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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 d /Zt}{  
     Rp}6}4=d  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 9OF5A<%"u  
     *=@Z\]"?  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 )bi*y`UM]  
     isWB)$q  
    所需工具箱子：光栅工具箱 gOgG23 x  
     ,0lRs   
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 P1Re7/  
     L!mQP  
    建模任务 iu*u|e  
    [#3:CDT  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 t(p  
    WDE_"Mm  
    cCyg&% zsT  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 0<!kGL5  
     gqZ7Pro.  
    4\Y=*X  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 6st(s@>  
     -Ah\a0z  
    Zu&trxnNf[  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Ls*.=ARq  
    G\jr^d\  
    hl6al:Y  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 |06J4H~k  
    8ru@ 8|r  
    LO# {   
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 cpu+"/\  
    *Vv ;NA/  
    .N/4+[2p(  
    X线偏振光模拟结果：
    u`E_Q8  
    KC q3S  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 "i_tO+  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 IGu*#>h  
    YJ rK oK}  
    //H+S q66  
    Y线偏光模拟结果 Y<a/(`  
    oDKgW?x  
    mc!3FJ  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 i,;Q  
    结论： Cv;z^8PZJz  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 z0g$+bhy  
    Y$oBsg\v  
    zx=A3I%7 A  
    QQ：2987619807     2R<1  ^  
     
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