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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 :$P1ps3B
Q j|tD+< 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 l2Rnyb<;;
x>T+k8[n 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 z+zEH9.'
]4K4Nh~ 所需工具箱子：光栅工具箱 >8$Lqj^i
zp zxCzU 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 #n|eq{fkK
oP:R1< 建模任务 d(KK7SQg y,qn 9 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Dg}EI^ d .4<lw  T?tZ?!6
z 8#{=e {V8uk $ 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 3l$ D%y
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-(Zx F9A5 }/\
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 \# F>R, >Dz8+y
15Jc PDV
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 #GUD^#Jh
 7E5 =Qx
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 l70 1$>>
 (io[O?te
X线偏振光模拟结果： `-?`H>+OG
,H$%'s1I(
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 :0bjP Qj
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 7)FYAk$@
]x%sX|Rj
lfr^NxO U
Y线偏光模拟结果 1Cw$^jd
 K;>9K' n
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 X|}Q4T`
结论： 5Z=GFKf|
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 gQ<{NQMzvd
yDj'')LOQg
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QQ：2987619807 T Fz k5
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