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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 V0.vQ/  
     (U_ujPD ?  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 # 0Q]dO  
     u9GQU  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 BBRR)  
     J0\Fhe0'  
    所需工具箱子：光栅工具箱 }mq6]ZrK  
     (\hx` Yh=>  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 0g y/:T  
     (%e .:W${  
    建模任务 #TX/aKr:  
    AFDq}*2Qb  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 2U\u4N O{  
    %.Fi4}+O  
    aS{n8P6vW  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 wh\}d4gN  
     N~d?WD\^  
    ?{|q5n  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 '4Ixqb+  
     k_qd |  
    ?'Xj g#}<  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     zyc"]IzOU  
    R{3N&C  
    S)k*?dQ##R  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 7he,?T)vD  
    $L>@Ed<  
    w%VU/6~  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 7 60Y$/Wz  
    #`iB`|  
    =wHVsdNCN  
    X线偏振光模拟结果：
    FQ2  
     u\x}8pn  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ;| 5F[  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 }DE g-j,F  
    bv9]\qC]T<  
    !/*\}\'4  
    Y线偏光模拟结果 '&R2U_  
    eRstD>r  
    Y3cMC)  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 cAqLE\h  
    结论： gA+qC7=p$  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 9:[  9v  
    7Lc]HSZo,  
    #u(^0' P  
    QQ：2987619807     omu|yCK  
     
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