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    [分享]镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 [复制链接]

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    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-01-05
    案例246.01：镀膜正弦光栅中光衍射的精确模拟 LLW xzu!<  
     KcF#c_f   
    这个案例演示了对于镀膜光栅的严格模拟，它说明了镀膜对所有反射级次的总反射效率的影响。 UeN+}`!l  
     bs\7 juHt  
    关键词：严格分析，FMM，正弦光栅，镀膜 =aJb}X  
     {igVuZ(>en  
    所需工具箱子：光栅工具箱 4: S-  
     :WnF>zN  
    相关案例：G.001a,Scenario 104.01 2j*o[kAE  
     88M$mjx  
    建模任务 Zh 3hCxXa  
    tU, >EbwO  
    加载例子文件‘246.01_Sinusoidal_Grating_with_Coating.lpd’,例子文件包含一个正弦光栅，使用光栅效率分析器分析光栅。 wEMg~Hh  
    G5'HrV  
    Mh*^@_h?  
    双击General 2D Grating component选择Struture Function 页面，打开编辑对话框，添加光栅。 Y+ea  
     XonI   
    K9+%rqC.|`  
    为了在严格模拟时添加镀膜，必须将堆栈作为一个序列的表面和材料添加进来。点击Stack Tools,选择Insert Coating。 !i*bb~  
     qo62!q  
    <R @w0b>  
    选择光学界面no.1作为镀膜表面。点击 按钮来载入膜层目录。     ?(P3ZTk?.  
    V j"B/@  
    1"P^!N  
    选择Light Trans Defined catalogs和Standard-HR catalog,点选Stack01_632.8nm。选择OK关闭对Edit Coating Tool话框。 @>SirYh  
    )%=oJ!)  
    GV(@(bI*  
    堆栈编辑器包含顶层表面的膜层。点击OK关闭堆栈编辑器。点击底部的OK按钮来关闭元件对话框。使用光栅效率分析器分析光栅。 |XoW Z,K  
    )TV{n#n  
    EG3?C  
    X线偏振光模拟结果：
    Gtpl5gQH  
    l8Ks{(wh  
    探测器主窗口中可以看到结果信息，镀膜后的反射率显著加强。 Fi_JF;  
    在Ideal Plane Wave 光源编辑对话框中改变偏振态为y方向线偏光。这里有两个预先设置好的例子文件来演示y线偏光。 j1U,X  
    1.y|bB+kB  
    si.w1  
    Y线偏光模拟结果 'Z=8no`<  
    qZ|>{^a*  
    d-sK{ZC"y  
    对于y线偏光同样镀膜会显著增加反射率。 / 1R` E9  
    结论： tNbZ{=I>  
    严格的镀膜光栅模拟需要将膜层定义为序列的表面。光栅工具箱允许分析使用VirtualLabTM自带的膜层库中的膜层镀膜效果。VirtualLabTM可以考虑膜层在法矢方向上厚度的减小，这是加工过程中经常出现的问题。 U5x&? n<  
    ^ ;XJG9a0\  
    U jrML  
    QQ：2987619807     v"N%w1`.e  
     
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