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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 K W04  
     k]R O=/ ?M  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 1(q!.lPc  
     e{=7,DRH<  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 CFul_qZ/e  
     (d#?\  
    所需工具箱子：光栅工具箱 B'yN &3  
     OMKEn!Wq  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 .4_ ~ku  
     VrF]X#\)  
    建模任务 jq.@<<j|$  
    ]d$)G4X 1  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Q=e?G300#L  
    akd~Z  
    p@cPm8L3  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 @|-ydm0  
     fD,#z&  
    'd(}bYr)  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ~e%*hZNo  
     @q^WD_k  
    ZR..>=  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     d:A+s>`$M  
    O,^,G<`  
    >^<qke  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ]t(g7lc}U  
    j{p0yuZ)<  
    /^4)V8D_S  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 !o*oT}6n  
    X+&@$v1  
    ld9 zOq  
    X线偏振光模拟结果：
    1ed#nB %  
    _9L2JN$R6  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 vja^ O  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 x!I7vs~~zW  
    cG"jrQ  
    z2"2Xqy<U  
    Y线偏光模拟结果 @Ki`g(],P  
    3*8#cSQ/6o  
    i&_sbQ^  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 :$P < e~z'  
    结论： m1+DeXR_g  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 yGS._;#R  
    i~K~Czmok+  
    .' X$SF`  
    QQ：2987619807     g{<3*,  
     
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