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    [分享]镀膜倾斜光栅 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-11
    镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 3AK(dC[ri  
    6G'<[gL j  
    关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） D,k(~  
    I[ai:   
    所需工具：Grating Toolbox Basic ,!`SY)  
    Hz E1r+3Q@  
    相关Tutorials：G.001; G.014 \3r3{X _<`  
    建模任务 "LOnDa7E^  
    4RhR[  
    理想平面波照射 t)ld<9)eB  
    nB=0T`vQ  
    kGm:VYf%  
    #Rc5c+/(  
    qh-[L  
    aM), M]m[  
    镀膜倾斜光栅 =HMmrmz:  
    目标平面 Xem 05%,  
    F+Z2U/'a  
    周期：10um N<(HPE};  
    厚度：10um Id %_{),HX  
    倾斜角度：20度 .!i0_Rv5x  
    Yj3P 7k$c  
    光栅的参数 $&IpX M]  
    +jtA&1cf  
    —倾斜角度                           1—（光栅）前面的介质 :7\9xH  
    PRD_!VOW  
    —填充因子                           2—后面的介质 +3Y!xD?=  
    —膜层厚度                           3—膜层材料 H>?F8R_iq  
    —光栅厚度 _9NVE|c;  
     {7X#4o0  
    NY@"&p'Q  
    0N{+y}/G  
     ,d|vP)SS  
    hq?jdNy :  
    设置层数和转折点 ~s#e,Kav"  
    IZ8y}2  
    =MC~GXJSNw  
    2       设置层数和转折点以确定膜层 Q2eXK[?*  
    Fd7*]a  
    :tM?%=Q  
    2       可以通过Structure Preview 按钮查看 H?uukmZl  
    ANMYX18M  
    Gy!P,a)z  
    实现可编程光栅 .Pw%DZ'  
    PKA }zZ  
    6e.v&f7(  
    Qw?+!-7TN  
     .^[_ V  
    HR60   
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） "}b'E#  
    W&(f&{A  
    . uR M{Bs  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） |y"jZT6R}t  
    EA|k5W*b  
    K)S;:MLG=  
    ? } (=  
    TJaeQqob  
       s t/n"HQ  
    参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） j$x)pB3]  
    S &JJIFftO  
    n|i"S`  
    2       双击Data Series Diagram `HW:^T  
    >fzwFNdo  
    采样结果 +;q.Y?  
    Ue$zH"w  
    可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略.     hVP IHQt  
    #tjmWGo,  
    QQ：2987619807
     
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