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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 O-K!Bv^ Q  
     +6v;( ] y  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Zjh9jvsW  
     DozC>  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 L7&|  
     BlvNBB1^  
    所需工具箱子：光栅工具箱 dk9nhS+faJ  
     C},$(2>0+  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 DUK.-|a7  
     @5-+>\Hd^t  
    建模任务 r]vD]  
    G$HLta  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 sw@* N  
    5cE!'3Y  
    #O .-/&Z  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 &Jw4^ob  
     M B,P#7|  
    hrr;=q$  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,w/f :-y  
     6uH1dsD  
    4$+9k;m'  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     @tLoU%  
    8Bnw//_pT  
    V6ioQx=K#  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 b!' bu  
    WPM<Qv L  
    fJ3qL# '  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 uPpRzp  
    Z0e+CEzq  
    I({ 7a i  
    X线偏振光模拟结果：
    %KmB>9  
    |k4ZTr]?  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 zA/W+j$:  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Q nqU!6k@  
    G r;~P*  
    '#.:%4  
    Y线偏光模拟结果 AOaf,ZF 8  
    nA]dQ+5sT  
    VrokEK*qbY  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 CFh&z^]PR  
    结论： q t}[M|Q^r  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 `<>8tZS9"  
    m`c(J1Et  
    lC1X9Op  
    QQ：2987619807     NwG&uc+Q  
     
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