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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 +CdUr~6 ^ }5KM87 关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run) 62'9lriQ 8M,o)oH 所需工具:Grating Toolbox Basic wH@S$WT gAztdAsLM 相关Tutorials:G.001; G.014 uk$MQv*D 建模任务 ^1Fzs(#. BRY/[QRqZ 理想平面波照射 +kYp!00 yeta)@nH }1k?t h
hO.b?>3NL \rUKP""m U7n#TPet 镀膜倾斜光栅 q\i&ERr 目标平面 7"aN7Q+EbI g7hI9(8+ 周期:10um VUUnB<j 厚度:10um mCg^Y)Q 倾斜角度:20度 ?K2EK'-q ,ps?@lD 光栅的参数 &53,8r Uq'W<.v5 —倾斜角度 1—(光栅)前面的介质 b~tu;: Y0lLO0' —填充因子 2—后面的介质 C|Gk} —膜层厚度 3—膜层材料 r7_%t_O|IL —光栅厚度 mUP!jTF RiR],Sj s
Y1@~ v L#a!fd P~!,"rY l(Hz9 设置层数和转折点 %$ o[,13= ]5a3e+ jGkDD8K [ 2 设置层数和转折点以确定膜层 zJ}abo6rVw \l3z<\ 7DK}c]js 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 <Bn0wr8)\ *74/I>i %?+Lkj& 实现可编程光栅 xqg4b{ F`eE*& yLCMu | + d42Y` Wu .3_u5N|[=W ~V ?z!3r-) 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 5({_2meJ: OYWHiXE6] 1@LUxU#Uu$ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) v36Z*I6)5 |LLpG37_ j`@`M*)GB G^h:#T Tzjv-9^V v]Pyz<+ 参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) $u, 6x~> t%^&b'/Z gx^!&>eIb# 2 双击Data Series Diagram ;q%z\gA havmhS)O 采样结果 T3=h7a %= ,m0M:!hK 可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略. d:A'|;'] t~ I;IB QQ:2987619807
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