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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 ^9fY%98 $~5ax8u&!# 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) L| K8 Zb}U 4 所需工具:Grating Toolbox Basic !THa?U; ~
NZC0& 相关Tutorials:G.001; G.014 :^H2D=z@ 建模任务 Jy?; < My<.^~ 理想平面波照射 1 3K|=6si n5>OZ3 E@ 6%L#FSI _{&bmE o'J^kd` :e rfs}I 镀膜倾斜光栅 @|'$k{i 目标平面 hAU@}"=G #sM`>KG6T1 周期:10um x|`BF%e/v 厚度:10um nAaY5s0D 倾斜角度:20度 =M9;`EmC R1vuf*A5, 光栅的参数 H[2W(q6 .OcI.1H [ —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 $|m'~AmI P"f4`q
—填充因子 2—后面的介质 .s-*aoj —膜层厚度 3—膜层材料 {R8)DK
—光栅厚度 |'qvq/#^ !xvAy3 ~yiw{:\ YHzP/&0 )|wC 1J!L fUq:`#Q 设置层数和转折点 1+9!W 21[=xboU 8_/,`}9
2 设置层数和转折点以确定膜层 |.;*,bb|3 xSrjN RA1K$D ?A 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 c2Wp 8l "7J38Ej\ -% \LW1 实现可编程光栅 d<RJH x%W% aGNbCm 5Nl?Km~ J,:Wv`N:9~ |j=Pj)5J 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) [ji')PCAi; K-[;w$np0 dkg|
kw' 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) @%jY >i"WKd= I]a [Ngj ;FJFr*PM {q! :t0X.Y tyFsnck 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) Irui{%T .uSVZqJ7 _Kbj?j 2 双击Data Series Diagram sQ.t3a3m w=FU:q/ 采样结果 hP}-yW6] ~r_2V$sC2 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ;3XOk+ 3wg1wl| QQ:2987619807
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