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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ^9fY %98  
    $~5ax8u&!#  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run L| K8  
    Z b}U 4  
    所需工具:Grating Toolbox Basic !THa?U;  
    ~ NZC0&  
    相关TutorialsG.001; G.014 :^H2D=z@  
    建模任务 Jy?; <  
    My<.^~  
    理想平面波照射 13K|=6si  
    n5>OZ3 E@  
    6%L#FSI  
    _{&bmE  
    o'J^kd`  
    :erfs}I  
    镀膜倾斜光栅 @|'$k{i  
    目标平面 hAU@}"=G  
    #sM`>KG6T1  
    周期:10um x|`BF%e/v  
    厚度:10um nAaY5s0D  
    倾斜角度20 =M9;`EmC  
    R1vuf*A5,  
    光栅的参数 H[2W(q6  
    .OcI.1H[  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 $|m'~AmI  
    P"f4`q  
    —填充因子                           2—后面的介质 .s-*aoj  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 {R8)DK  
    —光栅厚度 |'qvq/#^  
    !xvAy3  
    ~yiw{:\  
    YHzP/&0  
    )|wC 1J!L  
    fUq:`#Q  
    设置层数和转折点 1+ 9!W  
    21[=xboU  
    8_/,`}9   
    2       设置层数和转折点以确定膜层 |.;*,bb|3  
    xSrjN  
    RA1K$D ?A  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 c2Wp 8l  
    "7J38Ej\  
    -% \LW1  
    实现可编程光栅 d <RJH  
    x %W%  
    aGNb  Cm  
    5Nl?Km~  
    J,:Wv`N:9~  
    |j=Pj)5J  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) [ji')PCAi;  
    K-[;w$np0  
    dkg| kw'  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) @%jY  
    >i"WKd=  
    I]a [Ngj  
    ;FJFr*PM  
    {q! :t0X.Y  
       tyFsnc k  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Irui{%T  
    .uSVZqJ7  
    _Kbj?j  
    2       双击Data Series Diagram sQ.t3a3m  
    w=FU:q/  
    采样结果 hP}-yW6]  
    ~r_2V$sC2  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    ;3XOk+  
    3wg1wl|  
    QQ:2987619807
     
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