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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 kn"x[{d
IpJ v\zH7 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 UT~2}B9fc
nc~d*K\! 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 -],?kP
U q.~3V+u 所需工具箱子：光栅工具箱 5ecz'eA%
c.Y8CD.tqL 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ~BZV:Es
bW ^QH-t 建模任务 {Yk20Zn y7- :l u$9 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 b6Hk20+B; Pu*HZW3l  6a7iLQA
$ F7gH 9:i,WJO 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Q| KD/s??
><M gIV U<Y'.!
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 64' ]F1p0 + 4g%?5'
bM0[V5:jB
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ,(27p6!
 ' xZPIj+
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 : KP'xf.
 AV 5\W }
X线偏振光模拟结果： j$8 |ym^OX
!8@rK$DB
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 n~ >h4=h
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 V"by9p|V `
Eh@T W%9*
G(OT"+O,
Y线偏光模拟结果 mOgOHb2
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 TjUZv 1(L
结论： HA9Nr.NqC@
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 E/7vIg
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QQ：2987619807 :q>oD-b$}
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