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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 Jko=E   
     -M T1qqi  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 4}*.0'Hz  
     +.rOqkxJ  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ?V~vP%1  
     &?xtmg<d  
    所需工具箱子：光栅工具箱 /74h+.amg  
     X -=M>H^  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Gv#bd05X  
     m9D Tz$S.  
    建模任务 ]vV)$xMX  
    $n47DW &  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 =CdrhP_  
    jlqSw4_  
    |-cXb.M[  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 mxpw4  
     7@k3-?q  
    !4Sd^"  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 ^;[_CF _  
     ]!jfrj  
    ofI,[z3  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     V)u#=OS  
    /3sX>Rj  
    s%~Nx3,  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 X Vo+ <&  
    Rz&}e@stl  
    ~Dw% d;  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 q]Xu #:X  
    c7WOcy@M  
    +^AAik<yl  
    X线偏振光模拟结果：
    i],~tT|P  
    S<i. O  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 V|awbff:  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 LN5q_ZvR  
    -r~9'aEs  
    <F-IF7>a  
    Y线偏光模拟结果 qwn EVjf  
    [a~@6*=  
    _~P &8  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 pbwOma2  
    结论： &t!f dti  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 RjrQDh|((  
    $GhL-sqm  
    @$%.iQ7A;  
    QQ：2987619807     ;'[?H0Jw'  
     
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