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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 zHQSx7Ow 5
N?mQ50o~C 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 `z6I][Uf
KyRcZ" 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 _h P7hhR
lemUUl(^ 所需工具箱子：光栅工具箱 E Ks4N4k
LVBE+{P\5? 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 SH1)@K-
,uCgC4EP 建模任务 .]K{8[:hq o#=O5@>ai 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 [|APM MYK1 78t:ge
eX  L-Pq /x2r
eIt<da<G? ,^&amWey 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 l
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选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 %"BJW k[]2S8K2
AkVgFQg"
n
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 _ +}#
 gH|:=vfYUR
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 } o@Dsx5
 A\)~y{9bQ
X线偏振光模拟结果： w'a3=_nW
t`E e/L%
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 ^.@F1k
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 4>(rskl_
K5}0!_)G
@ 3,:G$,
Y线偏光模拟结果 Nh"U~zlh
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对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 /J[s5 {
结论： lHc9D
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 "*ww>0[
L4or*C^3
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QQ：2987619807 o8u;2gZx
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