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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Qjfgxy]  
    fwz:k]vk  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） M4C8K{}  
    U9:)qvMXe  
    所需工具：Grating Toolbox Basic y8~OkdlN#  
    M(I%y0  
    相关Tutorials：G.001; G.014 l)[|wPf  
    建模任务 }pMVl  
    Dds-;9  
    理想平面波照射 wN!\$i@E:  
    q~R8<G%YK  
    ?@G s7'  
    Z0L($  
    "@nH;Xlq  
    U.<j2K um  
    镀膜倾斜光栅 L\2"1%8Wj  
    目标平面 ZW [&7[4  
    =-si| 1Z  
    周期：10um MQ!4"E5"j  
    厚度：10um ^L2d%d\5  
    倾斜角度：20度 1nAm\/&  
    'v]0;~\mp>  
    光栅的参数 {6ZSf[Y6B  
    +\T8`iCFB  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 xQFY/Z  
    q%4X1 W  
    —填充因子                           2—后面的介质 jKml:)k  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 RTc@`m3 M  
    —光栅厚度 R2Tt6  
    0/)2RmF  
    q2EDrZ  
    H@uu;:l<7A  
     sG u.G  
    %P0  
    设置层数和转折点 3lp'U&3`5  
    ~!Nj DDk  
    (.:*GUg  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 D0\>E}Y E  
    ;TJpD0  
    b  Ssg`  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 =>;&M)+q  
    /"Vd( K2Z  
    <r#FI8P;X  
    实现可编程光栅 ?9\D(V  
     V;%ug'j  
    N\PdX$  
    t%Jk3W/f  
     ,'s }g,L  
    SI!A?34  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） H'k}/<%Q  
    T<B}Z11R  
    C<D$Y,[w  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） eNd&47lJ  
    *tUOTA 3L  
    P2'N4?2  
    JVIFpN"`  
    SZKYq8ZA)V  
       [Qnf]n\FJ  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~M}{rl.n=  
    >%tG[jb  
    N9!L8BBaK  
    2       双击Data Series Diagram g!XC5*}  
    \U$:/#1Oe  
    采样结果 *S}@DoXS  
    6M >@DRZ'|  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     5sT3|yq  
    9rMO=  
    QQ：2987619807
     
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