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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 >eQbipn  
     W0Ktw6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 K'x4l,rq  
     St6aYK  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 Iha[G u  
     Ks#A<! ;=  
    所需工具箱子：光栅工具箱 G;/Q>V  
     1hR (N  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 & B}Lo  
     5B1G?`]?  
    建模任务 cC' ~  
    O]t\B *%}  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 M~als3  
    Q8;#_HE  
    5Q`RTn%  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 auRY|j  
     /?Vdqci  
    J7:9_/ e0T  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 'fIHUw|  
     [q1Unm  
    :V-k'hm &  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     "# 2pT H~  
    f27)v(EJ  
    \^9pW 2v  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 (%bE~Q2P*<  
    A#(`9  
    b vRB  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 \b$<J.3  
    J_PH7Z*=,  
    C,"=}z1P  
    X线偏振光模拟结果：
    ,HZYG4,  
    Tr%FUi  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 W .U+.hR  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 }z wX  
    O=aw^|oj]  
    qEQAn/&  
    Y线偏光模拟结果 )7dEi+v52  
    hk_g2g  
    +< yhcSSTB  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 }#6xFTH  
    结论： } Gr&w-v  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 vM(Xip7  
    0 _A23.Y  
    i6Qb[\;  
    QQ：2987619807     M\9F:.t=  
     
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