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案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {+&qC\YF *b@YoQe3! 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 DnZkZ;E/ )zR(e>VX 关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 0F495'*A *C*'J7 所需工具箱子:光栅工具箱 yG`J3++
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?% 相关案例:G.001a,Scenario 104.01 S-$N! G~! (pl|RmmDz 建模任务 /2n-q_ 'fqX^v5n 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ?Bdhn{_ e;kH,fHUI3 mYy{G s7 双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 c8^M::NI VJeoO)<j 7l%]/`Y- 为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 x2m*0D~ `k 5'nnyP sr=~Uq{g 选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 <;R}dlBASW :?*|D p1 -Dx_:k|k 选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 h
"MiD |A'y|/)#Z i1OF@~? 堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 7Ntt#C;]U
WB7pdSZ n I63Ns X线偏振光模拟结果: #%;QcDXRe vSOO[.= 探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 c,K)*HB 在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 I:ag}L8` C3XB'CL6 .;1tu+S Y线偏光模拟结果 N5yt'.d $y0[AB|V .9cQq/{b 对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ZCT\4Llv# 结论: !>,\KxnM 严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 7O=N78M @Nm; lZK -&Cb^$.-x QQ:2987619807 Z4^O`yS9+
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