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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 O%o#CBf0  
    o9wg<LP  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run .F#mT h  
    (6+6]`c$  
    所需工具:Grating Toolbox Basic RMC|(Q<  
    _$ixE~w-!  
    相关TutorialsG.001; G.014 P+}qaup  
    建模任务 2+=|!+f  
    #C+Gk4"w  
    理想平面波照射 #]lUJ &M}e  
    A ws#>l<  
    $:u,6|QsS=  
    7v,>sX  
    =_":Z!_  
    }#'KME4  
    镀膜倾斜光栅 tEN]0`  
    目标平面 sTG+c E  
    {+xUAmd  
    周期:10um $elrX-(vL  
    厚度:10um HAO/r`7*  
    倾斜角度20 ,dVCbAS@  
    "[[fQpe4@  
    光栅的参数 +=k?Dp[  
    C9=f=sGL  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 e<9nt [  
    m/eGnv;!  
    —填充因子                           2—后面的介质 !5B9:p~-  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 i[\[xfk  
    —光栅厚度 Z$ftG7;P0  
    =\XAD+  
    U~H'c p  
    21o_9=[^  
    G0Wd"AV+  
    >`{i[60r  
    设置层数和转折点 Tby+Pd;  
    5ef&Ih.3  
    0H>Fyl2_  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 l4/TJ%`MG  
    _O!D*=I  
    Q ,;x;QR4  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Nb];LCx  
    c%Gz{':+  
    \s+MHa&  
    实现可编程光栅 E`?BaCrG~  
    .R gfP'M  
    <rC#1wR4  
    jSG jv>  
    he+[  
    i*^K)SI8  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) @wFm])}0  
    6sZRR{'  
    ttsB'|p s  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) jSVO$AW~C  
    ^&6NB)6  
    pc.0;g N  
    GDcV1$NA  
    4z*_,@OA  
       X*JD  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) {``}TsN  
    Tb)x8-0  
    RyhR#  
    2       双击Data Series Diagram =#V11j  
    O#EBR<CuK  
    采样结果 d#d~t[=  
    *C:+N>  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    41zeN++  
    ho20> vw#  
    QQ:2987619807
     
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