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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 {.D^2mj| &gP/<!# 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) Xscm>.di 3U_-sMOB| 所需工具:Grating Toolbox Basic xg|\\i k3pY3TA@w+ 相关Tutorials:G.001; G.014 ut<0- 建模任务 jHU5>Gt-} N=JZtf/i 理想平面波照射 [SJ)4e|) E`"<t:RzF CTNeh%K; 6>fQe8Y H}nPaw]G xw>\6VNt 镀膜倾斜光栅
@hb K 目标平面 8zOoVO ||}k99y + 周期:10um rt_k } 厚度:10um _$Wj1h 倾斜角度:20度 $ykujyngS4 V5.=08L 光栅的参数 -$x5[6bN &|d6 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 <\9M+ bm</qF'T6 —填充因子 2—后面的介质 qwERy{]Sp; —膜层厚度 3—膜层材料 <$V!y
dO —光栅厚度 @`IMR$' cnm*&1EzV kn^?.^dVX ~!PaBS3A *(?tf{ ]1^F 设置层数和转折点 (]Pr[xB snH9@!cG8 0bcbH9) 1q 2 设置层数和转折点以确定膜层 `veq/! DJ!<:9FD }Qqi013E L 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 zFFip/z\ ~+HZQv3Y ~vL`[JiK 实现可编程光栅 Z
ZMz0^V GY3g`M
)J"*[[e =Qf. .*x |TPv{ d4 r@Gx%BE 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) m|c5X)}- l)d(N7HME ,lUroO^^ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) egd%,` QrX 5Kwq G|LJOq7QB pAm
L j@98UZ{g\ Xh[02iL- 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ($vaj; >X$I:M<L .Jvy0B} B 2 双击Data Series Diagram c[6=& Pi!3wy 采样结果 rmq^P;At 03$lg DQ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. "(QI7:iM _ft)e3Gf QQ:2987619807
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