 2 设置层数和转折点以确定膜层 l4/TJ%`MG _O!D*=I Q ,;x;QR4 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Nb];LCx c%Gz{':+ \s+MHa& 实现可编程光栅 E`?BaCrG~ .R
gfP'M <rC#1wR4 jSG
jv> he+[ i*^K)SI8 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) @wFm])}0 6sZRR{' ttsB'|ps 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) jSVO$AW~C ^&6NB)6 pc.0;gN GDcV1$NA 4z*_,@OA X*JD 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) {``}TsN Tb)x8-0 RyhR# 2 双击Data Series Diagram
=#V11j O#EBR<CuK 采样结果 d#d~t[= *C:+N> 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 41zeN++ ho20>vw# QQ:2987619807
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