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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 <2]D3,.g.  
     _%Ua8bR$  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 $o;c:Kh$$  
     g oyQ',+  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 >dJ~  
     '*&dP"  
    所需工具箱子：光栅工具箱 :<k (y?GB  
     CWRB/WH:  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 !4FOX>|L@  
     L|:CQ  
    建模任务 (9TSH3f?  
    /3tErc'  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 _Gaem"k|  
    ?Yf v^DQ5  
    Ewq@>$_!  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 HZ}Igw.Z  
     r>i95u82'  
    o)n)Z~  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Iz'Et'w8!  
     XGbpH<  
    _dz ZS(7M6  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     2eeFaFif  
    7:Rt) EE2  
    C984Ee  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 0!KYi_3  
    I1l^0@J   
    98O]tL+k/u  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 *5*#Z~dut8  
    qO8:|q1%;\  
    e57R6g)4  
    X线偏振光模拟结果：
    L6i|5 P  
    x4g/ok  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 /'E[03I~  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 d!}oS<6  
    Jc}6kFgO6  
    yzT1Zg_ER  
    Y线偏光模拟结果 {:VK}w  
    N-&ZaK  
    C& XPn;f  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ceD6q~)  
    结论： TU2oQ1  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 %eW7AO>  
    x3#:C=  
    c2,g %(  
    QQ：2987619807     }o7-3!{L!  
     
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