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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 6OqF-nso[E  
    QL*RzFAD 3  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 t+\<i8  
    A4Q{(z-?  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 YFW/ Fa\7  
    ^f9@ =I  
    所需工具箱子:光栅工具箱 N-q6_  
    ~+V$0Q;L  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 F>GPi!O  
    hBV m; `  
    建模任务 +\?+cXSc  
    sL ;;'S&  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 9e.$x%7j  
    mA"[x_  
    1(RRjT 9  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 J'tJY% `  
    H)CoByaj  
    7|jy:F,w%  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <j/wK]d*/  
    ?*ZQ:jH  
    3Tp8t6*nL  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    ]2YC7  
    V]m}xZ'?^  
    |g HdTb1  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 pF9WKpzE  
    %~kE,^  
    _!Pi+l4p/}  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 PZO.$'L|7  
    Cl3L)  
    t=|}?lN<  
    X线偏振光模拟结果:
    _~*j=XRs  
    L\5:od[EP  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 g^7zDU&'  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 qq3/K9 #y  
    ?M6)O?[  
    )1gT&sU0  
    Y线偏光模拟结果 ] SLeWs  
    3\{\ al   
    f.bwA x  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 X*w;6 V  
    结论: rixVIfVF  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 OW@"j;6 3`  
    Ye$; d ~  
    wXZ9@(^  
    QQ:2987619807
    E7hs+Mh  
     
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