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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 OekcU% C  
    m:/@DZ  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） /^qCJp`  
    a@zKi;  
    所需工具：Grating Toolbox Basic %|Gi'-'|b$  
    ! 2"zz/N{  
    相关Tutorials：G.001; G.014 JGf6*D"O  
    建模任务 j*Q/vY!T  
    5?k_Q"~  
    理想平面波照射 ('W#r"  
    J$&!Y[0  
    iBxCk^  
    S D] d/|y  
    QY-P!JD  
    XcaY'k#  
    镀膜倾斜光栅 Q5r cPU>A  
    目标平面 v*QobI  
    Iqe4O~)  
    周期：10um W$N_GR'4  
    厚度：10um Q <^'v>~n  
    倾斜角度：20度 Uk-^n~y  
    G?e,Q$  
    光栅的参数 O~9 %!LAu  
    Vfp{7I$#6"  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 }k duN0  
    =]\,I'  
    —填充因子                           2—后面的介质 Hm`9M.5b  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 3w ?)H  
    —光栅厚度 VGM8&J{o'  
    Mmbb}(<  
    Ws4aCH1  
    9Q^>.^~^  
     E92dSLhs5  
    g$?B!!qT  
    设置层数和转折点 kxhvy,t  
    ep3_G\m  
    +=|Q'V  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 `9s5 *;Z  
    q*@7A6:FV>  
    s8{3~Hv  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 p{t2pfb  
    ov#/v\|0  
    /^DDU!=(<  
    实现可编程光栅 #_QvnQ?I  
    +J]3)8 y+  
    :"3WCB  
    X;v/$=-mz  
     t}qoIxy)  
    hqFK2 lR  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 4bhm1Q  
    hBLJKSv  
    +0.$w  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u\ytiGO*  
    cA`R~o"  
    |M[E^  
    lK9us  
    I(s\ Q[  
       Od>Ta_  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） rV"<1y:g  
    `w@fxv   
    G! zV=p  
    2       双击Data Series Diagram 2!-ZNd:(+  
    3:Y ZC9  
    采样结果 vXR-#MS`}  
    O!hg@[\B+  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     KU"? ZI  
    )2g\GRg6  
    QQ：2987619807
     
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