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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 TJyH/ C  
     3I;xU(rv  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 s#+"5&!s  
     '!+ P{  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 da9*9yN  
     HeT6Dv  
    所需工具箱子：光栅工具箱 z@Z_] h  
     #7-kL7 MK]  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 _UH/}!nqB  
     ~}7$uW0ol  
    建模任务 wuBlFUSg  
    GCP{Z]u  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 oeu|/\+HW  
    ^)9MzD^_nV  
    B@"SOX  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 KJ0xp h f  
     (c(-E|u.  
    wO2V%v^bp  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 P0'e"\$  
     KrdZEi vb  
    H-/; l54E  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ( Lok  
    fCt^FU  
    ?AeHVQ :C  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 H )BOSZD  
    2~G,Ia  
    3~[`[4n^  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 h*;g0QBkl  
    lgkl? 0!  
    H4PbO/{xO  
    X线偏振光模拟结果：
    =_$XP   
    =~GE?}.o  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 N_u&3CG  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 QHHW(InG<  
    Je#!Wd  
    XKz;o^1a^  
    Y线偏光模拟结果 _o@(wGeu#  
    g9yaNelDh)  
    0t#NMW  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 '}U_D:o.b  
    结论： _u:>1]  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 N3uMkH-<  
    BA~a?"HS  
     /6+1{p  
    QQ：2987619807     fH{9]TU_:  
     
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