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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 G<-KwGy,D
# ;a+)~3*O 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。
E/oLE^yL
iXo; e 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 pP":,8 Q{
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/[{xRXiR 所需工具箱子：光栅工具箱 PWl;pBo
=t-Ud^3 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 i4D]>
{U_ ,y(V 建模任务 "KK}} $> *uRDB9#9, 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 1gK^x^l*f 5*Zz_ .  "r@#3T $
oCOv
6( b}Gm{;s! 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 h SS9mQ
s3JzYDpy :2c(.-[`
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 )J @[8 x` seK;TQ3/7
c!6v-2ykv
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 oQ]FyV
 ,)xtl`fc
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 R P~67L
 3lWGa7<4Z
X线偏振光模拟结果： A2\hmp@A@7
Xk%eU>d
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 >ph=?M KD
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 dLH@,EKl)
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n-M6~
Y线偏光模拟结果 !1R?3rVQS
 <(Ar[Rp
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 I_8 n>\u
结论： h& 4#5{=
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ,/p+#|>C=
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QQ：2987619807 nt>3 i! l
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