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ofuQ`g1hb 均匀化的概念 [m6%_3zV CO{AC~ VirtualLab光学仿真和设计软件能够设计用于LED和准分子激光均匀化和整形的照明系统。可以通过微型光学元件来实现光束的均匀化和整形,例如: O#`y;% • 微透镜阵列 O5dBI_ • 衍射扩散器 )TOKHN • 计算机生成的全息图 \9k{h08s • 相位板 ESi-'R& • 单元阵列 ~' q&rvk` k(dNHT 红色LED照射衍射扩散器产生的天际线图案 <5npVm 光学仿真和设计包括: dF'oZQz • 衍射 ^3ysY24 Q • 干涉 `! _mIh} • 空间和时间相干度 A?H.EZ • 像差 r?}L^bK • 偏振 wj9Hh • 光强 UQ~gjnb[c $O, IXA 应用 Gl3bkQ 2o1 RJk9 用于LED和准分子激光均匀化的微光学照明系统可以用在各个领域,包括: w%eEj.MI|i • 信息显示 VV"1I R • 测量系统 _F3=
H]P • 室内照明 vnH[D)`@ • 汽车 dwz{Yw( • 军事 :PP!v!vk • 光刻 7-c3^5gn{ g>H\"cUv 用于白光LED消色差整形的微透镜阵列的3D表面 lQ| i
Ws 优点Benefits Kbcr-89Gv~ -XWlmw*i(g 微光学元件的照明系统有以下几大优点: <v$yXA • 可实现LED 和准分子激光的均匀化和整形. ICUI0/J • 产生任意的二维图案. uY:u[ • 对光源辐射特性变化的低灵敏度. C[nacAi • 非常紧凑的照明系统. (z^987G uEdeA'*^ 包含一个光栅元胞阵列的照明系统 光线追迹模拟 微透镜阵列 :+UahwiRD" AUPTtc`#Y 微透镜阵列,也叫做“蝇眼聚光器”可以被用在LED和准分子激光器均质化的各种光学装置中,微透镜阵列有以下光学特性: tV9 K5ON • 光分布整形取决于透镜口径和透镜表面. H)NT2@%{P • 常被用来产生圆形、矩形和六角形光分布. yYvv!w+@Q • 可以产生一般的二维图案. MJG)fFl]O • 单色光和白光的整形. 六角形透镜阵列可以用来产生六角形光分布. qWw{c&{Q], 衍射扩散器 q[TW wsAijHjJI! 衍射扩散器,如相位板和计算机生成全息图,是经过计算机优化的表面轮廓散射元件,衍射扩散器有以下光学性质: Kr74|W= • Diffuser在一目标平面上产生大量的重叠斑点(衍射级次). v:u=.by99 • 生成任意的二维图案. JV;-P=o1B • 仅用于单色LED或准分子激光. =R0#WMf$@ 4个高度水平的衍射扩散器的表面轮廓 B/bS: 单元阵列 YHI@Cj o'!WW 光栅,棱镜和反射镜单元阵列由小矩形单元组成,将光偏转到目标平面上的特定位置。单元阵列具有以下光学特性: !f*t9 I9Q • 通过控制光栅,微棱镜或微反射镜的倾角和周期来将光偏转到目标面上. i`EG80\[Z • 光学分辨率取决于单元孔径的衍射. Schvwlm~i • 产生任意的二维图案. A IsXu" • 用于单色光和白光. 由LightTrans.设计的光栅单元阵列的SEM成像 )U:W
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