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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 /sr2mt-Q  
    >@ YtDl8R  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 52. >+GC  
    R-Z~V  
    所需工具：Grating Toolbox Basic P i Fm|  
    R|f~>JUF  
    相关Tutorials：G.001; G.014 `'\t$nU  
    建模任务 .e'eE  
    r1<F  
    理想平面波照射 gJ;_$`  
    K9vIm4::d$  
    Qj3a_p$)P  
    xl"HotsX-x  
    D;I6Q1I  
    cgb2K$B_"  
    镀膜倾斜光栅 5OO'v07b  
    目标平面 T \CCF  
    +4\U)Z/\  
    周期：10um RZe'Kw -  
    厚度：10um G[8in   
    倾斜角度：20度 >6oOZbUY0  
    p-%|P ]&  
    光栅的参数 t6BHGX{o  
    <" @zn  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 oG7q_4+&  
    kNT}dv]<  
    —填充因子                           2—后面的介质 Kf 2jD4z}  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 /t6X(*xoy  
    —光栅厚度 n!6Z]\8~$  
    Z4){ 7|~a  
    [>^PRs  
    DAg58 =qJ  
     MG /,==  
    BS q)RV/3  
    设置层数和转折点 +fx8muz:y  
    ( Y+N@d  
    |v[Rp=?]  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 : L_BG)dM  
    p#SY /KIw  
    D0mI09=GtQ  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 -dv %H{  
    ;f,c't@w  
    _5MNMV LwW  
    实现可编程光栅 #{9G sD  
    "lNzGi-H  
    DMF -Y-h  
     KluA  
     SEl#FWR  
    \@}#Gez  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） /U6% %%-D`  
    ]APvp.Tw:  
    cL8#S>>u.  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） okq[ o90  
    FuX 8v  
    -Q;#sJ?  
    CzV(cSS9-  
    [!^-J}^g~\  
       >)_ojDO  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） CK_(b"  
    eQO#Qso]  
    #'OaKt?Z)  
    2       双击Data Series Diagram +pH@oFNK  
    M}0eu(_|  
    采样结果 >x3ug]Bu  
    VGw(6`|!  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     h{ lDxOH*  
    WxbsD S;  
    QQ：2987619807
     
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