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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 1&evG-#<:  
    L<-_1!wh  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） 2E/"hQw  
    )E@.!Ut4o  
    所需工具：Grating Toolbox Basic Ln<`E|[29  
    }mq6]ZrK  
    相关Tutorials：G.001; G.014 R0]1xGz  
    建模任务 OXSmt DvJ  
    l%puHZ)t  
    理想平面波照射 %D}kD6=  
    (%e .:W${  
    _j/<{vSy  
    JG!mc7  
    *,8^@(th  
    mD0f<gJ1  
    镀膜倾斜光栅 7>Ouqxh21  
    目标平面 [OV"}<V  
    ;F!5%}OcL%  
    周期：10um &5spTMw8  
    厚度：10um Mxsa-?R;v  
    倾斜角度：20度 [.'|_l  
    )72+\C[*~r  
    光栅的参数 l7259Ro~  
    "9P>a=Y  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 UkT=W!cq  
    C]eSizS.  
    —填充因子                           2—后面的介质 ~'iHo]9O  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 %C'?@,7C  
    —光栅厚度 K{cD+=]{  
    W*4-.*U8a  
    V2?=4mb  
    YEs&  
      Ins`l  
    4(~L#}:r!  
    设置层数和转折点 DiScFx |rE  
    EXwo,?I  
    T`.O'!  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 nntuLuW  
    <fjX[l<Uz  
    3n1;G8Nf  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 C:* *;=.  
    ?m=N]!n  
    #`iB`|  
    实现可编程光栅 FLCexlv^  
    UcDS9f_87  
    NP#w +Qw  
    !t %j?\f  
     _AYK435>N  
    P*Uwg&Qz)  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Ic:(Gi- %  
    2c,9e`  
    /y#f3r+*2  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） gJXq^~-hd  
    y$F'(b| )  
    _476pZ_  
    E7 Ul;d  
    gQelD6c  
       d>&,9c%  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） u+e{Mim  
    "a>q`RaIQ"  
    +I:Unp  
    2       双击Data Series Diagram cAqLE\h  
    {G0T$,'DR  
    采样结果 ksqQM  
    C8:f_mJU  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     Lpz>>}  
    3{^9]7UC  
    QQ：2987619807
     
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