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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 9ozUg,+Z|J  
    Doy7prKI8  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） ra k@oW]  
    gG.b=DvzY  
    所需工具：Grating Toolbox Basic ff9D{$V5  
    %t^-Guz  
    相关Tutorials：G.001; G.014 8wqHr@}p  
    建模任务 }@:vq8%Q  
    "+V.Yue`R  
    理想平面波照射 'Nv*ePz  
    %<w)#eV?  
    bR!*z  
    \?e{/hXnl  
    n089tt=TE  
    xW\iME  
    镀膜倾斜光栅 &8 ~+^P1w  
    目标平面 7a}vb@  
    {1V~`1(w  
    周期：10um a$SGFA}V  
    厚度：10um KfsURTZ  
    倾斜角度：20度 'J&$L c  
    T Prqb  
    光栅的参数 i`R}IP?71  
    @m[r0i0J"  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 C-abc+/  
    W])<0R52  
    —填充因子                           2—后面的介质 aoh"<I%]>4  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 ~P85Or  
    —光栅厚度 Q9 b.]W  
    /MB3w m  
    "$*&bC#dE  
    c3&;Y0SD  
     ~4\J }Kn  
     ((}T^  
    设置层数和转折点 [;/ydE=  
    `)5E_E3  
    _>8ZL)NQQ  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 ^b]h4z$  
    c|%.B2  
    6;g"`l51  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 V(|@6ww  
    |Fk>NX  
    gUs.D_*  
    实现可编程光栅 ~5[#c27E9  
    -lL(:drn  
    bZ0mK$B  
    j>(O1z 7  
     P5Y:c@u2  
    0HA`  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） _s/ 5oRHA  
    /G`'9cD  
    "#d>3M_  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） ;N4A9/)  
    60B6~@]P  
    2HNKq<  
    nCZ&FNi{O~  
    A{Jp>15AVg  
       owDp?Sy}E  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） iYi3x_A`  
    |N%?7PZ(  
    N^\<y7x  
    2       双击Data Series Diagram ~)X yrKw  
    U_t[J|  
    采样结果 5hN`}Ve  
    50#iC@1  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     $9!2c/  
    .v?x>iV  
    QQ：2987619807
     
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