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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 OTy{:ID  
     #B$r|rqamq  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 %tK^&rw%  
     FN+x<VXo(  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 &eA!h  
     )(/Bw&$  
    所需工具箱子：光栅工具箱 /s~(? =qYH  
     4{v?<x8  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 GEs5@EH  
     XI5TVxo(q  
    建模任务 Jc=~BT_G  
    O)FkpZc@9c  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 .EfGL _  
     S!Bnz(z  
    ~[Fh+t(Y  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 px=k&|l  
     H~1o^ gU  
    LlF|VR&P.  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 &=.SbS  
     F?c : ).g  
    h 7/wkv\y9  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     dxa[9>V  
    SB) Hz8<  
    s$3WJ'yr  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 )b=m|A GX  
    b/]@G05>>  
    .-mlV ^  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 eZbT;  
    aYmN' POi  
    9O{b8=\}  
    X线偏振光模拟结果：
    95IR.Qfn!  
    rvUJ K,oE  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 gyT3[*eh  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 EmYu]"${1  
    d%lwg~@&|5  
    y**>l{!!  
    Y线偏光模拟结果 b8O }XB  
    @|;XDO`k;  
    8h{;*Wr-  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 b/g~;| <  
    结论： f1wwx|b%.  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 6xW17P  
    3;er.SFu{  
    3f)!RKS9q  
    QQ：2987619807     /8[T2Z!  
     
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