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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 4n55{ ?Z  
    ?:@13wm  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run）  "R8:s  
    pq8XCOllXx  
    所需工具：Grating Toolbox Basic _5<d'fBd  
    *nb `DR  
    相关Tutorials：G.001; G.014 <(YE_<F*  
    建模任务 % zP ]z  
    OIi8x? .~]  
    理想平面波照射 ?`9XFE~a!  
    L{;Sc_  
    B4tC3r  
    h"~i&T h  
    MW^(  
    yT[CC>]l  
    镀膜倾斜光栅 9f UD68Nob  
    目标平面 G$#Q:]N  
    @bPR"j5D  
    周期：10um ;/ wl.'GA  
    厚度：10um %S$P<nKN5  
    倾斜角度：20度 *\#/4_yB}  
    TcW-pY<N  
    光栅的参数 0L->e(Vf7u  
    ;Fo%R$y  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 "LwLTPC2  
    i rjOGn  
    —填充因子                           2—后面的介质 U}#3 LFr.?  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 gMXs&`7P  
    —光栅厚度 &xhwx>C`K  
    4OX2GH=W  
    1omjP`]|,  
    -DVoO2|Dv  
     Lzr&Q(mL  
    e>F i  
    设置层数和转折点 &Hz{   
    9Hu;CKs  
    B#Q` !B4v  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 ;$a+ >  
    KjWF;VN*[3  
    fyt ODsb>  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 7Shau%2C  
    PpXzWWU":  
    K#"J8h;x  
    实现可编程光栅 1iA0+Ex(j  
    EF>vu+YK  
    i2+r#Hw#5R  
    D_SXxP[! g  
     ddTsR  
    _+sb~  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 34*73WxK  
    Sb4^* $uz  
    N_:H kI6  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .2Q4EbM2  
    t]3> X  
    v 9,<2  
    hQeGr 2gMq  
    g 2LY~  
       gg0rkg  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） uI9eUO  
    F_U9;*f]  
    Gye84C2E=  
    2       双击Data Series Diagram DX2_} |$!  
    >^=;b5I2K  
    采样结果 K N Y  
    qnu<"$   
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     vw'xmzgA  
    *5QN:  
    QQ：2987619807
     
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