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镀膜倾斜光栅通过VirtualLab的可编程光栅元件生成。该光栅不同厚度的反射率可以在参数运行中（Parameter Run）进行分析。 f c6g ezTZn utZ 关键词：光栅，镀膜，倾斜光栅，可编程光栅，参数运行（Parameter Run） *@V*~^V"J[ 2k#t
.- 所需工具：Grating Toolbox Basic !.fw,!}hOD L(&}W v 相关Tutorials：G.001; G.014 }g f}eH 建模任务 A[UP"P~u/ =FW5Tkw0 理想平面波照射 h7qBp3 00 ?a/n< V ' &~5=K  8(X0
: K^% -N yV h[XGC =% 镀膜倾斜光栅 yZ}d+ 7T} 目标平面 >Cd9fJ&0gP nv 5u%B^ 周期：10um # WE]`z d 厚度：10um %Ny) ? B 倾斜角度：20度 `{FwTZ=6{ KO]N%]:&~ 光栅的参数 ecH/Wz1 A~-#@Z —倾斜角度 1—（光栅）前面的介质 "EftN5?/ zX c}W*ymj —填充因子 2—后面的介质 :Eh'( —膜层厚度 3—膜层材料 g{pQ4jKF —光栅厚度 #A <1aQ J m e% a5`eyL[f  DOm-)zl{|x
r!/0 j) 9Yw]Y5l 设置层数和转折点 P6?0r_Y +p/1x'J jv}=&d  2 设置层数和转折点以确定膜层 -a) T6:e #7z|mVzH vrrt @y 2 可以通过Structure Preview 按钮查看 g ed,> 6 `puTL? Z}cIA8 7U 实现可编程光栅 rH}fLu8,;Q aMCO"66b LR$z0rDEM  t;Wotfc[#0
Q(\ wx 2Ug.: B3 L4F" |6B6?' 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） M9V -$ _) y U`: IMz tjb/[RQ _ 5\AS+[x
 ~ v1W VJ1*|r, 参数运行Parameter Run（绕y-轴旋转） 2lz
{_9  k46gY7y,9 DPPS?~Pq 2 双击Data Series Diagram <:cpz* G4 ze"~Ird 采样结果 HU[oR4E  ?Le y z
可以看到入射波方向和各反射级次的方向和效率。由于镀了膜层，投射级次可以被忽略. %1jdiHTaL rUFFF'm\*a
QQ：2987619807
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