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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 *<#$B}!{
1 R, ?kUa 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 " ,>,t_J
g"|/^G_6S 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 GI[XcK^*w
nmy!.0SQ- 所需工具箱子：光栅工具箱 r NT>{
:#nv:~2] 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Q)% a2s;
N*6lyFcg 建模任务 4fgYO] vf/|b6'y 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 . y N. >A*BRX"4C  rpM j DjW
h:~
8WV| \\v1 \ 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 =DLVWz/<
' "I-! + bP HtP\)
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ! ~3zp L g;._Q
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 V m]u- R`{
 B4{clI _i
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 zwJK|S k
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X线偏振光模拟结果： 1#
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探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 !rPU5y *
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 SioP`*,}
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Y线偏光模拟结果 6o=Q;Mezl
 R,f"2
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 kCvf-;b
结论： ^J?y
mo$>0
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 JH`oa1 b
Z;[f,Oj
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QQ：2987619807 tVqc!][
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