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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 WXP=U^5Si  
    ] dB6--  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） D2x-Wa  
    7r#U^d(  
    所需工具：Grating Toolbox Basic f]H[uzsV  
    I, 9!["^|  
    相关Tutorials：G.001; G.014 8"R; axeD  
    建模任务 e_6VPVa  
    ,a&N1G.  
    理想平面波照射 zSMN k AM  
    !P7&{I,e  
    ur^)bp<n  
    RYzDF+/  
    e,/b&j*4th  
    `MFw2nu@t  
    镀膜倾斜光栅 [r%WVf.#d  
    目标平面 :lQl;Q -e  
    D. !m*oq  
    周期：10um iK{ a9pt  
    厚度：10um a]^hcKo4  
    倾斜角度：20度 C=L_@{^Rgb  
    :X-Z|Pv8  
    光栅的参数 |FS,Av  
    r jfcZ@  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 FWqnlK#  
    7r,'a{Rcn  
    —填充因子                           2—后面的介质 ~`M>&E@Y_/  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 46c7f*1l  
    —光栅厚度 B,?Fjot#m  
    dOPA0Ja  
    %''z~LzJ8  
    p?S:J`q  
     j&n][=PL  
    <I .p{Z  
    设置层数和转折点 2*:lFv wP  
    $!P(Q  
    b6%T[B B  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 5zXw0_  
    .),%S}  
    \,jrug<C$^  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 5qo^SiB.  
    5m2(7FC%su  
    xo#&&/6  
    实现可编程光栅 6FPGQ0q  
    UBoN}iR  
    9An_zrJ%i  
    %Hdg,NH  
     (3z: ;  
    MK"PCE5^i6  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Qp8. D4^@3  
    {6Tw+/`P  
    P7r?rbO"  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） seWYY $$  
    q]Gym 7o  
    Iw(2D(se  
    h*2Q0GRX  
     e;8>/G  
       Sqj'2<~W  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .&d]7@!qy  
    %jEdgD%xV  
    S%n5,vwE  
    2       双击Data Series Diagram 0JTDJZOz@#  
    }Y\Ayl  
    采样结果 t6p}LNm(V  
    AkdONKO8{  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     sOA!Sl  
    V#jFjObTN  
    QQ：2987619807
     
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