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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 .Fp4: e  
    hr)B[<9  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） - RU=z!{  
    ;-qO'V:;  
    所需工具：Grating Toolbox Basic VFys.=  
    NN?`"Fww  
    相关Tutorials：G.001; G.014 XD2v*l|Po  
    建模任务 @nCd  
    w {3<{  
    理想平面波照射 (:> ,u*x%  
    73\JwOn~  
    [wzb<"kW  
    Sxh]R+Xb  
    BNs@n"k  
    #iHs* /85  
    镀膜倾斜光栅 ~S,,w1`  
    目标平面 K42K!8$  
    (O(}p~s  
    周期：10um  cHk)i  
    厚度：10um )`(p9@,V  
    倾斜角度：20度 tu66'z  
    d\gJ$ ~^K  
    光栅的参数 i=oU;7~zK  
    m()RU"WY  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 )O@]uY  
    wG-HF'0L  
    —填充因子                           2—后面的介质 @X;!92i  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 o9dY9o+Z  
    —光栅厚度 N@Uy=?)ZJ  
    0i\M,TNf*  
    U ^5Kz-5.  
    7%|~>  
     %/zbgS`  
    T~##,qQ  
    设置层数和转折点 &keR~~/  
    FwkuC09tI  
    =*c7i]@}  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 {ix?Brq/  
    kr9*,E9cv  
    f\sQO&  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 CU@Rob}s  
    os:A]  
    )9"_J9G  
    实现可编程光栅 ?En O"T.  
    MS 81sN\d  
    2Ay* kmW  
    m4hg'<<V  
     /)}q Xx&  
    E%,^Yvh/  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ':3 pq2{  
    YSic-6z0Ms  
    keX,d#  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） nG'&ZjA  
    c]n1':FT"  
    F`XP@Xx  
    $Y/9SV,  
    <oT^A|JFj  
       1AM!8VR2  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） IYS)7`{]  
    rrBsb -  
    ( u\._Gwsx  
    2       双击Data Series Diagram gM u"2I5  
    [S9K6%w_!  
    采样结果 -$cmG4  
    6z#acE1)M  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     -w}]fb2Q>  
    `(ue63AZ  
    QQ：2987619807
     
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