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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 PEMkx"h +
.`or^`X3 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ,75)
KA3U W 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 fF Q|dE;cF
7"(!]+BW!O 所需工具箱子：光栅工具箱 qJ ey&_
e UPa5{P 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 jhu
&Wh
g \ mE 建模任务 eP{srP3 9 @W,jy$U 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 l|5 h ,_z79tC{s  [4)Oi-_Y>
"*g+qll!5d z8kO)' 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 Hv,|XE@Y
Qg> NJ\*Q 2e48L677-
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 QcegT/v O ts]e M 1;
| /.J{=E0K
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 W.wPy @yi
 F^!D[:;jK
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 Vk5Z[w a
 #w$Y1bjn
X线偏振光模拟结果： K_Y-N!h
-4Qu b{Uym
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ^2+Ex+
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 woI5a ee|
8R~<$ xz
XF`2* :7
Y线偏光模拟结果 ,p2UshOmd
 Cq5.g kS<
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 'n mGHorp
结论： UpoSC
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 B|`?hw@g+
u nDW2#GX
B-I4(w($
QQ：2987619807 _"DC )
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