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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 F-GH?sfvi a6 w'.]m 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） HrHtA] 7-d. eNQl 所需工具：Grating Toolbox Basic ))E| SAr tfVlIY< 相关Tutorials：G.001; G.014 oq2-)F2/ 建模任务 Dmr3r[ YA~ `R~9d 理想平面波照射 1:Wl/9mL d?N[bA
D(#6H~QN%  ?7TuE!!M !%/(a)B$^$ h=d FSK?*D 镀膜倾斜光栅 $j/#IzD1D 目标平面 -Awk P -?vVV@W-O^ 周期：10um * &~
' 厚度：10um X08[,P#I 倾斜角度：20度 .GIygU_ -V=,x3Zew 光栅的参数 o>A']+`E u vPD%5 AJN —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 p I(
H7 ( [midNC +, —填充因子 2—后面的介质 -lb%X 3` —膜层厚度 3—膜层材料 U+:Mu]97 —光栅厚度 Z5,"KhB] yQ| V7 G x$.0 :jP/s  .7> g8
G!7A]s>C 7E;`1lh7 设置层数和转折点 |l:,EA_v| V lS`m,:{ 'SKq<X%R;  2 设置层数和转折点以确定膜层 !&pk^VFl+ `_(N(dm %!]CP1S 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 >w#&fd lKV7IoJ& ; o_cAelI[! 实现可编程光栅 B
!Z~ j T AA[?a
p+16*f9,^  CmdPa !4)
JY$+<`XM j<}y( ~ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ORFi0gFbA  n_4BNOZ~ NGkWr 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） -+kTw06_C 1HUe8m[#3 W/ u_<\ ;TboS-Y  6<No_x |_ Za7!n{? 0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ?6 "B4%7b  J/\^3rCB D{M& >. 2 双击Data Series Diagram Wo6C0Z3g} Zz! yv(e)H 采样结果 #-kx$(''V  ai;- _M+$
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. _m3#g1m { q5~"8]Dls
QQ：2987619807
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