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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 K'2N:.D: ,Gy,bcv{ 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) !.%*Tp#k# Zz (qc5o,F 所需工具:Grating Toolbox Basic >/Z*\6|Zx# M
&-p 相关Tutorials:G.001; G.014 *DcIC]ao[ 建模任务 c61 1& 2FdwX,O. 理想平面波照射 4 dHGU^#WZ wx-&(f el<Gd.p.d g_ep
5#\D N6kMl Z*P/ ubV' 镀膜倾斜光栅 {R(/Usg!= 目标平面 [qxpu{ f-^*p 周期:10um "r;cH5 3 厚度:10um %;]/Z%! 倾斜角度:20度 D]d! lMK/ ^{J^oZ'%~ 光栅的参数 E\Wd*,/v) vR#MUKfh —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 A"DGn rp
@%0/[ —填充因子 2—后面的介质 5Th\wTh04 —膜层厚度 3—膜层材料 BGfwgI.m —光栅厚度 qDg`4yX.} .rg "(I +R$;LtR ^4JK4+!Zfq rx]Q,;" )y!gApNs" 设置层数和转折点 [$$R>ELYQ MS2/<LD3d 6V9r[,n 2 设置层数和转折点以确定膜层 kyJKai CXu$0DQ( 3>5gh8!- 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 y]i}j,e0L %26HB
w=JF k,OxGG 实现可编程光栅 u6E
ze4u ~6u|@pnI }>f%8O} x`p908S^ |J-tU)|1vl =JTwH>fD 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) )g&nI<Mh [$>@f{: Pr1OQbg]8 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) *c.w:DkfB LEg|R+6E #RdcSrw)W! ,
P1m# _=[pW2p >Ir?)h 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 2nFr?Y3g, e=tM=i" &"1 _n]JO 2 双击Data Series Diagram X)TZ S fA V.Mj- 采样结果 +Z9ua%,3% ,ueA'GZ 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. ]]u_Mdk ,F'y :px QQ:2987619807
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