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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 zF.rs NY
gzvEy^X 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 P*T 'R
aG8}R~wH& 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 7qV_QZ!.
2J^6(vk 所需工具箱子：光栅工具箱 AQU4~g
mI
1j# ~:=I 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ]y@9 z b
{f3)!Pei`J 建模任务 C[gCwDwl Z$ kff-Y4 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 U")~bU LpeQx\  v $s3f|Y
gpVZZ:~ _-x|g~pV* 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 f{FW7T}O2
b/5?)!I D5Wo e&g,
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 "n," > S=~[ 6;G
fA m^-uq[
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 U8-#W(tRR
 21bvSK
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 f PZt*A__
 8{#W F#
X线偏振光模拟结果： ST5L
O#5
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探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ;e4 15T
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 BCYTlxC'
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Y线偏光模拟结果 0_q8t!<xJw
 f6vhW66:?x
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 i'OFun+-,
结论： ug{@rt/"Z
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 !TvNT}4 Z
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QQ：2987619807 7aRtw:PQn
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