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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 {+&qC\YF  
     *b@YoQe3!  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 DnZkZ;E/  
     )zR(e>VX  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 0F495'*A  
     *C*'J7  
    所需工具箱子：光栅工具箱 yG`J3++ S  
     2qF ?%  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 S-$N!G~!  
     (pl|RmmDz  
    建模任务 /2n-q_  
    'fqX^v5n  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ?Bdhn{_  
    e;kH,fHUI3  
    mYy{G s7  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 c8^M::NI  
     VJeoO)<j  
    7l%]/`Y-  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 x2m*0D~  
     `k 5'nnyP  
    sr=~U q{g  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     <;R}dlBASW  
    :?*|Dp1  
    -Dx_:k|k  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 h "MiD  
    |A'y|/)#Z  
    i1OF @~?  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 7Ntt#C;]U  
    WB7pdSZ  
    nI63Ns  
    X线偏振光模拟结果：
    #%;QcDXRe  
    vSOO[.=  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 c,K)*HB  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 I:ag}L8`  
    C3XB'CL6  
    .;1tu+S  
    Y线偏光模拟结果 N5yt'.d  
    $y0[AB|V  
    .9cQq/{b  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ZCT\4Llv#  
    结论： !>,\KxnM  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 7O=N78M  
    @Nm;lZK  
    -&Cb^$.-x  
    QQ：2987619807     Z4^O`yS9+  
     
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