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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ,}n=Z  
    A%P 8c  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 8V,"Id][  
    "2%y~jrDN  
    所需工具：Grating Toolbox Basic R !Fx)xj  
    ZRX^^yN  
    相关Tutorials：G.001; G.014 87+.pM|t%  
    建模任务 pmoGudaRF  
    T\)dt?Tv#\  
    理想平面波照射 nrI"k2oA@  
    cl@kRX<7'  
    F9F" F  
    SQKi2\8w  
    Ko4)0&  
    vNPfUEnA  
    镀膜倾斜光栅 Z(l9>A7!  
    目标平面 H]VsOr  
    8?A@/  
    周期：10um i[o&z$JO  
    厚度：10um SgyqmYTvZw  
    倾斜角度：20度 ;tXB46  
    qwL 0~I  
    光栅的参数 -hQ96S8  
    (6e!09P&  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 0W;q!H[G  
    $,}Qf0(S  
    —填充因子                           2—后面的介质 K3a>^g  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 !}z%#$  
    —光栅厚度 A J<iM)l|  
    .L~fFns/  
    0@o;|N"i  
    UENYJ*tnP  
     !1D%-=dWX  
    yBr$ 0$  
    设置层数和转折点 GTT5<diw  
    xWd9%,mDNR  
    (r.$%[,.<  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 jB*9 !xrd,  
    bMSD/L  
    9vB9k@9  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 cZPbD;e:  
    l :f9Ih  
    hVQ7'@  
    实现可编程光栅 rd|@*^k  
    (3)C_Z  
    THrc H  
    ; :v]NZtc  
     jXc5fXO N  
    _Cu[s?,kS  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） e}{8a9J<%_  
    V`WI"HO+  
    pP?<[ql[w  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Yt\E/*%  
    {Bav$kw;?e  
    8Uj68Jl?  
    E#yCcC!wMY  
    $K=K?BV[  
       TKj/6Jz|  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 7AZ5%o  
    k@'?"CP\Xq  
     9'L1KQ  
    2       双击Data Series Diagram ;`X`c  
    *Y| lO  
    采样结果 jUV#HT  
    N[|by}@n  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     5#9`ROT9  
    &-EyM*:u!  
    QQ：2987619807
     
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