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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 ogOUrJ}P  
    &fyT}M A  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） g9rsw7  
    /]_a\x5Ss  
    所需工具：Grating Toolbox Basic J Uf{;nt  
    gz,x6mnQ  
    相关Tutorials：G.001; G.014 B9Ha6kj  
    建模任务 Zi!6dl ev  
    +Kw&XRA d  
    理想平面波照射 5S;|U&f|  
    )\!-n]+A  
    5D~>Ed;  
    zUe)f~4  
    OYj4G ?c  
    VSxls  
    镀膜倾斜光栅 |X'Pa9u  
    目标平面 l6AG!8H  
    !%1=|PX_  
    周期：10um 'K"7Tex  
    厚度：10um GC<zL }  
    倾斜角度：20度 _:ORu Vk  
    DKvNQ:fI>9  
    光栅的参数 B uv4&.Z}  
    f`[gRcZ-  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 x}c%8dO#J  
    a2z1/Nh  
    —填充因子                           2—后面的介质 09r0Rb  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 P+h p'YK1  
    —光栅厚度 +1R qo  
    {eQ')f  
    qMA K"%x  
    }gfs  
     %.zcE@7*  
    ]Zj6W9]m  
    设置层数和转折点 nVK`H@5fw  
    z.xOT;t  
    G OzV#  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 gmU0/z3&  
    1>$}N?u:T  
    kJOSGrg  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 Hy_}e"  
    !alO,P%>r  
    (I) e-1  
    实现可编程光栅 V&j |St[  
    n*HRGJ  
    4raKhN"  
    !OO{qw(*g  
     =LsW\.T6  
    <]/z45?  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） mHnHB.OL  
    z;74(5?q  
    l$:.bwXXO  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） tSZd0G<A<o  
    fuwv,[m  
    "(U%Vg|)  
    x D(RjL+  
    oI!L2  
       Yy_o*Ozq  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） Vd'KN2Jm  
    0( s io\  
    w'Cn3b)`  
    2       双击Data Series Diagram XHN`f#(w  
    !.(%"  
    采样结果 H"_]Hq  
    B;ro(R  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     [q MFLY$  
    -quWnn/  
    QQ：2987619807
     
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