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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 `'\t$nU  
    6Z`R#d #I  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） }U SC1J  
    ]c&<zeX,  
    所需工具：Grating Toolbox Basic =l.+,|ZH!  
    <BO)E(  
    相关Tutorials：G.001; G.014 /'Pd`Nxl.  
    建模任务 (ZL sB{r^  
    gORJWQv  
    理想平面波照射 8scc%t7  
    'kYwz;gp  
    =C L} $_  
    CiR%Ujf  
    h?-#9<A  
    A<\JQ  
    镀膜倾斜光栅 Hg9CZM ko  
    目标平面 JT9N!CGZ  
    tX!n sm1  
    周期：10um EwS!]h?  
    厚度：10um i5>+}$1  
    倾斜角度：20度 G60R9y47c  
    Iyd?|f"  
    光栅的参数 '+ xu#R  
    t8+_/BXv  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 Q#(GI2F2#  
    RNPbH.  
    —填充因子                           2—后面的介质 tTN?r 8  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 ^'p|!`:  
    —光栅厚度 +[J/Zw0{  
    vA)O {W\o  
    P/JK$nb  
    341?0 %=  
     8 4i_k  
    4d_s%n?C  
    设置层数和转折点 AH4EtZC=W  
    JbO ~n )%x  
    \v6 M:KR5/  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 (_r EAEo  
    '!P"xBVAu  
    &TG5rUUg  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 `VQb-V  
    9'x)M?{8  
    )2DQ>cm  
    实现可编程光栅 ri1C-TJM)  
    +,50q N:%[  
    CC;! <km  
    0t#g }  
     F?m?UQS'u  
    5efxEt>U  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ^). )  
    y<XlRTy[}  
    24Z]%+b*E  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） XJ!(F#zc  
    (-NHx o  
    +Z!;P Z6  
    * n(> ^  
    s7r9,8$  
       xt4)Ya  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） o5\b'hR*#  
    M,3wmW&d6  
    XYx 6V  
    2       双击Data Series Diagram M}DH5H"s  
    ha;l(U>  
    采样结果 6|J'>)  
    m}$+Hdk+7  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     6zIgQ4Bp24  
    1\dn 1Hh  
    QQ：2987619807
     
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