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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ,Jrm85 oG  
     M.qE$  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 fL(_V/p^  
     weH;,e*r  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 k 5gvo  
     Rt.2]eZEJ  
    所需工具箱子：光栅工具箱 0JE*|CtK  
     #sm@|'Q%  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 y?'Z'  
     C23Gp3_0/  
    建模任务 LkyT4HC8n  
    ovk^  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 7hlzuZob+y  
    E>c*A40=.n  
    D4jZh+_|S  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Esdv+f}4;  
     wd*V,ZN7  
    +<Y1`kV)  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 *4y0Hq  
     -&h<t/U  
    @{@DGc  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     }6To(*  
    :Qu.CvYF  
    a|-B#S  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 mXT{c=N)w  
    RDxvN:v  
    Ri/D>[  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 09 v m5|  
    Dc9Fb^]QOG  
    uoq|l  
    X线偏振光模拟结果：
    Zt \3y  
    3Vk<hBw2  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 !-Uq#Ea0/  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 w""  
    $Yj4&Two<  
    , }B{)  
    Y线偏光模拟结果 PNpH)'C|  
    LHMA-0$?)  
    9gFfbvd  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 'XI-x[w  
    结论： <z QUa  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 .-:@+=(  
    a?X #G/)  
    DI\^&F)3T2  
    QQ：2987619807     ~}Z'/ zCZf  
     
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