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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 \dw*yZ^  
     W: vw.  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 i$!-mYi+Q!  
     {%Q &CQG_  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 o$+"{3svw?  
     {P@OV1  
    所需工具箱子：光栅工具箱 SN/ e41  
     %>Y86>mVz  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 eW^_YG%(  
     /K<.$B8  
    建模任务 l d4#jV ei  
    Km9Y_`?  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 `8rInfV  
    W_ hckq.  
    ({_Dg43O'[  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 }D>nXhO&  
     1JXa/f+  
    &?mJL0fy  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 vkQkU,q  
     ;.4A,7w#  
    b 5X~^L  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     dJ}E,rW}  
    A$]&j5nh|  
    i-`n5,  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 /?wH1 ,  
    <_~>YJ  
    1EvK\  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 1^4z/<ZWm  
    ni$S@0  
    x{';0MkUV  
    X线偏振光模拟结果：
    U*s QYt<?g  
    CZL:&~l1  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 v2uyn  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 g:sn/Zug]  
    z]Dbca1a`  
    q`8M9-~  
    Y线偏光模拟结果 uYv"5U]MFv  
    v8>?,N#  
    a*Oc:$  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 0[qU k(=}[  
    结论： ub0uxvz  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 {:;599l  
    6.!Cm$l  
    ,#FK3;U  
    QQ：2987619807     (ugB3o  
     
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