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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 cHcmgW\4
?gJOgsHJP 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 I6j$X 6u
aaKN^ fi& 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 PGYXhwOI
l_EM8pL,f 所需工具箱子：光栅工具箱 ]BtbWKJBqe
*4U^0e 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 0ge $ p,
BJgW,huLy 建模任务 wUiys/ OVM ET _W- 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 4&xZ]QC)O5 cZH-"  `Q+ (LBP
MS>t_C( * 5
|)-E 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 F.-R r
pAb.c 8~90 3 0>Q
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 af#pR&4}
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@Ys!DScY,
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Jg]'+>,J
 ]Pry>N3G5
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 6An9S%:_
 UbEb&9}
X线偏振光模拟结果： e%4:)
IV!;
*+TH #EL2
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 nl(WJKq'
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 )+ 6v
o;W`4S ^
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altx=6'
Y线偏光模拟结果 |} {B 1A
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 >w-;Z>3Q@
结论： Ma'_e=+A
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 XYS'.6k(
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QQ：2987619807 2<`.#zIds
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