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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ><iEVrpN  
    %o< &O(Y  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 xD#PM |I  
    @Zd+XWFw  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 YlOYgr^  
    jM J[6qj  
    所需工具箱子:光栅工具箱 a AYO(;3  
    HCQv"i}-  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 G~)jk+Qq  
    ,G1|] ~  
    建模任务 aq"E@fb  
    _%l+v  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ?zUV3Qgzj  
    t&SJ!>7_c  
    M "p6xp/  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 Q3%a=ba)h  
    ,: w~-   
    Jf`;F :  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 &dvJg  
    `ZN@L<I6  
    u]E%R&  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    G%ycAm  
    0]8+rWp|Nz  
    _wM[U`H}s  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 a[s%2>e  
    Cd#*Wp)s  
    |NtT-T)7  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 #Vn=(U4}!_  
    PGT!HdX#{  
    SrK;b .  
    X线偏振光模拟结果:
    L3q)j\ ls  
    ^'QcP5Fv  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 K *vNv 4  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 oiO3]P]P  
     g/+M&k$  
    aC3\Hs  
    Y线偏光模拟结果 l=9 &  
    ~\<ZWU<BE  
    #2yOqUO\  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 B>X+eK  
    结论: T<zonx1  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 MBcOIy[&A  
    g/z9bOgIX  
    1:YDN.*  
    QQ:2987619807
    l0D.7>aj  
     
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