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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ^qO=~U!{ vM7v f6 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 ,LW+7yD }l(m5 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 6WN(22Io ^8NLe9~p3? 所需工具箱子:光栅工具箱 F|?'9s*;6G =6L*!JP< 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 $tCcjBK\ pzq;vMr 建模任务 r1ok u0 o 0<@KDlF 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 7q!yCU M6]0Y@@> ~sU?"V 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 /Y[o=Uyl j\'+wVyo W 9Vz[ 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )!k_Gb`#X a1G9wC:e nFe` <Al$N 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 E-sSRt Kr/h`RM *:9 >W$0u 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 5,
-pBep< 8Y\OCwO Y:%m;b$] 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 hB?,7- kqD*TJA 1iJ0Hut}d X线偏振光模拟结果: g={]Mzh
l*K I 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 >;
&s['H 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 |
"Jx gT(th9'+z ?aFr8i:)M Y线偏光模拟结果 LBmM{Gu (@)2PO/ D[89*@v 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Cf0|Z 结论: GS
;HtUQ 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 5zNSEI"PY =[]x\&@t URYZV8=B~ QQ:2987619807 &|Lh38s@$#
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