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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ydyGPZ t  
     7w U$P  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 q:9#Vcw  
     clwJ+kku@  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 YsHZFF  
     Rt{`v<  
    所需工具箱子：光栅工具箱 3w B03\P  
     DrTo")T  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 $j\UD8Hj'-  
     p`i_s(u  
    建模任务 =c>w  
    EpO5 _T_  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Jrkj foN  
    !w[io;  
    ]-D;t~  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 B:pIzCP  
     [AZN a  
    bS9<LQ*  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 H$/r{gfg^  
     d/57;6I_  
    J"x M[c2  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。      ThLnp@  
    C98 Ks  
    7D;g\{>M  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 >9S@:?^&q>  
    Pkm3&sW  
    ~x>?1K  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 #h 4`f  
    Z L3aO,G2  
    :V%XEN)  
    X线偏振光模拟结果：
    F_Q?0 Do0'  
    c==` r C  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ^r7-|  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 W|PKcZ ]Uc  
    nj7wc9z4  
    IkU:D"n7  
    Y线偏光模拟结果 +N9(o+UrU  
    QX*HvT  
    8G>;X;W  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 #NAlje(7  
    结论： `dYM+ jpa  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 "))G|+tz  
    r2EIhaGF;  
    >?$+hZz<  
    QQ：2987619807      [>'P  
     
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