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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 /!_FE+ tI 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） o {' J O3 9&HaEAme 所需工具：Grating Toolbox Basic #<@_mbQ@|K +f}w+ 相关Tutorials：G.001; G.014 np\*r|U 建模任务 k!T-X2L= mqB X1D`e2 理想平面波照射 A9WOu*G1O @7t*X-P.;- qP+%ui5xR  bo??9 1B^7 Bnz}:te} P
V9q= 镀膜倾斜光栅 KkJE-k*D+w 目标平面 @7sHFwtar? ,!^g8zO 周期：10um >J,I xRGi 厚度：10um j'XND`3 倾斜角度：20度 F)50 6 CHdYY7\{ 光栅的参数 #UnGU,J :2lM7|@/ —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 M2A3]wd2a >` n)-8 —填充因子 2—后面的介质 'h> l_A —膜层厚度 3—膜层材料 yn2k!2]&T< —光栅厚度 pW&8 =Ew OYOczb] ;?gR ,AKZ  ZV!*ZpTe~
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d2to5 ( CelM~W$=u 设置层数和转折点 =]L#v2@ ]Gl5Qf:+z [5]*
Be  2 设置层数和转折点以确定膜层 x&gS.b* nB |fw" I^QB`%v5 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 a b5i7@Ed kCKCJ }N I -XkxDw 实现可编程光栅 } d7o- U6M&7 l8 ]r1 Lr{7^S  >kV=h ?]Y
i bgF,N SU4~x0 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ZQ~EaI9R  k= 9a/M
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可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. 4Bq4d.0 OSCe TkR
QQ：2987619807
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