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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 U_B`SS
)[sSCt] 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -IV-"-6(
dnPr2oI?I 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 1nLFtiki
Xw^:<Nx: 所需工具箱子：光栅工具箱 yNx"Ey dk`
M T&q~jx* 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 )^^}!U#|e
[qt^ gy) 建模任务 N) z]
F9Kg Y50$ 2%kM 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 qn\>( & ',RR*{I  R91u6r#
s{j3F :\1&5Pm ] 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ' :] w
z!j`Qoh?V9 %^ E>~
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 Ipmr@%~ 0$49 X
a-DE-V Uls
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 8%U )EU
 &jPsdv h
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 c Ky%0oTla
 {gi"ktgk
X线偏振光模拟结果： tv|=` ~Y
PwNLJj+%
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 I 3aE g
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 (/Y
gcT
`0 F"zu
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Y线偏光模拟结果 RMrt4:- DI
 pV-.r-P
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 Wj*6}N/
结论： Ip 1QmP
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 "|&*MjwN6
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QQ：2987619807 $fvUb_n
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