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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 =O1CxsKt6  
     !JUXq  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 TveCy&  
     H7G*Vg  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 =%Gecj  
     cRz7.9-<  
    所需工具箱子：光栅工具箱 {@g3AG%  
     Tz58@VYV  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 #0`2wuo {  
     CU6rw+Vax  
    建模任务 t)g1ICt  
    e.G&hJ r  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 :BCjt@K}  
    oLk>|J  
    ! Qrlb>1z-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 )vO Zp&  
     \l_RyMi  
    ih2H~c>O  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 U/,`xA;v>  
     al=Dy60|z  
    !6|Kpy8  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     S4s\tA<  
    gm8L5c V  
    TWl':}  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 @z$V(}(O^  
    65N;PH59D  
    Rb<aCX  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 =Xm [  
    2uS&A \   
    ;z#D%#Ztq  
    X线偏振光模拟结果：
    xBG&ZM4"^f  
    f'Wc_ L)  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 56u'XMB?  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ?A(=%c|,g  
    T{]Tb=  
    Y%p"RB[  
    Y线偏光模拟结果 9+@_ZI-  
    5'\/gvxIC  
    Gw!jYnU  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ?YXl.yj  
    结论： ~t<BZu  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 Ee9u7TFT  
    "My \&0-  
    L GK0V!W  
    QQ：2987619807     nfy"M),et  
     
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