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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 Qv%"iSe~J E-\<,=bh 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) $EB&]t+ 4X@
<PX5 所需工具:Grating Toolbox Basic R`wL%I!?f ]Fc<%wzp 相关Tutorials:G.001; G.014 d_j%
,1-# 建模任务 X4:\Shb97 swBgV,; 理想平面波照射 Gyak?.@R cu4&*{ w~NQAHAvo H+`s#'(i_P QQso<.d& P,x'1`k~ 镀膜倾斜光栅 2FxrMCC 目标平面 <6]TazW?S hpD\, 周期:10um |D %m>M6 厚度:10um p`jkyi 倾斜角度:20度 "F(LTppy W)dQyZ>J 光栅的参数 |0A"3w s4@dEK8W —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 8,Jjv* =l_B58wrx —填充因子 2—后面的介质 .{` : —膜层厚度 3—膜层材料 >~-8RM —光栅厚度 2NHkK_B1P Fb&Xy{kt1 u%J04vG"D v=A]#O% @ 5!Mr5; G x;U 3iV 设置层数和转折点 g\CRx^s t6GL/M4 &_-,Nxsf 2 设置层数和转折点以确定膜层 <9JI@\> *9#6N2J$M Lo^0VD!O 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 Yv?nw-HM <l/QS3M v71j1Q}6 实现可编程光栅 :+%"kgJNL <j}n/G] S]E1+,-* Arg604V3 v~f_~v5J! M#BM`2!s 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) :6k8\{^9"D
UF3g]>* 00Tm]mMQX 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) fqoI(/RWP C`s \LYB% K} 3uSj5+@q6 v6Vie o= oy8L{8? 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) ({XB,Rm VRuY8<E T bMW?Su 2 双击Data Series Diagram ,$"*X-1 tPv3nh 采样结果 ObK-<kGcB }V20~ hi 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. [BPK0 }I3 ZNd QQ:2987619807
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