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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 V,$0p1?J  
    t+eVR8  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） )kP5u`v  
    Z,=7Tu bR#  
    所需工具：Grating Toolbox Basic f"<O0Qw  
    rb|U;)C  
    相关Tutorials：G.001; G.014 z_|/5$T>U  
    建模任务 t25,0<iW  
    3g >B"t  
    理想平面波照射 Y./2Ely  
    ~c&bH]cj  
    0zi~p>*nJC  
    l(02W  
    (;q;E\Ej q  
    ;72T|e  
    镀膜倾斜光栅 *NG+L)g  
    目标平面 6Udov pl  
    \Cii1\R=  
    周期：10um >k'c' 7/  
    厚度：10um l6d$V 9A  
    倾斜角度：20度 .,OVzW  
    ={z*akn,  
    光栅的参数 BW "5Aj  
    Nd;K u6  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 S;)w.  
    v-PXZ'7~  
    —填充因子                           2—后面的介质 R;j!}D!4  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 kOed ]>H  
    —光栅厚度 *FMMjz  
    ]bK=FIK2  
    JhLgCnm  
    &sU?Ok6  
     g4l !xT  
    2* 2wY=  
    设置层数和转折点 =W"F[fD  
    pim!.=vN/U  
    2n|K5FR()  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 \Rp-;.I@6  
    K2<9mDn&  
    NB8/g0:=n&  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 ]]*7\ :cb  
    rsy'q(N[  
    4B^ZnFJ%m  
    实现可编程光栅 WUh$^5W  
    {$wjO7Glp  
    o:_Xv.HRZo  
    @9lUSk^9  
     lQe%Yh >rl  
     t$De/Uq  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） d&+h}O  
    kYjGj,m"  
    MZT23 [+  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） wwyPl  
    J%,*is EL  
    "t~  
    K~| 4[\  
    ;ShJi  
       rl #p".4q  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） FSA1gAW6g  
    %*L:sTj(  
    p{j.KI s7  
    2       双击Data Series Diagram %'X[^W  
    PEc=\?  
    采样结果 ~V\D|W9  
    <1t*I!e_  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     &FF"nE*  
    N19({0+i2  
    QQ：2987619807
     
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