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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 $fR[zBxA
(hEqh
nnm` 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 E=+v1\t)]
]#z ^[XG 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 UJ3l8
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sg RY`U.C 所需工具箱子：光栅工具箱 yS% IE>?
-SnP+X! 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 n$i}r\
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(sSMH6iCif 建模任务 * _ {w0U) nSdta'6 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 x<W`2Du l$=Y(Xk  jl YnV/ ]
Z6#}6Y{ SO^:6GuJ 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )>abB?RZ
AX! YB'm- ]U.1 z
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 h)2W}p{a4= &>y[5#qOl
*(5y;1KU
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 U`Bw2Vdk]S
 Rl@k~;VV
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 OLp;eb1g
 xO"fg9 a
X线偏振光模拟结果： ]Ng K(I U
tp"dho
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Ad !=
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在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 *Y(v!x \L
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Vf <VKP[9K
Y线偏光模拟结果 1ga.%M*
 .4DX/~F
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 @y?<Kv}s
结论： ,w&8 &wj
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 c@H:?s!0R
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QQ：2987619807 p!5= 1$
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