-
UID：317649
-
- 注册时间2020-06-19
- 最后登录2025-11-17
- 在线时间1888小时
-
-
访问TA的空间加好友用道具
|
案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \ CX 6~
*M/ :W =,t 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 #{?~XS
z'7XGO'Lo 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 pp{ 2[>
_+X-D9j(l 所需工具箱子：光栅工具箱 THARr#1b};
[+_>g4M~% 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 "n_X4e+18P
u 7:Iv 建模任务 md,KRE wr5v-_7r, 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。
[8~P
Pc^ T.jCF~%7F  Nv^b yWqu
^qzH( ~g{M f> bL
}L 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 OJd/#KFm
CW2)1%1iz e^'|<0J
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 PQp =bX, K:^0*5Y-k
RD46 @Q`
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 k?$I4&|5Nt
 X`1R &K;z^
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Lx tgf2r
 tt#dO@G#Fe
X线偏振光模拟结果： Kk*8
S8Y\@C?5
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 #?V rt, n
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 [h8s0
I~ :gi@OVV
b\"w/'XX
Y线偏光模拟结果 3%hq<
 +<j7^AEG
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 loO"[8i.k
结论： Bp3E)l
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 &!OEd ]
DzQ
DY9]$h*y
QQ：2987619807 I/%v`[
|
