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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 |Ze}bM=N f4_G[?9, 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) E;H(jVZ |plo65 所需工具:Grating Toolbox Basic uLljM{I 5qEdN 相关Tutorials:G.001; G.014 ooSd6;' 建模任务 x?'% 2*YXm>|1 理想平面波照射 Qu _T& MlE~gCD x^2/jUc#B v6\2mc.
G\ZRNb q:EQ, 镀膜倾斜光栅 U(4_X[qD 目标平面 S(h*\we oZ:F3 GQ4Q 周期:10um 0 _}89:- 厚度:10um pw yl,A 倾斜角度:20度 *8H;KGe= _PXo'*j 光栅的参数 EsB'nf r d<? :Q —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 -yGm^EwP _Pi:TxY —填充因子 2—后面的介质 d}cJ5!d —膜层厚度 3—膜层材料 no6]{qn=6 —光栅厚度 M~F2cXW &"%|`gE <#
r.}T.l <" l;l~Y1 Yj/nzTVJ[ 72vGfT2HtZ 设置层数和转折点 1|w:xG^ 'OW"*b 8z8SwWS? 2 设置层数和转折点以确定膜层 k]9> V@C @M^QhHs !>Y\&zA 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 -f|^}j? S{7ik,Gdg Nw&}qSN 实现可编程光栅 8A u<\~p 6 Ok=q:; "d>g)rvOc g]
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||ZufFO 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) OrJlHMz lT!$\E$1
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^aK53^ R6Z}/ m L{%a4Ip ,W8Iabi^ MGKeD+=5 seU^IC< 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) k+r9h'd [d~bZS|(T( 9Y@?xn.\ 2 双击Data Series Diagram z/&a\`DsU "mK i$FV 采样结果 [67E5rk- pW--^aHu 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. O0(Q0Ko !"x7re QQ:2987619807
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