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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ~?4 BP%g-y  
    .Y|wG<E  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） S"VO@)d  
    Q #X'.](1  
    所需工具：Grating Toolbox Basic 8(Q|[  
    No8-Hm  
    相关Tutorials：G.001; G.014 TCFr-*x  
    建模任务 '6kD6o_p1  
     ZC%;5O`  
    理想平面波照射 QE8 `nMf  
    ny%$BQM=  
    it-]-=mqb  
    V.9p4k`  
    K_AdMXF9  
    -%0pYB  
    镀膜倾斜光栅 YV _ 7 .+A  
    目标平面 gKY6S?  
    bsm/y+R  
    周期：10um qqJghV$Oj  
    厚度：10um _R(9O?;q  
    倾斜角度：20度 Q_Br{ `c  
    `rXb:P7m{j  
    光栅的参数 Zb&pH~ 7  
    ,N _/J4Us  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 W':b6}?  
    qDTdYf  
    —填充因子                           2—后面的介质 vsyg u  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 uts>4r>+  
    —光栅厚度 JQ;.+5 N<K  
    Yg?BcY\  
    Yo1]HG(kXB  
    {/(.Bpld  
     C0K: ffv;<  
     H2oxD$s  
    设置层数和转折点 *Ojl@N  
    Q)y5'u qZ  
    Zwz co  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 +I-BqA9  
    Ozhn`9L+1!  
    :\I*_00!  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 B;F ~6i  
    2y \ogF  
    |AacV  
    实现可编程光栅 p!~1~q6  
    ' tHa5`  
    j>e RV ol  
    dC8}Ttc}  
     /D1Lh_,2  
    1<fW .Q)  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） dA (n,@{  
    O@ H.k<zn  
    c{dabzL y  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） \EU^`o+  
    x@QNMK.7  
    _G-y{D_S&  
    #Q)r6V:  
    ~ +>e hU  
       \K~wsu/?`  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） UPP"-`t  
    Q xA( *1  
    (hdu+^Qj=  
    2       双击Data Series Diagram JBLUX,  
    yNEU/>]>2  
    采样结果 gC7Po  
    P$0c{B4I  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     79c M _O  
    g`Cv[Pq?at  
    QQ：2987619807
     
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