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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 T\Ld)'fNv
i $: QOMA 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 +ZK12D}
)T26 cT$ 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 G>yTv`-
7U _OUUg 所需工具箱子：光栅工具箱 SWrP0Qjc
POt wT">z 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 @XR N#_{
0.}WZAYy~ 建模任务 ]E !b& >; }q 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 zUCtH* jdWA)N}kDG 
ROc)L CA
|E#+X C`LHFqv 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 aS,M=uqqK
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 >wOqV!0< \Q m1+tg
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ltH?Ew<]
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 1o*eu&@
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X线偏振光模拟结果： xYUC|c1Q9
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探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Nxd<#p
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 wq@{85
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Y线偏光模拟结果 )J<VDO:_YA
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 @W+m;4 HH
结论： 7j22KQ|EX^
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 8'}D/4MUr
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QQ：2987619807 .Fe_Z)i> h
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