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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 IqepR >5t  
     N`?/kubD  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 @K*W3&TO  
     -z-yk~F  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 4]p#9`j  
     ?mK&Slh.  
    所需工具箱子：光栅工具箱  -K8F$\W  
     2T(+VeMQ=  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 kF,ME5%  
     j%bC9UkE3  
    建模任务 {=Jo!t;f  
    m`q&[:  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 -}!mi V  
    52#6uBe  
    <,/7:n  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 c[ 0`8s!  
     (^g XO  
    /2/aMF(J  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 LdNpb;*  
     %t!S 7UD  
    m||9,z-  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     (>x05nh  
    OQ wO7Z  
    ,1Z([R*  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 >!']w{G  
    ]sVWQj  
    &s?uMWR  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |%F4`gz8KP  
    X?< L<:.  
    L'aB/5_%  
    X线偏振光模拟结果：
    kb/BE J  
    HOPy&Fp  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 5%fWX'mS  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 GU@#\3  
    f>ktv76  
    &zEBfr  
    Y线偏光模拟结果 2@z.ory.  
    {}Is&^3Z  
    y6[le*T  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ~re}6-?  
    结论： VzHrKI  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 </xf4.C  
    m}RZ )c  
    ,>kVVpu  
    QQ：2987619807     SvvNk  
     
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