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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Z^zbWFO]5  
     TJaeQqob  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 5j{Np,K  
     j$x)pB3]  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 S &JJIFftO  
     n|i"S`  
    所需工具箱子：光栅工具箱 \DA$6w\\  
     >fzwFNdo  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 1$ML#5+,  
     xd8 *<,Wj  
    建模任务 ['[KR BJL  
    ~|l IC !q  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 <y)E>Fl  
    M)!skU   
    47UO*oLS  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 +a|/l  
     6;oe=Q:Q  
    W f@t4(i  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ~p*1:ij  
     ;=jr0\|e  
    V5"HwN+`  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     6)e5zKW!?  
    kWL.ewTiex  
    1;&;5  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ^0tw%6:  
    :\yc*OtX  
    'iUg[{'+  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 7=P^_LcU  
    I^3:YVR&  
    &ZJgQ-Pc(m  
    X线偏振光模拟结果：
    Ip?]K*sq  
    ~`eHHgX  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Zb''mf\  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 z`$J_CjY  
    K:5eek  
    ,EEPh>cXc  
    Y线偏光模拟结果 I*\^,ow  
    Bct"X#W|&  
    H?yE3 w  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 2 x 4=  
    结论： `v nJ4*  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ~}%~oT  
    1u}nm;3  
    vtxvS3   
    QQ：2987619807     2KI!af[I  
     
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