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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ~1W x =  
    q gL aa  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） TiO"xMX  
    r0,:J   
    所需工具：Grating Toolbox Basic pJt,9e6  
    w6{TE(]zp  
    相关Tutorials：G.001; G.014 &' Ne! o8  
    建模任务 -wSg2'b4E  
    /iJ4{p   
    理想平面波照射 37|&?||  
    V9dF1Hj  
    }DK7'K  
    -1U D0(  
    .[3Z1v,  
    2gq9k}38  
    镀膜倾斜光栅 Zy(W^~NT  
    目标平面 lJis~JLd`  
    ZGYr$C~  
    周期：10um EodQ*{l  
    厚度：10um 2L} SJUk*  
    倾斜角度：20度 1][S#H/?  
    [`rba'  
    光栅的参数  .5y+fL  
    zBk'{[y9L  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 h?8]C#6^  
    aM:nOt" S1  
    —填充因子                           2—后面的介质 t`,` 6@d  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 (KF=On;=Y  
    —光栅厚度 W^] 3XJP  
    j"'(sW-  
    Ksy -e{n  
    UmclTGn  
     4*cU<  
    @vrV*!  
    设置层数和转折点 8W#heW\-]  
    jhg;%+KB  
    e[ /dv)J  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 L"j tf78  
    UM6(s@$  
    iMP]W _  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Y~(Md@!0S  
    FWHNj.r  
    vbD{N3p)?n  
    实现可编程光栅 o)2W`i&  
    2g>SHS@1>  
    Oms. e  
    o17ekML  
     -cSP _1  
    j(k: @  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） p-/|mL  
    CCWg{*og  
    *?Kr*]dnLl  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） :E@3Vl#U  
    y1bbILWej  
    ],J EBt  
    |Clut~G  
    9J>&29@us0  
       =<X?sj5  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） eQD)$d_5  
    isZAoYVu  
    846$x$G4  
    2       双击Data Series Diagram ulkJR-""&  
    (v}>tb*#`  
    采样结果 Q'YH>oGh^  
    d)R:9M}v  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     %JHGiCv|  
    Wr3mQU  
    QQ：2987619807
     
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