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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 1 a gI/R
eAbp5}B 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 =z
+iI;
+pJ~ <ug] 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ]5j1p6 ;(`
^F`\B'8MF 所需工具箱子：光栅工具箱 '=]|"
`& }C *i" 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 ThJ`-Ro
_$BH.I 建模任务 U~YjTjbd 8Xk,Nbcqt 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 W,sPg\G 3 4dI =  QN OA66
* 4RL ^fxS=Qs+ 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 y`p(}X`>
B5 H=# Cy'! >
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 nj5Hls [Cf{2WB:7
:dj=kuUTbu
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 Q'K[?W|C
 } {<L<
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 =E4~/F}9/T
 EK<ly"S.
X线偏振光模拟结果： w]= c^@t _
hxx` f-# =
探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 HC/?o0
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 [-'LJG Wb<
i $;y
P_N i
5s)
Y线偏光模拟结果 !S5_+.U#
 5Int,SX
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 ,G!mO,DX
结论： f4r) g2Zb[
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 f T
8u4Fag Q,
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QQ：2987619807 = %oQIx
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