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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ZBUEg7c  
     |Ah'KpL8W  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 4"nb>tA  
     KmG*`Es  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 SxI='z_S.f  
     n6Je5fE  
    所需工具箱子：光栅工具箱 `q@5d&d`j  
     {N42z0c  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 0JN>w^  
     UzTFT:\  
    建模任务 |qnAqzK|  
    .76T<j_  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 _bRd2k,  
    OGpy\0%  
    ^lud2x$O^C  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ND $m|V-C  
     @~,&E*X! .  
    !W4A 9Th  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 6O"?wN%$  
     va 7I_J   
    a~ sU  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     C-O~Oil  
    6Lj=%&  
    T;!: A  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 }-jS0{i  
    gT8Q:8f:  
    Gmi ^2?Z(  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 q$RJ3{Sf  
    Hj(ay4 8  
    v8 rK\  
    X线偏振光模拟结果：
    m.!n|_}]  
    W}jel}:  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 w{TZN{Y  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 %:Mi6 sR|  
    5^lFksZ  
    kd55y  
    Y线偏光模拟结果 nY y%=B|>  
    9bu}@#4*  
    -7-r~zmr  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Ad7N '1O  
    结论： y#tuwzE  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 d?[gd(O  
    tV.qdy/]}  
    ufl[sj%^|  
    QQ：2987619807     5>CmWMQ  
     
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