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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 {.D^2mj |  
    &gP/<!#  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run Xscm>.di  
    3U_-sMOB|  
    所需工具:Grating Toolbox Basic xg|\\i  
    k3pY3TA@w+  
    相关TutorialsG.001; G.014 ut<0-  
    建模任务 jHU5>Gt-}  
    N=JZtf/i  
    理想平面波照射 [SJ)4e|)  
    E`"<t:RzF  
    CTNeh%K;  
    6> fQe8Y  
    H}nPaw]G  
    xw>\6VNt  
    镀膜倾斜光栅 @hb K  
    目标平面 8zOoVO  
    ||}k99y +  
    周期:10um rt _k }  
    厚度:10um _ $ Wj1h  
    倾斜角度20 $ykujyngS4  
    V5.=08L  
    光栅的参数 -$x5[6bN  
    &| d6  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 <\9M+  
    bm</qF'T6  
    —填充因子                           2—后面的介质 qwERy{]Sp;  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 <$V!y dO  
    —光栅厚度 @`IMR$'  
    cnm*&1EzV  
    kn^? .^dVX  
    ~!PaBS3A  
    *(?tf{  
    ]1^F  
    设置层数和转折点 (]Pr[xB  
    snH9@!cG8  
    0bcbH9) 1q  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 `veq/!  
    DJ!<:9FD  
    }Qqi013E L  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 zFFip/z\  
    ~+HZQv3Y  
    ~vL`[JiK  
    实现可编程光栅 Z ZMz0^V  
    GY3g`M   
    )J"*[[e  
    =Qf.  
    .*x |TPv{  
    d4r@Gx%BE  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) m|c5X)}-  
    l)d(N7HME  
    ,lUroO^^  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) egd%,`  
    QrX 5Kwq  
    G|LJOq7QB  
    pAm L  
    j@98UZ{g\  
       Xh[02iL-  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ($vaj;  
    >X$I:M<L  
    .Jvy0B} B  
    2       双击Data Series Diagram c[6=&  
    Pi!3wy  
    采样结果 rmq^P;At  
    03$lgDQ  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    "(QI7:iM  
    _ft)e3Gf  
    QQ:2987619807
     
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