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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 u3ST;
@gEr+O1K( 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 *t]v}ZV*
AJdp6@O + 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 tJAnuhX
_-RyHgX 所需工具箱子：光栅工具箱 > e/ r2U
i&*<lff 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 &}E:jt}
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&!X A 建模任务 6uq UiRs() lCHo+>\Z 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Cdmy.gx^ KGD'mByt"  #N$9u"8C
1f R P1 [4: Yi {> 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 MnS+ nH!d
qX?[mdCHZ *D c@CmBr
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 K[]K53N k ]' g:B p
Fpf><Rn
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Sc{Tq\t;%
 h7*O.Opm =
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 G1 [(F`t>
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X线偏振光模拟结果： ]!faA\1
I)lC{ v
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 OpUA{P
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 * :S~C
G Ft1
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Y线偏光模拟结果 @ ,e8t BL
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 %6HX*_Mr &
结论： 61>f( ?s
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 E-F 5y
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QQ：2987619807 I^:F)a:
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