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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 B"GC|}N )v  
     Y7t#)?  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 O)dnr8*  
     wp?:@XM  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 N )Z>]&5  
     D]@(LbMG4  
    所需工具箱子：光栅工具箱 # ?2*I2_  
     =2p?_.|'  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 !eyLh&]5  
     v?`R8  
    建模任务 (K[{X0T  
    #p(gB)o:l  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 D :@W*,  
    G+c&e:ip<  
    ~}_^$l8#-Q  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 P'<i3#;7X  
     I*-\u  
    puOtF YZ\  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 e)e(f"t6Q  
     3WwS+6R  
    iV{_?f1jo  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     "uBnK!  
    r8m}B#W7  
    Kki(A 4;7F  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 1n`[D&?q  
    o26Y }W  
    H(^Eh v>  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 @)b'3~ D  
    \Tz|COG5h\  
    ='"Yj  
    X线偏振光模拟结果：
    c^W;p2^  
    Z|qI[uiO  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 u#ya 8  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 8-G )lyfj  
    Nn_fhc>  
    ,l&?%H9q  
    Y线偏光模拟结果 /O[6PG  
    &kb~N-  
    q{9vY:`[  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ROkwjw  
    结论： 'dj3y/ k%  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 I "x'  
    )>ff"| X  
    aqSOC(jU  
    QQ：2987619807     1EV bGe%b  
     
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