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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 FC q&-  
     V[^ +lR  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 Y5R|)x  
     W;^6=(&xn  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 |gwGCa+  
     ,c6c=di  
    所需工具箱子：光栅工具箱 abtYa  
     dCO7"/IHW  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 L5n/eg:Q  
     *f k3IvAXu  
    建模任务 vhz Q.>  
    Zd~Q@+sH  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 &.chqP(|  
    VmP5`):?b  
    q?=_{oH9  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 a'|/=$  
     Gi Max  
    oA`G\Xh_E  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 miEf<<L#z  
     ZeE(gtM  
    _64<[2  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ~4=XYYcka  
    U!i@XA%P  
    !HSX:qAP$  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 P%y$e0  
    qLk7C0  
    :r+F95e  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ,'a[1RN  
    41 #YtZ  
    y2:Bv2}  
    X线偏振光模拟结果：
    #/o1D^  
    O_^ uLp  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 U{ ZKxE  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ku^0bq}BrH  
    a~A"uLBR  
    '$y.`/$  
    Y线偏光模拟结果 |6T"T P  
    U{PFeR,Uk  
    gjc[\"0a5h  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 <59G  
    结论： +{[E Ow  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 Bt(U,nFB  
    -MuKeCgi  
    Azag*M?  
    QQ：2987619807     6;p"xC-  
     
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