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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 q'awV5 y Nl `8Kcv 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） k%?A= h ~,.}@XlgT. 所需工具：Grating Toolbox Basic g{06 d~Y 9gokTFoN 相关Tutorials：G.001; G.014 s\dF7/ b 建模任务 JmK [7t x?B 8b-* 理想平面波照射 Z}'"c9oB DR6 OR B7 Tb6c]?'U  #/ Qe7:l Mw+8p}E ?]L:j 镀膜倾斜光栅 0if~qGm=! 目标平面 T&`H )o >Kc>=^=5 周期：10um RI% ZT 厚度：10um |YAnd=$ 倾斜角度：20度 RGim):1e m^)h/s0A 光栅的参数 n7 S~n k R\wG3 Oxol —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 aGz <Yip *Q8d &$ ^ —填充因子 2—后面的介质 ?0VLx,kp —膜层厚度 3—膜层材料 M6b;
DQ —光栅厚度 }Myi0I< <2a7>\74E0 ` <L6Q2Y>j  L>mv\D;o.
]+B# SIC; :!f1|h 设置层数和转折点 "3i=kvdz 5b9>a5j1; &<P!o_+eb  2 设置层数和转折点以确定膜层 HEjrat;5 W%=b|6E R3$K[Lv, 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 f}'E|:Z 7k b)A$lP %` =kspHP< k 实现可编程光栅 uz1t uX_ o|nj2 . 7='M&Za  v?\bvg\E
)up!W4h6o " (+ ># 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 24Y~x`W  av1*i3 l*]L=rC 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） m3k}Q3&6Z ,!f*OWnZ B=/*8,u 10JxfDceD  PT|W{RlNl 5 s>$ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） b
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2 双击Data Series Diagram :G|Jcl=r $o` N% ] 采样结果 :CN,I!:  j+n1k^jC
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. )ll`F7B- >Z?3dM~ [
QQ：2987619807
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