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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 naYrpK,.  
     gv)P]{%^  
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 )4gJd? 8R  
     F`Q[6"<a  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 ,9}h  
     A+"ia1p,}  
    所需工具箱子：光栅工具箱 #\.,?A}9  
     JORGj0v  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 Jq&uF*!  
     .TND  a&  
    建模任务 h_:C+)13`x  
    wsIW |@  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 aT)BR?OYSJ  
    0=* 8  
    2jg-  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 #fM#p+v  
     \?0&0;5  
    C&*oI =6  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 2 Ga7$q  
     6y+Kjd/D  
    1zm ulj%&  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     aY'C%^h]  
    4)h]MOZ  
    B$ajK`x&I  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 trPAYa}W  
     FT#8L  
    )uj Ex7&c  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 /'].lp  
    M=F xB;v  
    q3.j"WaP  
    X线偏振光模拟结果：
    P&9Gga^I  
    s \;"X  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 - }7e:!.  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 iop2L51eJ  
    %{AO+u2i  
    qq) rd  
    Y线偏光模拟结果 *.sVr7=j  
    Ir`eL  
    kbTm^y"  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 -fwoTGlX  
    结论： 96 q_ K84K  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 R< ,`[*Z  
    ?t/~lv  
    !c}O5TI|#  
    QQ：2987619807     2z6yn?'&L  
     
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