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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 j[>cv;h ;  
    YR%iZ"`*+O  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ,,H"?VO  
    oQ!M+sRmF  
    所需工具：Grating Toolbox Basic }9~^}99}  
    IhnBp 6p9  
    相关Tutorials：G.001; G.014 z/@_?01T=  
    建模任务 79\ wjR!T  
    Z_d"<k}I  
    理想平面波照射 (eHyas %X  
    z _!ut  
    ARk(\,h  
    $ghZ<Y2}9  
    Y G+|r  
    f6Qr0Op  
    镀膜倾斜光栅 !`DRJ)h  
    目标平面 ys[Li.s:  
    -dntV=  
    周期：10um ZnG.::&:  
    厚度：10um 6Rc=!_v^  
    倾斜角度：20度 l$42MRi/  
    9U8M|W|d  
    光栅的参数 %y1!'R:ZW  
    d*(aue=  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 hHs/Qtq  
    -yqsJGY  
    —填充因子                           2—后面的介质 7T~ M`$h  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 f :c'j`  
    —光栅厚度 F:{*4b  
    \2SbW7"/;P  
    ;b~ S/   
    g: i5%1  
     >lI7]hbIs  
    U|^xr~q!f-  
    设置层数和转折点 OM*_%UF  
    #c"eff  
    mU'<:gL+  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 lqzt[zgN  
    lu8G $EQI  
    u9lZHh#V-  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 sD|l}f  
    0|3I^b  
    $ Y/9SD  
    实现可编程光栅 q z)2a2C  
    | ,8z" g  
    tvkdNMyX%9  
    .`or^`X3  
     d2\ !tJm  
    *~rj!N?;  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ;>6< u.N  
    NOb`)qb  
    J<) qw  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 53Adic  
    B2`S0 H  
    c`6c)11K  
    nt.LiM/L  
    8K%N7RL|  
       /l$x}  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） xtV+Le%  
    FX:`7c]:9  
    w.qtSW6M+  
    2       双击Data Series Diagram )"?4d[ 5  
    X/_I2X  
    采样结果 XS<>0YM  
    86&M Zdv6  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     ~!S3J2kG{  
    ggso9ZlLu+  
    QQ：2987619807
     
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