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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 v\ )W?i*l  
     d7upz]K9g  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 TD0 B%  
     ;6$jf:2m  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 C1)!f j=  
     ^yp{32  
    所需工具箱子：光栅工具箱 vk^xT  
     SqpaFWr  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 -Q*gW2KmV  
     b4kgFA  
    建模任务 XRi8Gpg  
    4D4j7  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 g) jYFfGfH  
    7?_CcRe  
    >y 3=|  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 TC*g|d @b  
     h:|qC`}  
    ~c `l@:  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 } q8ASYNc  
     nNn :-  
    O\ r0bUPE  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     kxv1Hn"`{E  
    {`@G+JV~Jw  
    R\[e!g*I  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 c^W)07-X5y  
    j\M?~=*w  
    (GfZ*  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Km$\:Xo  
    x.$FNt(9  
    gPPkT"  
    X线偏振光模拟结果：
    k<?b(&`J  
    i/Zd8+.n$  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 j8sH|{H!Nq  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ckCE1e>s  
    FYQS)s  
    WpvhTX  
    Y线偏光模拟结果 &};zvo~P.  
    ;$g?T~v7  
    p`qgrI`  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kAUymds;O  
    结论： 8quaXVj^a  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 $ I?"lky  
    4Z0]oI X  
    OjA,]Gv6  
    QQ：2987619807     V0mn4sfs  
     
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