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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 _p0@1 s(U  
     r]JV !'R  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 oD1rt>k  
     s6=jHrdvv  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 L-. +yNX)  
     _Q XC5i  
    所需工具箱子：光栅工具箱 cQM_kV??!  
     G)~/$EF,_  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 +S/OMkC  
     "m2g"x a\7  
    建模任务 j{QzD^t  
    aY:u-1  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 m5i?<Ko@  
    =+>cTV  
    f_\,H|zco)  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 %DOV)Qc2  
     _,r2g8qm  
    T$ w`=7  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 {v3?.a$ u  
     #R^^XG`1  
    Q`= ,&;T>  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     j >pv@D  
    wz[Xay9jW  
    ":igYh  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 ::<v; `l  
    +"P!es\q  
    vca]yK<u  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 C?OqS+  
    -!Ov{GHr0  
    4$W}6 v  
    X线偏振光模拟结果：
    u9c^:Op  
    Cpg>5N~;L  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 QVT|6znw  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 o paRk.p  
    85e!)I_  
    ;q5.\m:  
    Y线偏光模拟结果 cmcR @zv  
    58]C``u@Y  
    LZ'Y3 *  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Q}zd!*  
    结论： 5EX Ghc'  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 `J l/@bE=  
    1 r9.JS  
    m7 $t$/g  
    QQ：2987619807     V'iT>  
     
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