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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 lyc{Z%!3  
    QK/+*hr;  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 8;dbU*  
    \Q BpgMi(  
    所需工具：Grating Toolbox Basic "Y J;-$rb  
    !n?*vN=S  
    相关Tutorials：G.001; G.014 5 <>agK]  
    建模任务 $9u  
    PX>\j&  
    理想平面波照射 0jx~_zq-j  
    OrqJo!FEg{  
    8f`b=r(a>  
    vd X~E97  
    1*Fvx-U'  
    8=_| qy}l/  
    镀膜倾斜光栅 kl<B*:RqH  
    目标平面 Bjrv;)XH  
    JnKbd~  
    周期：10um }R] }@i~i  
    厚度：10um ~k< 31 ez  
    倾斜角度：20度 9tW.}5V  
     B*~Bm.  
    光栅的参数 IgnY* 2FT  
    ^T J   
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 Q)i`.mHfFI  
    @%B!$\]  
    —填充因子                           2—后面的介质 2\8\D^   
    —膜层厚度                           3—膜层材料 jm!C^5!  
    —光栅厚度 'f<_SKd  
    NGeeD?2~  
    *Zo o  
    #YMp,i  
     H_r'q9@<>  
    .2-JV0  
    设置层数和转折点 ^+l\YB7pD  
    Pj5#G0i%  
    -{sv3|P>  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 FH5bC6  
    \36;csu  
    [";5s&)q  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 '|R@k_nx  
    D{d$L9.  
    ~oR&0et  
    实现可编程光栅 wg~`Md  
    0\<-R  
    J^a"1|  
    lTd2~_  
     g#2X'%&+  
    h*LL(ow5  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） HPH{{p  
    MOeLphY  
    m8A_P:MQq  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~"YNG?Rre  
    NS~knR\&  
    ,5"]K'Vce  
    d*(\'6?  
    n\p\*wb  
       QYb?;Z  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） T/6=A$4 #  
    D;n%sRq(Z  
    #E@i@'T  
    2       双击Data Series Diagram <vuX " 8  
    nEEGO~e  
    采样结果 V-r<v1}M  
    meD (ja  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     YU,:3{9,  
    TAoR6aE  
    QQ：2987619807
     
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