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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01:镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 <mHptgd,  
    |Ix6D  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟,它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 o!mf d}nG  
    Td[w<m+p<P  
    关键词:严格分析,FMM,正弦光栅,镀膜 qt]QO1pAd  
    vVyO}Q`  
    所需工具箱子:光栅工具箱 Y=X"YH|  
    OdQ >h$ gZ  
    相关案例:G.001a,Scenario 104.01 <0P`ct0,i  
    ,-  ]2s_  
    建模任务 bI[!y#_z4  
    qq-&z6;$  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅,使用光栅效率分析器分析光栅。 ;TSnIC)c  
    2`5(XpYe  
    N(Y9FD;H  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面,打开编辑对话框,添加光栅。 x+B~t4A  
    7~\Dzcfk"P  
    wdBytH6r.  
    为了在严格模拟时添加镀膜,必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 rQ}4\PTi  
    1ISA^< M  
    W/oRt<:E  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。
    3FPy"[[  
    'lC"wP&$  
    xHsH .f_{  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 (m;P,*  
    i?=3RdP/R1  
    };oRx)  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 {J})f>x<xM  
    i`&yPw  
    vlIdi@V  
    X线偏振光模拟结果:
    1)_f9GR  
    ^\N2 Iu>6  
    探测器主窗口中可以看到结果信息,镀膜后的反射率显著加强。 y=h2_jt  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 1+eC'&@Xjt  
    6}iIK,Om  
    eE7 R d>  
    Y线偏光模拟结果 ) 2S0OY.  
    |<y[gj4`T/  
    JS(KCY9  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 5mSXf"R^  
    结论: N)poe2[  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小,这是加工过程中经常出现的问题。 1<\cMY6  
    yWzvE:!)  
    ;k b^mJE  
    QQ:2987619807
    PNc200`v4_  
     
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