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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 FM\[].
) EXJ 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 hKN6 y%
zJ C EA 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ^Xs]C|=W
YtYy zX5u7 所需工具箱子：光栅工具箱 taDQ65
:0I
l|aB 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Hi8Y6|y$D
(a#pvEY 建模任务 Nw pS)6<- ti2 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 vRr9%z x moG~S]  X"<|Z]w
~kb{K; 2 Y+:,ud\ 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 [h-norB((
D#0O[F@l## 8 Z 8Y[p
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 ,LUTHWEo"I wS$46M<
u)~s4tP4
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 vYnftJK&
 A*i_|]Q
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 rQj~ [Y.c
 kUbnVF5'
X线偏振光模拟结果： fM ^<+o@
z<<Tk.65
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 0roCP =;
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 u-.L^!k
- _t&+5]
m UgRm]
Y线偏光模拟结果 z_l. V /G)
 'n4u-pM(nB
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 vGN3 YcH
结论： % wL, v.}
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 2C1+_ IL
8&.-]{Z
M[s\E4l:t
QQ：2987619807 o;QZe&
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