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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ^qO=~U!{  
    vM7vf6  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ,LW+7yD  
    }l( m5  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 6WN(22Io  
    ^8NLe9~p3?  
    所需工具箱子:光栅工具箱 F|?'9s*;6G  
    =6L*!JP<  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 $tCcjBK\  
    pzq; vMr  
    建模任务 r1oku0o  
    0<@KDlF  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 7q!yCU  
    M6]0Y@@>  
    ~sU?"V  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 /Y[o=Uyl  
    j\'+wVyo  
    W 9Vz[  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )!k_Gb`#X  
    a1G9wC:e  
    nFe` <Al$N  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    E-sSRt  
    Kr/h`RM  
    *:9 >W$0u  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 5, -pBep<  
    8Y\OCwO  
    Y:%m;b$]  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 hB?,7-  
    kqD*TJA  
    1iJ0Hut}d  
    X线偏振光模拟结果:
    g={]Mzh  
    l*K I  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 >; &s['H  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 | "Jx  
    gT(th9'+z  
    ?aFr8i:)M  
    Y线偏光模拟结果 LBmM{Gu  
    (@)2PO /  
    D[89*@v  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Cf0|Z  
    结论: GS ;HtUQ  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 5zNSEI"PY  
    =[]x\&@t  
    URYZV8=B~  
    QQ:2987619807
    &|Lh38s@$#  
     
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