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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \f sNI T /
..R JHa6B 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 p}Um+I=1
3a[ LM! 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Ga_ Pt8L6
Q@uWh: 所需工具箱子：光栅工具箱 R=3|(R+kA
~d3|zlh 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 _< GXR
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q|}O-A*wa 建模任务 z(u,$vZ _ r~G amjS 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 q"5\bh1" <= Saf.  * a^wYW a
!+z&] S3s }qJ`nN 8 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 IE3GZk+a~
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 }mo)OyIX !ALq?u
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 [ahwJ F#r
 yFn~rv|&G
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 G?, "AA;
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X线偏振光模拟结果： [%P[ x]-
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探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 }( ! rB#bf
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 c_>AbF{
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Y线偏光模拟结果 +tlBOl $
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 &^w "
结论： &grvlK
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 t>OE zUd9
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QQ：2987619807 , h r v
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