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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Pk)1WK7E  
    u\JNr}bL  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） K", N!koj  
    M\Kx'N  
    所需工具：Grating Toolbox Basic UW EV^ &"x  
    $* Kvc$D  
    相关Tutorials：G.001; G.014 <Q?F?.^e  
    建模任务 >[*qf9$  
    4+ Z]3oIRE  
    理想平面波照射 @f_+=}|dc  
    /&94 eC  
    6)Lk-D  
    "snw4if  
    b|W=pSTY  
    6!FQzFCZq  
    镀膜倾斜光栅 pyvSwD5t  
    目标平面 icK/],  
    A^<iL  
    周期：10um \)|hogI|f  
    厚度：10um P";'jVcR  
    倾斜角度：20度 U/NoP4~{  
    Ph> %7M%  
    光栅的参数 ^gnZ+`3  
    V~5jfcd  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 Q'0d~6n&{  
    ^J;bso`  
    —填充因子                           2—后面的介质 LFtt gY  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 7Jho}5J  
    —光栅厚度 D}X\Ca"h  
    Dm<A ^u8  
    /t"3!Z?BOv  
    'q:`? nJ^  
     y h9*z3  
    ?(i{y~  
    设置层数和转折点 FJP-y5  
    0:Ol7  
    )hfpwdQ  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 6,{$J  
    BR yl4  
    c\ lkD-\  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 ~M4;  
    ?<'}r7D   
     ZExlGC  
    实现可编程光栅 E=!\z%4  
    OpYY{f  
    9mTJ|sN:e  
    >V}#[/n  
     `RL"AH:+  
    WEi2=3dV  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） A2jUmK.&  
    *CI#+P  
    G*P#]eO  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ]3.;PWa:  
    '$%l7  
    wi6 ~}~%  
    DN57p!z  
    wcY? rE9  
       ?2Py_gkf  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 2a Q[zK  
    j\^CV?}sm'  
    UrEs4R1#  
    2       双击Data Series Diagram J{fH ['tzO  
    9m~p0ILh  
    采样结果 `&ckZiq  
    n8ZZ#}Nhg  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     1NA.nw.  
    vT,AMja  
    QQ：2987619807
     
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