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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 AOe f1^S=  
    z=Xh  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 $.4N@=s,?c  
    -K/c~'%'*  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 xXSfYW  
    v7,-Q*  
    所需工具箱子:光栅工具箱 0bOT&Z^  
    P3v4!tR  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 H'Jz:6   
    25<qo{  
    建模任务 8~3I^I_v  
    h=^UMat-  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 8Yo;oHk7  
    l[C_vUg  
    O+]'*~a  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 uZ'(fnZ$  
    &joP-!"  
    ?} lqu7S  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,.0B0Y-X  
    NDJP`FI  
    O`T_'.Lk  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    |XV`A)=f  
    @r(3   
    I@TH^8(  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }$LnjwM;,  
    )a9C3-8Y'  
    taMcm}*T1  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 /T+%q#4  
    KNR7Igw?}  
    "Y@q?ey[1  
    X线偏振光模拟结果:
    00@F?|-j  
    Lcf?VV}  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 <'\!  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 {a15s6'd  
    Y*IKPnPot2  
    n3j_=(  
    Y线偏光模拟结果 (LJ7xoJ^  
    ?Ezy0>j  
    +O^}  t  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 rV} 5&N*c  
    结论: oTrit_@3  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 \fp'=&tp~a  
    #^(Yw|/K  
    >pe!T aBN  
    QQ:2987619807
    W }v ,6Oe  
     
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