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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 i$bBN$<b<  
     &EOh}O<  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 }dM^6 Kd%  
     %54![-@  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 `fyAV@X  
     U_No/$ b  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ?da3Azp  
     $Vzfhj-if  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 (tvh9 o  
     r "R\  
    建模任务 7SCI_8`  
    sh1()vT  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 x?IT#ty  
    tDo0Q/`  
    1F|+4  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ?x97 q3I+]  
     L;[*F-+jD  
    85mQHZ8aR  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 L/I-(08!Y:  
     Kf.b <wP{  
    ./d (@@  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     >. Y ~F(  
    ]!N5jbA@  
    @w0[5ZAj  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 jVz1`\Nje  
    2wd(0K}b  
    g i)/iz`  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ,o)MiR9-[A  
    CvN~  
    |zMQe}R@%  
    X线偏振光模拟结果：
    d:D2[  
    HD ~9EK~  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 qU}DOL|  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 4]bT O  
    E !8y|_(j  
    IjNm/${$  
    Y线偏光模拟结果 aI{[W;43T  
    T*IudxW  
    c nzPq\  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 -AX3Rnv^!  
    结论： |Xag:hof  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 \ *2IU"R  
    j{g{`Qa  
    [3.rG!Na  
    QQ：2987619807     C\{4<:<_&  
     
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