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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 x,$N!X vSty.:bY\p 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) @P=St\;VP Yhdt"@;.. 所需工具:Grating Toolbox Basic r/v'h@ <@i.~EL 相关Tutorials:G.001; G.014 H`u8}{7 建模任务 )E;+C2G ~RcI+jR) 理想平面波照射 1d/-SxhZ +|}R^x`z 50!/% s ^NO( \b{Aj,6, RmS|X"zc 镀膜倾斜光栅 hZGoiWC 目标平面 /H#- \r&r fw>@:m_bK 周期:10um D|8vS8p 厚度:10um eXJt9olI 倾斜角度:20度 hUirvDvX H I/]s^aL 光栅的参数
!sda6?& 2p\CCzw —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 blxAy e$F]t*)Xa —填充因子 2—后面的介质 n8(B%KF —膜层厚度 3—膜层材料 _\E{T5 —光栅厚度 n}== w0QN5? 3wXmX 0_yE74i Enee\!@v vW4~\] 设置层数和转折点 Ov3W;jD (]wi^dE B5J!&suX 2 设置层数和转折点以确定膜层 *S_e:^ %M8Egr2|0 gLv|Hu7 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 4 -)'a} O Q(SVJ QX(x6y>Q 实现可编程光栅 EubR]ckB ?f v?6r f.V;Hl, MLg<YL ~82[pY _3$@s{k-TI 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 8+vZ9!7 )#-27Y 2}j2Bhc 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) T!$7:% D =jD[A>3I 7t-j2 n`< :PtpIVAosg %VYQz)yW 5zJkPki 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) E/cA6*E[.< ~^/zCPy[w Cpaeo0Oq 2 双击Data Series Diagram H3{x;{.b }_XW?^/8 采样结果 A2' E
[JXQ76 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. 5@c,iU-L g!n1]- 1 QQ:2987619807
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