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!{$qMhT 均匀化的概念 Z#CxQ D%\ ot^q}fRX VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: |Es0[cU • 微透镜阵列 ]n~yp5Nbr • 衍射扩散器 J(4g4? • 计算机生成的全息图 6j_ 678 • 相位板 w_\nB}_ • 单元阵列 M/*Bh,M` ^#2xQ5h 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 B<Ol+)@,} 光学仿真和设计包括: SBC~QD>L+ • 衍射 X|,["Az
8 • 干涉 FzVZs#O • 空间和时间相干度 z23#G>I& • 像差 ;3mL^ • 偏振 lbd(j{h>4 • 光强 VXA[TIqp 00"CC 应用 :Pc(DfkS 36nyu_h:R 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: >d#3|;RY • 信息显示 &m'?*O | • 测量系统 dbCNhbN( • 室内照明 @$oZ|ZkZ • 汽车 Z4#v~! • 军事 v G2.]? • 光刻 X
PA0m Q<1L`_.> 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 76_<xUt{ 优点Benefits 5}
G:D ^,`M0g\$ 微光学元件的照明系统有以下几大优点: 7|Xe&o<n • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. &~'S)Nun • 产生任意的二维图案. vTHq)C.7G • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. Ia#"/`|| • 非常紧凑的照明系统. _W}(!TKO $T?]+2,6; 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 V:OiW"/ _KN:
o10U 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: hXc}r6<B • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. '$?du~L- • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. 57<Di!rt • 可以产生一般的二维图案. J0sGvj{ • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. N}DL(-SQ3 衍射扩散器 e8-ehs> lov%V*tL 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: *7Xzht&f • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). `c9'0*- • 生成任意的二维图案. o<rsAe • 仅用于单色LED或准分子激光. 2T?TM! \Q 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 !3V{2-y$- 单元阵列 </=3g>9Z L#2ZMy
光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: 'g hys1H • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. #ua^{OrC/ • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. XXm'6xD- • 产生任意的二维图案. bb1f/C% • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 G\ex^&M
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