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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 9"f  
     1R"Z+tNB  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 y)mtSA8  
     9@wmngvM*Y  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 vBYk"a6SD  
     l\ HtP7]  
    所需工具箱子：光栅工具箱 H-t"Z}  
     ,$bK)|pGV  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 jh"YHe/X  
     Y{OnW98  
    建模任务 MQq!<?/  
    ~RRS{\,  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Ypwn@?xeP  
    dyVfDF  
    HleMzykF  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 M"5S  
     `ZGKM>q`  
    nHl{'|~  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 S^_F0</U,  
     bFsJqA.A  
    RuWu#tk  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     q@XxCP]  
    <`d;>r=4z  
    ZG8Xr "  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Ny G?^  
    V11 XI<V  
    rT';7>{g  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 O6 n]l  
    M`H@ % M  
    |'](zEwq  
    X线偏振光模拟结果：
    |nmt /[  
    $fG~;`T  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 a]@BS6  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 tf6 Zz[  
    g[(Eh?]Sc  
    A$-\Er+f  
    Y线偏光模拟结果 -;iCe7|Twf  
    Y7<(_p7  
    $lb$<  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 KN".0WU  
    结论： y\ax?(z  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 C=`MzZbJ  
    <ToRPx&E  
    9](RZ6A+o  
    QQ：2987619807     -ju}I  
     
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