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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 W'C>Fn}lO?
}J# HIE\RG 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 =\<NTu
J :O!4gI 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 \u,CixV=
)ros-d p` 所需工具箱子：光栅工具箱 {KG}m'lx
3"h*L8No 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 &<t%u[3
t]h_w7!U 建模任务 G"/;Cq=t eC-& .Fl 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Nf| 0O\+%y QLJ \>  " .7@
[ +\H e/M6 LeCc`x,5 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 t/ [2{'R 4
Cj= R\@ \@@ G\\)er
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 In?rQiD9 > "hP
QRju9x
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 %r^tZ ;; l
 JLd%rM\m
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 K*:=d }^
 Ae2N"%Ej
X线偏振光模拟结果： ~cm4e>o
sVh) Ofn
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 (dg,w*t'
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 # N][-i
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[A~?V.G
Y线偏光模拟结果 )<QX2~m<
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 XpANaqH\
结论： PJK:LZw
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 - +a,Ej
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QQ：2987619807 k~ )CJ6}
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