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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 |Ze}bM=N  
    f4_G[?9,  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run E;H(jVZ  
    |plo65  
    所需工具:Grating Toolbox Basic uLljM{ I  
    5qEdN  
    相关TutorialsG.001; G.014 ooSd6;'  
    建模任务 x?'%  
    2*YXm>|1  
    理想平面波照射 Qu_T&  
    MlE~ gCD  
    x^2/jUc#B  
    v6\2m c.  
    G\ZRNb  
    q:EQ,  
    镀膜倾斜光栅 U(4_X[qD  
    目标平面 S(h*\we  
    oZ:F3 GQ4Q  
    周期:10um 0 _}89:-  
    厚度:10um pw yl,A  
    倾斜角度20 *8H;KGe=  
    _PXo'*j  
    光栅的参数 EsB'nf r  
    d<? :Q  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 -yGm^EwP  
    _Pi:TxY   
    —填充因子                           2—后面的介质 d}cJ5 !d  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 no6]{qn=6  
    —光栅厚度 M~F2cX W  
    &"%|`gE  
    <# r.}T.l  
    <" l;l~Y1  
    Yj/nzTVJ[  
    72vGfT2HtZ  
    设置层数和转折点 1|w:xG^  
    'OW"*b  
    8z8SwWS?  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 k]9>V@C  
    @M^Qh Hs  
    !>Y\&zA  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 -f|^}j?  
    S{7ik,Gdg  
    Nw& }qSN  
    实现可编程光栅 8A u<\~p  
    6Ok=q:;  
    "d>g)rvOc  
    g] C3 lf-  
    /1#Q=T  
    ||ZufFO  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) OrJlHMz  
    lT!$\E$1   
    FK >8kC  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) )u/ ^aK53^  
    R6Z}/m  
    L{%a4 Ip  
    ,W8Iabi^  
    MGKeD+=5  
       seU^IC<  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) k+r9h'd   
    [d~bZS|(T(  
    9Y@?xn.\  
    2       双击Data Series Diagram z/&a\`DsU  
    "mK i$FV  
    采样结果 [67E5rk-  
    pW--^aHu  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    O0(Q0Ko  
    !"x7re  
    QQ:2987619807
     
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