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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 MT#[ - M\
gu .))3D9 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 B8#f^}8
A`8}J4 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ^&w'`-ra
GPh wq n{ 所需工具箱子：光栅工具箱 ea[a)Z7#
z )}wo3 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 P@T $ 6%~
qP .VK?jF| 建模任务 B xN#Nk~ wCE fR!i 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 93p9?4;n- WE8L?55_Au  ljR?* P
K/LaA4 GMp'KEQQ 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 E":":AC#
I :2jwAl [~r $U S
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 rN!9& 5<ya ;iK
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选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 O!cO/]<
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堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 I3=Sc^zz&V
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X线偏振光模拟结果： eMMiSO!3
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探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 v?' k)B
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 C4d1* IQk
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K1:)J.ca_
Y线偏光模拟结果 '$ nGtB5
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 9Yne=R/]
结论： 7.'j~hJL
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 \}&w/.T
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QQ：2987619807 X~VZ61vNu
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