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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Yv:55+e!|  
     ,_"AT! r  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ?.D3'qv  
     JwJ7=P=c  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 !"eIV@7  
     H@ t'~ZO  
    所需工具箱子：光栅工具箱 /% kY0 LY  
     ;\p KDPr  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 `F/Tv 5@L  
     }[M`uZ  
    建模任务 8=]Tr3   
    B, 9w0  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 h[PYP5{L  
    .|/~op4;  
    W^s ;Bi+Nw  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 R9B&dvG  
     L:9F:/G  
    H/Llj.-jg  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 q `pP$i:  
     )KP5Wud X  
    F+@5C:<?  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     U*3uq7  
    bR V+>;L0@  
    HeG)/W?r  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 VO"("7L  
    C*`mM'#  
    w+N> h;j  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 s M+WkN}{  
    Aj0Tfdxy  
    Q9Q|lO  
    X线偏振光模拟结果：
    f4BnX(1u  
    VqS#waNrx  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 AZmb!}m+d  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 @WI2hHD  
    8H_l:Z[:i  
    %DdJ ^qHI  
    Y线偏光模拟结果 3mOtW%Hl  
    N&M~0iw  
    ?2oHZ%G  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 .B\5OI,]  
    结论： K3=3~uY  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 g>J<%z, }2  
    AhNq/?Q Q~  
    Hbpqyl%O>  
    QQ：2987619807     ##4GK08!  
     
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