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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 |JUb 1|gi  
     y v$@i A  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 1v<,nABuJ6  
     FW~{io]n  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 cWNZ +Q8Y  
     4qd =]i  
    所需工具箱子：光栅工具箱 t K $r_*  
     bF85T(G  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 qdM=}lbc  
     .5S< G)Ja  
    建模任务 *btLd7c%  
    !!{!T;)l  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 Moldv x=M  
    '8k{\>  
    : ~R Y  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 i 4}4U  
     ZqDanDM  
    "M-zBBY]  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 &Zzd6[G+  
     C >@T+xOZ  
    B4&K2;fg_  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     |9fvj6?Y  
    rXIFCt8J  
    {?!0<0  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 7EfLd+  
    =do*(  
    _,"?R]MO  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ~.:9~(2;  
    !,SGKLs.m  
    #`g..3ey  
    X线偏振光模拟结果：
    -(Zi  
    @|=JXSr!KY  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 LH:M`\(DL1  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 Iu)76Y@=5=  
    5PcN$r"P  
    <n+]\a97*  
    Y线偏光模拟结果 ]* #k|>Fl  
    F2N)|C<  
    !vrdu OB  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 nEG+TRZ)\  
    结论： ~!Ar`= [  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 .uoQ@3  
    Q#h*C ZT  
    ~Z{IdE  
    QQ：2987619807     ]Qu.-F#g  
     
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