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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 0\EpH[m}-  
     +3/k/W  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 oeu|/\+HW  
     DnG/ n  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 t?]\M&i&  
     F=-uDtQ <N  
    所需工具箱子：光栅工具箱 {z5V{M(|w3  
     5#TrCPi6A  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ;gxN@%}@  
     o27 3|*  
    建模任务 H-/; l54E  
    7d|*postv  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 ,>bGbx  
    YM #  
    >-_:*/66!  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 ?q d,>  
     Ie G7@  
    ^eT DD  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 `G=ztL!gq  
     {h/OnBwG  
    h` irO 5  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     p3M#XC_H]  
    kfMhw M8kP  
    TIcd _>TW  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 zuC58B  
    sBP}n.#$  
    j!zA+hF (  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 ]dPVtk  
    &\;<t, 3A~  
    2-vJv+-  
    X线偏振光模拟结果：
    'O.+6`&  
    y-w2O]  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 9">zdFC'  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 "rme~w Di  
    l^DINZU@  
    =y)p>3p}&  
    Y线偏光模拟结果 uL2"StW  
    l,*yEkU  
    ! (2-(LgA  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ?TvQ"Y}k  
    结论： ;j>*;Q`  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 u~$WH, P3  
    Ni+3b  
    vVI6m{zYV  
    QQ：2987619807     a{<p '_  
     
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