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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 :UhFou_D4l  
     J2 rLsNC]0  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 :56lzsWUE<  
     xXU/m|  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 uQ%HLL-W/  
     :D+ SY  
    所需工具箱子：光栅工具箱 ^n45N&916  
     kzVI:  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 3JE;:2O~P  
     ='bmjXu  
    建模任务 *ckrn>E{h  
    bq6{ty"  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 5WNg+  
    ah Xq{>  
    ]qza*ba  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 6 % y)  
     "0 PN  
    uF3p1by  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 WJSHLy<a  
     qM:)daS1w  
    /GSI.tO  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     &N7:k+E  
    F+$@3[Q`N  
    WmVw>.]@~  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 +$= Wms-z  
    D_ZBx+/_?  
    h7]]F{r5  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 o>A%}YU  
    yoY)6cn@  
    Mjvso0zj  
    X线偏振光模拟结果：
    !6/IKh`J  
    4"X>_Nt6  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 , sJfMY  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 6dy4{i  
    8(f0|@x^  
    K y4y  
    Y线偏光模拟结果 p;t!"I:`?  
    ?ZV0   
    }~C ZqIP  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 qf=[*ZY  
    结论： y{?jr$js<  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 ^-;Z8M  
    n03SX aU~V  
    R"t$N@ZFb  
    QQ：2987619807     5'-9?-S"  
     
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