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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [8xeQKp4  
     S$ Ns8=  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 >N :|Km\  
     iXt4|0  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 uPM8GIvZX.  
     WT;.>F  
    所需工具箱子：光栅工具箱 'O!Z:-qE  
     bCH*8,Bmh  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 |TC3*Y  
     D!81(}p  
    建模任务 Kc%tnVyGh:  
    [_B+DD=}  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 BDarJY  
    ?v0A/68s#  
    e5]&1^+  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 _%AJmt}  
     e);bF>.~  
    B:.;,@r]  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 !"Z."fm*  
     g}\U, (  
    NN31?wt  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     azz#@f1  
    :u[ oc.  
    !7kAJG g  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 @n5;|`)\  
    6,CU)-98G  
    w0q?\qEX  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 XHwZ+=v  
    ^bZ<9}  
    bCJ<=X,g`K  
    X线偏振光模拟结果：
    ~(Ih~/5\^  
    8=ukS_?Vy  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 +?4*,8Tmmz  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 3n}s CEt=  
    |SSf G~r  
    EF*oPn0|  
    Y线偏光模拟结果 B^Rw?: hN  
    GU;TK'Yy?  
    y<IZ|f  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 'l0eo' K  
    结论： n $D}0wSM/  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 PVQ#>_~5  
    te!]9rR  
    %l9WZ*yZ`2  
    QQ：2987619807     %^Q@*+{:f  
     
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