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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 K'2N:.D:  
    ,Gy,bcv{  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run !.%*Tp#k#  
    Zz (qc5o,F  
    所需工具:Grating Toolbox Basic >/Z*\6|Zx#  
    M &-p  
    相关TutorialsG.001; G.014 *DcIC]ao[  
    建模任务 c611&  
    2FdwX ,O.  
    理想平面波照射 4 dHGU^#WZ  
    wx-&(f   
    el<Gd.p.d  
    g_ep 5#\D  
    N6kMl  
    Z*P/ubV'  
    镀膜倾斜光栅 {R(/Usg!=  
    目标平面 [qxpu{  
    f-^*p  
    周期:10um "r;cH53  
    厚度:10um %;]/Z%!  
    倾斜角度20 D]d! lMK/  
    ^{J^oZ'%~  
    光栅的参数 E\Wd*,/v)  
    vR#MUKfh  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 A"DGn  
    rp @%0/[  
    —填充因子                           2—后面的介质 5Th\wTh04  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 BGfwgI.m  
    —光栅厚度 qDg`4yX.}  
    .rg "(I  
    +R$;LtR  
    ^4JK4+!Zfq  
    rx]Q,;"  
    )y!gApNs"  
    设置层数和转折点 [$$R>ELYQ  
    MS2/<LD3d  
    6V9r[,n  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 kyJKai  
    CXu$0DQ(  
    3>5gh8!-  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 y]i} j,e0L  
    %26HB w=JF  
    k,OxGG  
    实现可编程光栅 u6E ze4u  
    ~6u|@pnI  
    }>f%8O}  
    x`p908S^  
    |J-tU)|1vl  
    =JTwH>fD  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) )g&nI <Mh  
    [$>@f{:  
    Pr1OQbg]8  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) *c.w:DkfB  
    LEg|R+ 6E  
    #RdcSrw)W!  
    , P1m#  
    _=[pW2p  
       >Ir?)h  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 2nFr?Y3g,  
    e=tM=i"  
    &"1_n]JO  
    2       双击Data Series Diagram X)TZ  S  
    fA V.Mj-  
    采样结果 +Z9ua%,3%  
    ,ueA'GZ  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    ]]u_Mdk  
    ,F'y:px  
    QQ:2987619807
     
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