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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 _t7A'`Dh]  
    #=c%:{O{4R  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） rA7S1)Kq  
    Ib C)F> Dq  
    所需工具：Grating Toolbox Basic 6C=.8eP  
    2oRmro  
    相关Tutorials：G.001; G.014 V"z0]DP5~  
    建模任务 }#@LZ)]hK  
    U/;Vge8{  
    理想平面波照射 0!T $Ef   
    #';r 0?|  
    /nNHI34  
    =>Efrma  
    5Dd;?T>  
    j yE+?4w;  
    镀膜倾斜光栅 +VDB\n   
    目标平面 |gNOv;l  
    'DPSM?]fA  
    周期：10um Yi3DoaS;"  
    厚度：10um (uE_mEIsv  
    倾斜角度：20度 i@6 kI C  
    !!AutkEg>  
    光栅的参数 =:lacK(0  
    9 (Z)c  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 bk|>a=o3  
    G9]GK+@&F  
    —填充因子                           2—后面的介质 u<[Y6m  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 *@< jJP4  
    —光栅厚度 g~]FI  
    6mZFsB  
    y_w4ei  
    %NuS!v>  
     %q@@0qenv  
    I#0$5a},u^  
    设置层数和转折点 1]"b.[P>  
    :?zOLw?(  
    3j6$!89'  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 4IVCTz[  
    awUIYAgJ3  
    K=;p^dE  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Q'Q^K  
    8"? t6Z;5  
    $8b/"Qm  
    实现可编程光栅 Gg/K  
    :)&_  
    V\A?1   
    H}d&>!\}F  
     Gk<h_1WWK  
    ?>e-6*.  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） h_J 'dJS  
    ibh!8"[  
    t6j|q nfw  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） yB&s2J  
    V7.EDE2A3  
    Y.ic=<0H  
    A@GyKx%x$  
    mN, Od?q[  
       f>dWl$/_s  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~G"5!,J  
    3(X"IoNQ  
    XvWUJ6M  
    2       双击Data Series Diagram iCx}v[;Ol  
    ^+I{*0{/[  
    采样结果 C"K(-/  
    +as(m  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     4~DoqT  
    YajUdpJi  
    QQ：2987619807
     
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