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案例315.01:光栅起偏器的参数优化 Vk{;g &g|[/~dIr 这个案例说明了对于一个用于VIS光起偏的亚波长光栅的参数优化过程。 "3RFyi B=0^Rysg 关键词:参数优化,光栅,起偏器,亚波长 kqBZsfF C8m 9H8Qm 所需工具箱:高级光栅工具箱 I?rB7*: V\`Z|'WIQD 相关案例:100.01,101.01 >jt2vU@t. [
U:C62oK, 相关教程和技术说明:Tutorial 101.01, TN.021 ?i _ACKpw 8?Zhh. 建模任务: {lf{0c$X. G*9(O: 平面波入射周期为200nm的镀铬线性矩形光栅,基底为融石英,产生TE模的起偏。 .!3e$mhV 6?a`'& -#ZvjEaey 优化目标: {s8c@-' a{`hAI${ —TE模偏振光的透过率最大化 ?tLApy^`? O},}-%G —TM模偏振光的透过率最小化 G4(R/<J,BQ `*s:[k5k 优化函数: !Se0&Ob c5ij2X|I —最小化TE的透过率 DhE-g< LdZVXp^ —最小化偏振度(要求>50:1) KW:N
6w t]HY@@0g
#*g=F4>t nQc,^A)I —使用力优先级使TE透过率的均匀误差最小化 D7hTn@I 0GUJc}fgvN
~e}JqJ(97 -PpcFLZ| 优化的自由变量为: o h{>nwH `G$>T#Dq —缝宽:10—190mm h ;*x1BVE RBQ8+^ —光栅深度:20—200nm 6=f)3!= .lcp5D[( 优化算法: @}
Ig*@ q;68tEupR —使用Parameter run 进行一个全波长的全局搜索使得TE透过率的最大值最小同时使得偏振对比度的最大值最低。全局搜索不是强制的,但是它帮助确定在几个最大值和最小值之间确定优化参数的起始点。 cC-8.2 —参数优化使用下山简法(局部优化)和模拟退火法(全局优化)。参数优化使得找到在偏振对比度和TE透过率之间的一种平衡。 }y6|H,t9 _V"0g=&Hc 光路流程图和偏振分析器: 0q5J)l: 1ui)Hv=h* 偏振光栅的光路流程图存储在文件“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_01”中。 f./K/ H_?rbz} o 对于给定的波长范围,偏振分析器被用来计算相关偏振方向的最大和最小值。并可以计算 和 的反射或透射的最大和最小值。像偏振对比度这样高级的优化函数也可以被计算出来。 GxhE5f; &@lfr623 Parameter Run 的全局搜索: ,-6Oma
- ZXx1S?u Parameter Run文件存储在“Scenario_315.01_Optimization_of_Grating_Polarizer_02”中。 0z/*JVka PaKa bPY Parameter Run 设置 JSB+g; "WKOlfPa 缝宽:10—19nm 步长10nm; p4P=T@: LGhK)]: 规划深度:20——200nm 步长10nm; c4AJ`f.5 PSJj$bt;<+ 使用扫描模块进行所有参数的整合研究。 *tv& |