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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 ,JfP$HJ  
     d=dHY(ms]  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 +%Z:k  
     !\cVe;<r  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 k+~2 vmS  
     o $'K}U  
    所需工具箱子：光栅工具箱 XXxH<E$p  
     `W.g1"o8W4  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 p5l|qs  
     ,h<x Y>  
    建模任务 $@84nR{>  
    gZ8JfA_\R(  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 1p=bpJC  
    ,\N4tG1\  
    ()5X<=i  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 U65oh8x  
     wQa,o l_p  
    OxUc,%e9P  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ,.0B0Y-X  
     4 RfBXVS  
    Z/d {v:)  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     Y(gai?  
    |Qn>K   
    G!o6Y:1!  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 N1"p ;czK  
    {7%(m|(  
    taMcm}*T1  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 HVK0NI  
    KNR7Igw?}  
    v# e*RI2}  
    X线偏振光模拟结果：
    @FF80U4'  
    <C451+95  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 8,(--A  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 ZD4aT1|Q7  
    N 6> rU  
    5 ed|]LP  
    Y线偏光模拟结果 lgZ9*@d  
    ! Y&]Y G  
    *Ea)b -  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 trB-(B%5  
    结论： ./^8L(  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 &h_Y?5kK  
    b_7LSp  
    G ]uz$V6!  
    QQ：2987619807     n)\(\V7  
     
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