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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 Vn6]h|vm  
    ]/odp/jm  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） hmJa1fw=  
    AHn Yfxv_  
    所需工具：Grating Toolbox Basic *w6(nG'M{  
    +P;&/z8i*g  
    相关Tutorials：G.001; G.014 )%~<EJ*&Z  
    建模任务 ,5P tB]8&3  
    ~P!%i9e_  
    理想平面波照射 b!z kQ?h  
    aaFt=7(K  
    ?Z"<&tsZ  
    <xr\1VjA  
    %#@5(_'  
    Vnnl~|Xx  
    镀膜倾斜光栅 ~A-D>.ZH  
    目标平面 "%K[kA6  
    e%JH q  
    周期：10um `r*bG=  
    厚度：10um 4! DXj0^  
    倾斜角度：20度 iU?xw@W R  
    zC_@wMWB  
    光栅的参数 YUQKy2  
    Ll0"<G2t  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 1g_Dkv|D  
    YCo qe,5  
    —填充因子                           2—后面的介质 j~k+d$a  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 |]j2T 8_=  
    —光栅厚度 |/O_AnGI  
    !s(s^  
    d2Ox:| <)  
    lAo S 9w  
     :U/x(  
    ?TY/'-M5  
    设置层数和转折点 aui3Mq#f  
    '*n2<y  
    #]lK!:  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 T:!Re*=JJ  
    }TwSSF|}3  
    oE'Flc.  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 z*G(AcS)  
    ,w0Io   
    Jn)DZv8?  
    实现可编程光栅 ,_RPy2N  
    zOA2chy4  
    NLF6O9  
    Qs;MEt1  
     D 4\ * ,w  
    FP9FE `x  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） n$y@a? al  
    Gc{s?rB_  
    +l(lpp>,  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） @]X5g8h  
    _p\O!y  
    29r(Y  
    (5Sv$Xt  
    v7G&`4~  
       tzdh3\6F  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ~<q^4w.=7C  
     @t<KS&  
    B),Z*lpC  
    2       双击Data Series Diagram d2 (3 ,  
    v `7`'  
    采样结果 to#N>VfD  
    rxQ&N[r2  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     R>dd#`r"  
    9y(491"o  
    QQ：2987619807
     
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