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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 r5uX?^mJ0 7T=:dv 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） \0^Je>-:U <*d jtO 所需工具：Grating Toolbox Basic 2!}rH w Z]^O=kX7k 相关Tutorials：G.001; G.014 m?`$NJST 建模任务 R 9%"Kxm FdMTc(> 理想平面波照射 M }9PicI?7 NKRH>2, ImI, q:[67  ,}$[;$ye }zHG]k,j ngH_p > 镀膜倾斜光栅 !ziO1U 目标平面 <VmEXJIk s!/Q>A 周期：10um -@`!p 厚度：10um ,a}
vx"~ 倾斜角度：20度 IL<@UWs6 mbO.Kyfen 光栅的参数 M rpT5|t ,+E"s3NW —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 !o8(9F >6 6v+ —填充因子 2—后面的介质 l%MIna/Tp —膜层厚度 3—膜层材料 Bl v @u ? —光栅厚度 %ZJ;> a# .T^e8 <qCfw>%2F  R(DlJ
Ea?u5$>gY" xtRHb''FX 设置层数和转折点 *`b Au * ^es/xt ) zq sn  2 设置层数和转折点以确定膜层 *W=R:Bl! T &kr IZw Y+_t50 S 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 !Ytr4DtM
;bes #|^F ^E mI;ks 实现可编程光栅 #N `Z)}Jm )nA fT0()0 <>^otb,e$  0^&-j.9
##qs{s^ ] W Y" `wM 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） .wz.Jr`{  O{nM
yB B&c*KaK;~ 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 53X5&Bwh jsnk*>j W\J wEb9Y m8<l2O=m  \v[?4 [ <GRrw 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） s c
&S0K  8!u8ZvbFG `f+l\'.s 2 双击Data Series Diagram w#\*{EN z\ ?cazQ 采样结果 ([L5i&DT  [DO UIR9
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. W4o $J4IX{ 8\@&~&(y:
QQ：2987619807
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