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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {@u}-6:wAT  
     %KmB>9  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 fV.43E  
     Ueyt}44.e2  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 r4c3t,L*$I  
     =c8U:\0  
    所需工具箱子：光栅工具箱 )LYj,do  
     1% )M-io  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 N2_=^s7  
     :l>T~&/98  
    建模任务 }m<)$.x|P  
    8&=+Mw  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 u[jdYWQa  
    +Hb6j02#  
    EtH)E)  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 NwG&uc+Q  
     x./jTebeO  
    ZtEHP`Iin  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 [<sBnHbvQ.  
     Ac.z6]p  
    9& W\BQ  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     I#Tl  
    79%${ajSI  
    ii*Ty!Sa  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 DZXv3gnX  
    -c=IO(B/  
    qgca4VV|z  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 d~| qx  
    m`9)DsR N  
    |l ~BdP  
    X线偏振光模拟结果：
    ?XGZp?6  
    ^%d+nKx9nL  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 hpXu3o7e  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 RkLH}`#  
    cx2s|@u0  
    7B% @f9g  
    Y线偏光模拟结果 F;ONo.v;  
    YQN=.Wtc  
    .(S,dG0P  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 q{7s.m >  
    结论： i}<R >]S  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 z4-AOTo2y  
    H[,.nH_>+  
    m2|0<P@k!  
    QQ：2987619807     ^s5.jlZr@  
     
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