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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 w>YDNOk  
     ctUp=po  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Uz7<PLxd  
     W%J\qA  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 N;gfbh]  
     #1[u (<AS  
    所需工具箱子：光栅工具箱 Je{ykL?N  
     q:(%*sY>  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 4m)n+ll  
     W4N{S.#!  
    建模任务 _Y!IEAU/#  
    B1STGL`nK  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 he4(hX^  
    *8Z32c+C  
    626r^c=  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 iB{V^ksU  
     a =QCp4^  
    /o[w4d8  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 HP =+<]?{G  
     MJvp6n  
    #F#%`Rv1  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     L$-T,Kze  
    3u;oQ5<(v  
    >/|*DI-HJ  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 6 r"<jh#  
    3Y &d=  
    +0~YP*I`/  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 :>*7=q=  
    / +\9S  
    /NlGFO*Z  
    X线偏振光模拟结果：
    /\Ef%@  
    Z7#+pPt!  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 $k?>DP 4  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 :0ep( <|;  
    . ^u,.  
    i$@:@&(~Y  
    Y线偏光模拟结果 -%~4W?  
    Ngwb Q7)  
    VnzZTG s  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 9F vFhY  
    结论： G"6 !{4g  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 g{Rd=1SK]  
    hc1N ~$3!G  
    Rv=YFo[B  
    QQ：2987619807     G3 m Z($y  
     
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