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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3ybEQp9  
    L&+XFntR  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） m2AA:u_*j  
    yk5-@qo  
    所需工具：Grating Toolbox Basic iqig~fjK ~  
    UxzZr%>s  
    相关Tutorials：G.001; G.014 7z9gsi  
    建模任务 A_6b 4T  
    @]" :3  
    理想平面波照射 r3<yG"J86  
    D0/ \  
    |d?0ZA:z  
    8 C@iD%  
    C S"2Sd 1`  
    HA&][%^  
    镀膜倾斜光栅 ymT&[+V  
    目标平面 a]|P rjPI  
    C s?kZ %  
    周期：10um tRZCOEo4  
    厚度：10um 3N|,c]|  
    倾斜角度：20度 !run3ip`Z  
    m7Nm!Z7  
    光栅的参数 w&:"x@ -|  
    T52A}vf4  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 YQxVeS(  
    i{?uIb B  
    —填充因子                           2—后面的介质 ' \Z54$  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 hJ 4]GA'  
    —光栅厚度 zFmoo4P/  
    /xj^TyWM  
    l 3bo  
    T B~C4HK=  
     )"s <hR ,  
    U@ x5cw:  
    设置层数和转折点 Xs$k6C3  
    s|.V:%9e  
    H@GiHej  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 a^t#kdT  
    (E )@@p7,:  
    rTT Uhd  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 ^noKk6Aaa  
    pwU l&hwte  
    WQv%57+  
    实现可编程光栅 g+|1khS)  
    NCbn<ojb  
    DyIuM{Owj  
    RI9&KS  
     UM%]A'h2O"  
    #u`i4  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） m?VA 1  
    &[ejxK"  
    NPF"_[RoeV  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） p3>p1tC  
    o5)lTVQ~~  
    8`l bKV  
    u+"3l@Y#  
    aE BQx  
       "u:5  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ,\ [R\s  
    .6z8fjttOC  
    b:VCr^vp  
    2       双击Data Series Diagram &g%9$*gmT  
    PLlad\  
    采样结果 sw A^oU  
    L ldZ"%P  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     yXyL,R  
    f*U3s N^y  
    QQ：2987619807
     
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