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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟  b:QFD|  
     A]+h<Y~}  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 !TOi]`vqc  
     cO RMR!  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 m3(T0.j0P  
     $i@EfujY  
    所需工具箱子：光栅工具箱 7L+X\oaB  
     a!:8`X~[/$  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Doh|G:P]#  
     B#?2,  
    建模任务 !~N4}!X3du  
    "k<:a2R  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 |3,V%>z  
    W #L"5pRg  
    U+"=  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 <VU4rk^=  
     ]pV1T  
    icul15'i  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 yOK])&c  
     Z&w^9;30P  
    p}A4K#G  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     M91lV(Z   
    1mJ_I|98  
    !NYM(6!(  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 iL_F*iK5  
    7F(F.ut  
    ,GJ>vT)  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 _qeuVi=A  
    EOX_[ek7  
    1 j12Qn@]  
    X线偏振光模拟结果：
    R2O.}!'  
    3Y{)(%I  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 T#n1@FgC  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 vif8 {S  
    KKjxg7{K  
    ^dnz=FB  
    Y线偏光模拟结果 8RAeJ~e  
    o~x39  
    :pDY  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Yb\\ w<@g  
    结论： 0O#B'Uu  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 WjrMd#^  
    =*g$#l4  
    >_`D3@Rz  
    QQ：2987619807     >yBxa)  
     
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