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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 /grTOf&  
    ]<>cjk.ya  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） Dt: Q$  
    SH?McBxS  
    所需工具：Grating Toolbox Basic SsZC g#i  
    -qIi.]/f"9  
    相关Tutorials：G.001; G.014 */;7Uv7  
    建模任务 ttsR`R1.k  
    \Ggh 95y  
    理想平面波照射 j 2ag b  
    OX7=g$S 1  
    I@cw=_EQL  
    *4U_MM#rX  
    I`V<Sh^Qd  
    9p W~Gz  
    镀膜倾斜光栅 /4an@5.\C  
    目标平面 %GhI0F #  
    ~XTC:6ts  
    周期：10um Tz @=N]D  
    厚度：10um 8_('[89m  
    倾斜角度：20度 8Sr'  
    duY?LJ@g  
    光栅的参数 4Hj)Av <O(  
    )UKX\nD"0  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 lx:$EJ  
    GmH DG-  
    —填充因子                           2—后面的介质 Z3S+")^  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 SOOVUMj  
    —光栅厚度 \?xM% (:<Q  
    %biie  
    g< j)  
    %~!4DXrMk  
     fqgp{(`@>  
    MGR:IOTa  
    设置层数和转折点 Ln h =y2  
    <YaTr9%w  
    f% pT-#  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 >yC=@Uq+  
    d_!Z /M,  
    W+ S~__K  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 ?})A-$f ~  
    1h$?,  
    h=#w< @  
    实现可编程光栅 ukiWNF/  
    xb;{<~`71  
    b#_RZ  
    dQ`Tt- n  
     ;st0Ekni)  
    7:jLZ!mgi  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） (;{X-c}?  
    [neuwdN  
    S1QMS  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @2>UR9j  
    N'`X:7fN  
    v;]rFc#Px[  
    2%%\jlT_  
    igxO:]?  
       V 0Bl6  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） o2!738  
    N"70P/  
    !.vyzCJTzB  
    2       双击Data Series Diagram &QHJ%c  
    I  C  
    采样结果  &K/?#  
    "_WN[jm  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     :G _  
    Nr4}x7  
    QQ：2987619807
     
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