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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 oCB#i~|> a RP 6hw| 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） tj
t N< y H`T}k+e2-N 所需工具：Grating Toolbox Basic p$6L_
*$ ^]$rh.7& 相关Tutorials：G.001; G.014 WhDNt+uk) 建模任务 1(
]{tF {CGk9g" ` 理想平面波照射 {z8wFL \ fyv S1_ SdJk no  * YT v" gq)uv`3 }kk[l vhJ 镀膜倾斜光栅 }9L;|ul6 目标平面 <rNz&;m} K )9f\1\ 周期：10um !]# ;' 厚度：10um +kOXa^K 倾斜角度：20度 Gk<6+.c~ E}|IU Pm 光栅的参数 R"e53 3 !A"-9OS2 —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 M V~3~h8 n*N`].r#{= —填充因子 2—后面的介质 rF
. Oo 0 —膜层厚度 3—膜层材料 YHo*IX')C? —光栅厚度 +InFv" wt ks<+gL{K|i l`*R !\  f >\~h,SLL
1zY" Uxp ,}$[;$ye 设置层数和转折点 U p: M[S
Ba;tE F{X H`8}w{ ft&  2 设置层数和转折点以确定膜层 4NmLbM&C8 c]/&xRd UjS ,<>fm 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 ~a. ei^r IL<@UWs6 6>/g`%`N 实现可编程光栅 XE : JL_ hdxq@%Vs x5W.
3*  o$,e#q)8
U j> bWa` ykG^(.E 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） [!b=A:@  hN.{H:skL) R8fB
8 ) 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） RL1c x| %x|0<@b7- WB=|Ty ~l & 13#/  P}mn2 Hs bJ9K!6s??` 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） !"N-To-c  <I^Tug\M+ 5KwT(R o 2 双击Data Series Diagram M `.v/UQn |1^
!r Hg 采样结果 2< Q3-|/i  M\dZ xhQ-l
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. @ (LEuYq} ^Euqy,8}
QQ：2987619807
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