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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 AOef1^S= z=Xh 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 $.4N@=s,?c -K/c~'%'* 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 xXSfYW v7,- Q* 所需工具箱子:光栅工具箱 0bOT&Z^ P3v4!tR 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 H'Jz:6 25<qo{ 建模任务 8~3I^I_v h=^UMat- 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 8Yo;oHk7 l[C_vUg O+]'*~a 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 uZ'(fnZ$ &joP-!" ?} lqu7S 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,.0B0Y-X NDJP`FI O`T_'.Lk 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 |XV`A)=f @r(3 I@TH^8( 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }$LnjwM;, )a9C3-8Y' taMcm}*T1 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 /T+%q#4 KNR7Igw?} "Y@q?ey[1 X线偏振光模拟结果: 00@F?|-j Lcf?VV} 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 <'\! 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 {a15s6'd Y*IKPnPot2 n3j_=( Y线偏光模拟结果 (LJ7xoJ^ ?Ezy0>j +O^} t 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 rV} 5&N*c 结论: oTrit_@3 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 \fp'=&tp~a #^(Yw|/K >pe!T
aBN QQ:2987619807 W }v
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