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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中(Parameter Run)进行分析。 +CdUr~6  
    ^ }5KM87  
    关键词:光栅,镀膜,倾斜光栅,可编程光栅,参数运行(Parameter Run 62'9lriQ  
    8M,o)oH  
    所需工具:Grating Toolbox Basic wH@S$WT  
    gAztdA sLM  
    相关TutorialsG.001; G.014 uk$MQ v*D  
    建模任务 ^1F zs(#.  
    BRY/[QRqZ  
    理想平面波照射 +kYp!00  
    yeta)@nH  
    }1k?th  
    hO.b?>3NL  
    \rUKP""m  
    U7n#TPet  
    镀膜倾斜光栅 q\i&E Rr  
    目标平面 7"aN7Q+EbI  
    g7hI9(8+  
    周期:10um VUUnB<j  
    厚度:10um mCg^Y)Q  
    倾斜角度20 ?K2EK'-q  
    ,ps?@lD  
    光栅的参数 &53,8r  
    Uq'W<.v 5  
    —倾斜角度                           1—(光栅)前面的介质 b~tu;:  
    Y0lLO0'  
    —填充因子                           2—后面的介质 C|Gk}  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 r7_%t_O|IL  
    —光栅厚度 mUP!jTF  
    RiR],Sj  
    s Y1@~v  
    L#a!fd  
    P~!,"rY  
    l(Hz9  
    设置层数和转折点 %$o[,13=  
    ]5a3e+  
    jGkDD8K [  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 zJ}abo6rVw  
    \l3z <\  
    7DK}c]js  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 <Bn0wr8)\  
    *74/I>i  
    %?+Lkj&  
    实现可编程光栅 xqg4b{  
    F`e E*&  
    yLCMu | +  
    d42Y `Wu  
    .3_u5N|[=W  
    ~V?z!3r-)  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) 5({_2meJ:  
    OYWHiXE6]  
    1@LUxU#Uu$  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) v36Z*I6)5  
    |LLpG37_  
    j`@`M*)GB  
    G^h:#T  
    Tzj v-9^V  
       v]Pyz<+  
    参数运行Parameter Run(绕y-轴旋转) $u ,6x~>  
    t%^&b'/Z  
    gx^!&>eIb#  
    2       双击Data Series Diagram ;q%z\gA  
    havmhS)O  
    采样结果 T3=h7a %=  
    ,m0 M:!hK  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层,投射级次可以被忽略.
    d:A'|;']  
    t~ I;IB  
    QQ:2987619807
     
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