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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 bV3lE6z  
     `Lz1{#F2G  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 (G8  
     r]t )x*  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 >QI~`MiI  
     g2'x#%ET  
    所需工具箱子：光栅工具箱 xeB4r/6  
     >I-g[*  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ,U%=rfB~  
      5T/J%  
    建模任务 GEtbs+[  
    ]xR4->eix  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Ea4 * o  
    A7(M,4`6  
    ,xj3w#`zaf  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 6To:T[ z#  
     @,YlmX}  
    t{=i=K 3  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <~O}6HQ#  
     y.fs,!|%@  
    B<+pg  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     1C'P)f28  
    od(:Y(4  
    .ujj:>  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 7&px+155  
    >3+FZ@.iT  
    bHJoEYY^  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 08O7F  
    94+/wzWvi  
    [NZ-WU&&LP  
    X线偏振光模拟结果：
    WT?b Bf  
    EFwL.'Fh  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 HrDTn&/  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 9,w}Xe=C  
    RE*WM3QK~  
    rWqkdi1  
    Y线偏光模拟结果 Yg$@Wb6  
    KCl &H  
    }}s8D>;G~  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 'xsbm^n6a&  
    结论： -!i;7[N  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 z;U LQ  
    xkF$D:s P  
    {zY`h6d  
    QQ：2987619807     tK*%8I\s  
     
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