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案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 8=Xy19<;t
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? TLID 这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 -r )Q| U
vq -Tq> 关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 g
<S&sYF5
1S / KT4 所需工具箱子：光栅工具箱 vP z$jeA
9%55R >s$ 相关案例：G.001a,Scenario 104.01 2+y<&[A8U
D/[(}o( 建模任务 r`Y[XzT9 mxt fKPb 加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 O~ s v^ 1Tz5tU9kR  XUTI0
yxP(| gmtp/?>e 为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 )!M %clm.
p B* 8D ^x8*]Sz#x
选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。 JG\T2/b :)hS-*P
`}<x"f7.z
选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 /qM:;:N%j
 @AET.qGC
堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 nW#UB tZ
 [*^` rQ
X线偏振光模拟结果： Jm0o[4
Z&BJ/qk
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探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 [\+"<;m$
在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 2
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Y线偏光模拟结果 b'F#Y9
 8NU <lV`
对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 euO!vLd X
结论：
Ne>yFl"u
严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 O)v?GQRj
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QQ：2987619807 zb<Y YJ]
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