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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \Z-T)7S  
     "K n JUXpl  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 CB{% ~  
     YjN2 ,Xi  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 wYQTG*&h  
     R]O!F)_/'  
    所需工具箱子：光栅工具箱 /. GHR  
     ZqT?7|i  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 p%toD{$  
     SQhk)S  
    建模任务 k nrR%e;  
    <NZ^*]  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 }'mVD^<+  
    47>IT  
    DG,CL8bv  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。  =+9.X8SP  
     MG)wVS<d_  
    {U1 j@pKm  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 <3C~<  
     Pw i6Ly`  
    {j i;~9'Q  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ~CiVLS H=  
    6REv(E]  
    F4'g}y OLd  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }1E'a>^|  
    g"vg {Q  
    7OY<*ny  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ^HYmi\`  
    /z:pid,_0  
    Q;{[U!\:  
    X线偏振光模拟结果：
    ],CJSA!5F  
    os6p1"_\f  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 m8'B7|s  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 qOy3D~  
    rI34K~ P  
    ?O(KmDH  
    Y线偏光模拟结果 ;/+VHZP;  
    R\k= CoJJ  
    8:^`rw4a0  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Ncr38~;w  
    结论： a)J3=Z-  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 "8MG[$Y  
    d'ddxT$GG  
    %"tLs%"7=P  
    QQ：2987619807     'PPVM@)fU  
     
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